工艺与设计接口课件

第三章工艺与设计接口3.1工艺对设计的制约与工艺抽象

一条成熟的工艺线，各个工艺的参数都是一定的，一般不允许轻易变更，而这些参数往往就成为我们设计的制约因素。有时，我们不得不考虑：这条工艺线对我的设计是否合适。第三章工艺与设计接口3.1工艺对设计的制约与工艺抽1最小加工尺寸和集成度对设计的制约

标准工艺流程对特殊工艺要求的制约

由工艺决定的器件参数对设计的制约

3.1.1工艺对设计的制约最小加工尺寸和集成度对设计的制约3.1.1工艺对设计的23.1.2工艺抽象

设计实践要求将工艺抽象成设计者熟悉的电学参数，将工艺线的加工精度抽象成一个具体的规则-----设计规则这样的抽象构成了工艺与设计的接口。

借助于这个接口，电路与系统的设计者不需要了解工艺的具体细节，工艺制作者不需要了解电路与系统的细节。设计者遵循接口规定进行设计，制作者保证工艺达到接口规定的参数。3.1.2工艺抽象设计实践要求将工艺抽3图3.1方块电阻

R□=

R=8R□例：掺杂浓度的描述

图3.1方块电阻R□=R=8R□例：掺杂浓度的43.2设计规则

3.2设计规则53.2.1几何设计规则

3.2.1几何设计规则6第三章工艺与设计接口课件7P阱图形P阱图形8有源区图形有源区图形9P场区注入图形P场区注入图形10多晶硅图形多晶硅图形11P+区图形P+区图形12N+区图形N+区图形13接触孔图形接触孔图形14金属引线图形金属引线图形15设计规则的具体数据形式：两种描述方法：一是给出一个最小单位λ，几何设计规则中的其它所有数据都以λ的倍数表示，如3λ，λ是最小沟道长度L的一半，只有λ是具体的数值。这种描述方法称为λ设计规则；二是用具体的数值进行描述，数值单位是微米，所以称为微米设计规则。设计规则的具体数据形式：两种描述方法：16第三章工艺与设计接口课件173.2.2电学设计规则

3.2.2电学设计规则18一个模型参数的例子：一个模型参数的例子：19第三章工艺与设计接口课件203.2.3设计规则在VLSI设计中的应用

几何设计规则是版图设计的依据；电学设计规则是分析计算的依据，是设计系统预测电路性能（仿真）的依据。如果设计规则不准确，设计和分析的结果也一定是不准确的。因此，当更换了工艺线或修正了局部工艺后，相应的设计规则也必须加以更新。总之，在设计中应用的设计规则必须是加工工艺的真实反映。3.2.3设计规则在VLSI设计中的应用21本章需要了解的内容：工艺对设计的制约：选择性决定设计如何表征这些制约设计规则的作用模型的作用本章需要了解的内容：22第三章工艺与设计接口3.1工艺对设计的制约与工艺抽象

一条成熟的工艺线，各个工艺的参数都是一定的，一般不允许轻易变更，而这些参数往往就成为我们设计的制约因素。有时，我们不得不考虑：这条工艺线对我的设计是否合适。第三章工艺与设计接口3.1工艺对设计的制约与工艺抽23最小加工尺寸和集成度对设计的制约

标准工艺流程对特殊工艺要求的制约

由工艺决定的器件参数对设计的制约

3.1.1工艺对设计的制约最小加工尺寸和集成度对设计的制约3.1.1工艺对设计的243.1.2工艺抽象

设计实践要求将工艺抽象成设计者熟悉的电学参数，将工艺线的加工精度抽象成一个具体的规则-----设计规则这样的抽象构成了工艺与设计的接口。

借助于这个接口，电路与系统的设计者不需要了解工艺的具体细节，工艺制作者不需要了解电路与系统的细节。设计者遵循接口规定进行设计，制作者保证工艺达到接口规定的参数。3.1.2工艺抽象设计实践要求将工艺抽25图3.1方块电阻

R□=

R=8R□例：掺杂浓度的描述

图3.1方块电阻R□=R=8R□例：掺杂浓度的263.2设计规则

3.2设计规则273.2.1几何设计规则

3.2.1几何设计规则28第三章工艺与设计接口课件29P阱图形P阱图形30有源区图形有源区图形31P场区注入图形P场区注入图形32多晶硅图形多晶硅图形33P+区图形P+区图形34N+区图形N+区图形35接触孔图形接触孔图形36金属引线图形金属引线图形37设计规则的具体数据形式：两种描述方法：一是给出一个最小单位λ，几何设计规则中的其它所有数据都以λ的倍数表示，如3λ，λ是最小沟道长度L的一半，只有λ是具体的数值。这种描述方法称为λ设计规则；二是用具体的数值进行描述，数值单位是微米，所以称为微米设计规则。设计规则的具体数据形式：两种描述方法：38第三章工艺与设计接口课件393.2.2电学设计规则

3.2.2电学设计规则40一个模型参数的例子：一个模型参数的例子：41第三章工艺与设计接口课件423.2.3设计规则在VLSI设计中的应用

几何设计规则是版图设计的依据；电学设计规则是分析计算的依据，是设计系统预测电路性能（仿真）的依据。如果设计规则不准确，设计和分析的结果也一定是不准确的。因此，当更换了工艺线或修正了局部工艺后，相应的设计规则也必须加以更新。总之，