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文档简介

KS-S300-2E星型晶芯S型（KS-S300-2E）配置及主要参1)22有314（R1，R2，Z，T）有吸盘2个（以下为每单元配置3000rpm移动方式：伺服电机摆臂刻蚀方式：1供应管径：刻蚀液温控：加热范围RT～80℃,喷嘴及系统加热精度满足药液回收系统：8,124.4系 1移动方式：伺服电机摆臂DIW1喷嘴口径： 1 背面 2路 5工艺药液供应分配系 1 30L的2DI供给 6系统控制控制系统 工控显示系统 操作系统 界面 ： 流量 数量 2连接方式 VAC（真空系统压力 流量 数量 3连接方式 压力 流量 数量 2连接方式 压力 流量 数量 2连接方式 3/8卡套接腐蚀单元排气：2压力 -350Pa～-主机一般排气：2压力 -350Pa～-连接方式 废液排放 2套直连接方式 3/4PFA 背后下电源 380VAC,30A，三相五线重量

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