工厂生产及质量培训静电防护训练讲仪

防靜電基礎知識一.

靜電產生的原理:

1.摩擦:絕緣體之間磨擦而產生靜電

AB

————————————————+++++++++++++++2.傳導:電荷的轉移,示意圖如下:

AB

電量相等電荷轉移

++++++++++++++++++++++++3.感應:帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電,示意圖如下:AB靜電感應只對導體和半導體才有作用.++++++++++++——++

——++——++二.靜電電荷產生的種類:1>.摩擦2>.分離3>.電場感應4>.傳導三.靜電電荷對微電子工業的影響:

1.微粒污染:在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.1~1.0微米之間的顆粒沉積的主要原因.當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵.2.ESD(ESD中文意思是靜電電壓放電)失效:靜電放電時當放電電流過大,產生過高熱能,將會擊穿集成電路內部線路.3.三種擊穿現象:1>.熱擊穿:P-N破壞2>.介電擊穿:氧化層的破壞3>.金屬汽化:金屬線被汽化而開路四.半導體的靜電敏感度:

裝置型式

靜電放電敏感度範圍(伏)

裝置型式

靜電放電敏感度範圍(伏)

VMOS30~1800散粒(肖特基)二極管300~2500MOSFET100~200薄片電阻(厚,細)300~3000GaASFET100~300雙向晶體管380~7000EPROM100ECL(發射極偶合邏輯電路)500~1500JFET140~7000SCR(可控硅)680~1000SAW150~1500散粒(肖特基)晶體管1000~2500OP-AMP190~2500散粒晶體管邏輯電路1000~2500CMOS250~3000靜電放電的三種型式:1.人體型式:當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電,若不及時將靜電釋放給大地,而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞.2.微電子器件帶電型式:在自動化生產過程中,一些塑料器件因摩擦產生靜電,通過ESD敏感裝置接觸,造成損壞.3.場感應型式:在有強電場圍繞時,能通過感應方法損壞ESD敏感裝置.靜電電荷的消除原理:1.接地:將導體材料接通大地,把靜電電荷傳導到大地.2.離子中和:用離子發生設備產生離子,來中和物體表面所帶靜電荷.3.屏蔽:用高導電性材料做成屏蔽層,使ESD敏感裝置不受外界靜電場損壞.一.

ESD等級分類及控制程序：

1.ESD等級分類:等級電壓範圍典型設備00~100VEPROM,VMOS,MOSFET,GAAS,FET,SAM1100~1000VSCR,JFET,薄膜電阻,二極管21000~4000VProtectedMOS,SCHOTTKY,TTL,OP-AMPandLSI34000~1500V大多其它半導體2.ESD失效的潛伏伏性:有時時ESD並沒沒有把半導體體完全破壞,而只把元元件某部分的的品質降低.從事ESD敏感半導導體等行業應應留意以下幾幾點:1).[潛潛伏性的ESD問題]:在任何場場合都會發生生;2).[潛潛伏性的ESD問題]:將會累積積起來加深其其損壞的嚴重重性;3).[潛潛伏性的ESD問題]:在運送ESD敏感性性元件,更更加無法估計計其產生的可可能性;4).[潛潛伏性的ESD問題]:不只是影影響成品用家家,也會影影響各層制造造商的維修費費及聲譽;5).[潛潛伏性的ESD問題]:目前還沒沒有辦法把此此問題的產品品全部找出來來.八、名词解解释：1、ESD-Electrostaticdischarge-静电释放,即即静电电荷在在不同电势的的物品或表面面之间转移的的过程.2、EOS-ElectrostaticOverstress-静电损伤,即即器件接受静静电释放时,其特性产生生变化,通常常性能变差,但未完全失失效.3、ESDS-ESDSensitivitySusceptivility-静电敏感性（（度），衡量量一个器件对对静电破坏所所能感受的程程度，即其特特性在不同的的静电水准下下改变多少.4、Antistatic-指材料阻止止磨擦起电电的性能，，在本文中中，防静电电材料通常常其磨擦起起电的静电电电压低于于±200Volts.5、ElectrostaticShielding-静电屏蔽，，设置在物物体周围的的导体屏障障以排出外外电场的影影响.6、ConductiveMaterial-导电性材料料，在本文文中，这种种材料的表表面电阻率率低于10E-5Ω，，M或体积电阻阻率低于10E-4Ω.m.7、InsulativeMaterial-绝缘材料,在本文中中,这种材材料的表面面电阻率大大于10E5ΩΩ.M,或体体积积电电阻阻率率大大于于10E-4ΩΩ.M.8、、EquipmentGround-设备接地,电电气设备与硬硬地电极之间间的低阻抗通通路.通常为为电源插座的的第三端.9、ESDGround-静电接地,由由导体所组成成的电极,金金属带,金属属棒等,用来来构成连接带带有静电电荷荷的人或物体体与大地之间间通路.10、Tribo-electricCharging-磨擦起电,当当两个最初接接触的物体(一方或变方方均为绝缘体体)分离时而而产生静电电电荷积累.11、ESDProtectivePackaging-静电防护包装装,一种包装装方式,可以以用来限制静静电每感器件件磨擦起电电电荷的积累,或者为ESD器件提供静电电屏蔽.12、靜電逸散材材料-材料表面電阻阻率大於1x10E5ohms/square,小於1x10E12ohms/square,或者體積電阻率大於於1x10E4ohms-cm,小於1x10E11ohms-cm.13、表面電阻-與材料的同一一邊相連的兩兩個特定形狀狀電極之間直直流電壓與電流的比值值,表面電阻用ohms表示.14、表面電阻率率-通過單位面積積表面的直流流電壓與電流的比值值,表面電阻率是是指一個面相相對兩邊之間間的電阻,與面積大小和和它的尺寸單單位無關,表面電阻率用用ohms/square表示.九、人员：：凡生产中可能能接触到电子子元器件或产产品的人遇均均需具备一定定的静电防护护措施.1、在线生产产人员必须佩佩戴有线防静静电手环方可可作业,该有有线防静电手手环应与专用用之接地线相相连;2、非在线之之作业员,设设备操作员,现场之管理理干部及周边边单位(工程程、品管、检检测、企划等等)技术员、、工程师等需需佩戴证明有有效的无线式式防静电手环环；3、SMT现场之工作人人员,除佩戴戴相应之防静静电手环外,还应该穿防防静电服与防防静鞋;4、品检人员员应佩戴证明明有效的无线线式防静电手手环,但当检检验静电敏感感器件(如IC,电晶体,二极极体,晶振)等时,或带带有ESDS器件的产品时时的,必须戴戴有线防静电电手环.十、设备与与工具1、生产设备备,包括插件件线、输送带带、各种焊锡锡机、水洗机机、前加工设设备、吸放板板机、锡膏印印刷机，贴片片机等必须要要有专用导线线与接地线相相连；2、接触静电电敏感元器件件的工作台,检验桌,修修理桌等,表表面必须覆盖盖导电性桌垫垫,且必须有有专用导线与与接地线相连连;3、焊锡修理理等应使用瓷瓷质绝缘的电电铬铁/吸锡锡枪,电热丝丝部分是低压压控温并接地地(三极插头头),接地电电阻低于10Ω,电线电电阻大大于2MΩ,且前端端温度度控制制在360±20℃℃;4、各各类量量测与与测试试设备备同样样必须须要有有接地地.在在线测测试机机和ATE要有专用导导线与接地地线相连,如使用三极插插头,显示示板表面应应定期喷有有静电防止止剂(一月月一次).5、靜電壓表、靜電場場表應能夠夠检验超過±200伏靜電壓;6、用於於查核ESD不不間斷接接地的測測量儀應應能檢查查出小於於1歐姆姆的電阻值;7、用於於測量工工作臺表表面電阻測量儀應應能讀出出10^12ohm電阻率及及小於它的值值.十一、接接地：：1、ESD接地可以以是设备备的接地地(使用用三极插插座中的的第三极极),或或专用的的大地接接地,并并保证接接地电阻阻低于1Ω.2、专用接地地线要使使用铜编编织线、、有线式式防静电电手环、、导电性性桌垫、、设备上上除电源源外和接接地器等等要通过过导线与与专用接接地线相相连，或或者使用用导线将将上述设设施与三三极插座座的接地地端相连连.3、整个个建筑物物必须要要有一个个集中的的接地系系统.4、所有有新的专专用接地地保护线线和电源源地线要要经过技技术人员员的全检检确认方方可投入入使用.5、用来来检测防防静电专专用接地地线的仪仪器、仪仪表等要要求能测测出小于于1Ω的电阻值。。十二、搬搬运、暂存存、包装、、保存：1、工程人人员依据产产品对静电电的敏感程程度和客户户的要求制制定相应的的包装作业业规范,成成品的包装装,保存与与运送应依依正式的包包装规范进进行.2、静电敏敏感的元器器件(如IC,电晶体,二二极体,晶晶振等)的的盛放,包包装和保存存等,包括括领料,发发料和用料料退库应使使用导电的的抗静电盒盒或袋子/管子等,或者直接接使用原厂厂包装.3、静电敏敏感的元器器件在作插插入作业时时,必须使使用金属容容器或有实实施防静电电对策后的的塑胶容器器.4、电子组组装的成品品和未成品品的装载必必须注意:如相关人人员未戴防防静电手环环时,或戴戴棉质手套套时,不可可接触产品品.一般不不允许将基基板焊锡面面同向两枚枚重叠起来来,产品在在暂存时,不可使用用聚乙烯板板(保力龙龙)来防尘尘;5、用于搬搬运保管成成品的包装装箱须使用用实施防静静电对策过过的送货用用箱子及使使用隔板来来防止基板板焊锡面互互相接触,搬运时不不可在地板板上拖拉箱箱子.6、SMT类成品和半半成品存放放/搬运时时,放置架架、周转箱箱和台车等等必须用金金属或导电电性材料做做成，其中中搬运用台台车要有静静电接地连连并拖在地地板上.7、作业时时要注意:7.1拿拿取IC时手指不可可触碰到IC脚;拿取电电晶体,FET时尽可能手手不要接触触到引线脚脚部分;7.2高高频频FET或电电晶晶体体尽尽可可能能安安排排在在最最后后插插件件工工站站并并立立即即进进行行焊焊锡锡工工程程;7.3拿拿取取基基板板成成品品,半半成成品品时时,手手不不可可触触及及焊焊锡锡面面,金金手手指指,测测试试点点及及配配线线等等;7.4作作业业中中掉掉落落地地板板上上的的电电子子ESDS类零零件件(IC,电晶体,二极极体,晶振等等)不可再用用或经过测试试再确认OK后才可使用.十三、防静静电手环的管管制：1、将有效之之防静电手环环戴在手腕上上,务必保证证其金属部位位紧贴于皮肤肤.有线式防防静电手环之之接线相应扣扣好,且接线线与专用接地地线良好接触触;2、所有佩戴戴防静电手环环的人员于每每日上班前检检查其有效性性,并将结果果记录于防静静电手环检测测记录表(编编号:FQC11011B)内,如有异常常应立即更换换,新请购之之静电环手环环在验收时,亦要经过测测试以保证其其有效性.3、防静电手手环的检测方方案如下:3.1将校校正合格之防防静电手环测测试仪HAKK0498之接地线与静静电环的接地地线相连(夹夹紧);3.2以佩佩戴防静电手手环的手指(尽量保持干干燥)触压HAKK0498之测试盘;3.3若测测试仪上“LOW”红灯亮,表示示该防静电手手环之阻抗小小于800KΩ,不能用,若““HIGH”红灯亮，表示示该防静电手手环之阻抗大大于9MΩ,亦不能用,若若“GOOD”绿灯亮且伴有有蜂鸣者,则则表示该防静静电手环合格格,可以使用用.十四、防静静电要求符合合性验证1、制程巡巡检人员应每每日点检生产产现场的静电电防护措施的的有效性.如如有异常,则则以“制程程异常联络单单”的形式提提出,知会各各相关单位立立即采取行动动改善.2、设备与与电气工务人人员应每周点点检设备的接接地和有效性性.如有异异常,立即处处理并作记录录.3、电气设设备工程师或或品质保证工工程师等应至至少每半年一一次稽核整个个电路板组装装工厂的静电电防护状况,包括生产制制程ESDS器件或产品的的包装,存放放,运输,设设备,人员,接地等静电电防护措施的的有效性.记记录结果以以专案方式提提报给事业处处主管.十五、教育与与训练1、所有的新新进人员必经经过静电防护护知识的教育育训练合格后后才开始工作作.2、所有有可可能接触到ESDS器件和产品之之人员必须至至少每6个月月重新训练一一次,且把静静电防护知识识列为人员工工作鉴定之一一.3、静电防护知识识的训练至少少包括静电原原理与危害,ESDS器件和产品的的基本特性,工作场所的的基本静电防防护要求等.9、静夜四无无邻，荒居居旧业贫。。。12月-2212月-22Thursday,December29,202210、雨中黄黄叶树，，灯下白白头人。。。13:04:1913:04:1913:0412/29/20221:04:19PM11、以我独沈久久，愧君相见见频。。12月-2213:04:2013:04Dec-2229-Dec-2212、故故人人江江海海别别，，几几度度隔隔山山川川。。。。13:04:2013:04:2013:04Thursday,December29,202213、乍见翻疑梦梦，相悲各问问年。。12月-2212月-2213:04:2013:04:20December29,202214、他乡乡生白白发，，旧国国见青青山。。。29十十二二月20221:04:20下下午13:04:2012月月-2215、比不不了得得就不不比，，得不不到的的就不不要。。。。十二月月221:04下下午午12月月-2213:04December29,202216、行动出出成果，，工作出出财富。。。2022/12/2913:04:2013:04:2029December202217、做前，能够够环视四周；；做时，你只只能或者最好好沿着以脚为为起点的射线线向前。。1:04:20下午1:04下下午13:04:2012月-229、没有失败败，只有暂暂时停止成成功！。12月-2212月-22Thursday,December29,202210、很多多事情情努力力了未未必有有结果果，但但是不不努力力却什什么改改变也也没有有。。。13:04:2013:04:2013:0412/29/20221:04:20PM11、成成功功就就是是日日复复一一日日那那一一点点点点小小小小努努力力的的积积累累。。。。12月月-2213:04:2013:04Dec-2229-Dec-2212、世间成成事，不不求其绝绝对圆满满，留一一份不足足，可得得无限完完美。。。13:04:2013:04:2013:04Thursday,December29,202213、不知知香积积寺，，数里里入云云峰。。。12月月-2212月月-2213:04:2013:04:20December29,202214、意志坚强的的人能把世界界放在手中像像泥块一样任任意揉捏。29十二月月20221:04:20下午13:04:2012月-2215、楚塞三三湘接，，荆门九九派通。。。。十二月221:04下午午12月-2213:04December29,202216、少年十五五二十时，，步行夺得得胡马骑。。。2022/12/2913:04:2013:04:2029December202217、空山新雨后后，天气晚来来秋。。1:04: