高品质的石英材料贺利氏石英课件

强华石英以人为本科技创新强华石英以人为本科技创新以人为本科技创新本着“勤奋、团结、超越”的企业精神始终追求“高科技、高品质、高效益”的企业目标企业方针BUSINESSGUIDELINE强华石英与中国半导体产业，电子产业共同发展强华石英竭力为广大用户提供满意的产品优质的产品，优质的服务，以人为本，持续改进公司宗旨：以人为本，科技创新；真诚服务，追求卓越QHQUARTZwanttodevelopwiththeSemiconductorandElectronicsindustryofChina.QHQUARTZistryingourbesttoprovideprefectproducttoourclientsWeguaranteeacontinuousvarietyandqualityatitshighestlevelOurTarget:Offeringinnovativeproducts,Reliableserviceaccordingtothemarket.以人为本科技创新本着“勤奋、团结、超越”的企业精神企业方公司简介BUSINESSINTRODUCTION上海强华石英有限公司是一家专业加工、制造高质量、高纯度石英玻璃制品的企业，位于上海金山亭卫公路3312号。强华公司拥有先进的加工设备和检测仪器，采用迈图（GE）、贺利氏公司优质材料，开发生产半导体6″～8″芯片石英制品和5″～6″硅太阳能电池片用整套石英玻璃器件，保产品高质量高品质。公司主要产品有超大直径石英玻璃扩散管，石英舟石英承载器（舟架、舟车）、石英炉门、匀流板、源瓶、废液瓶、石英筒等。本公司于1999年通过ISO9001质量体系认证。公司秉承“真诚服务，追求卓越”的经营宗旨和“严格管理，做精、做强，为客户提供满意的产品和服务”的经营方针，不断提升研发能力，开发新工艺和新产品，以卓越的品质和优良的信誉服务社会。ShanghaiQHQuartzCo.,Ltd,foundedin1999,whichislocatedin

TingweiHWY3312,JingshanShanghaiWeusehigh-qualityrawquartzmaterialsfromcompanyMomentive(GE)andHERAEUS,forguaranteeingqualityofproductions.Atthepresenttime,ourmainproductionsarequartztube,quartzdevice(likequartzboat),quartzload-bearingdevice(e.g.quartzboatshelfandboatcarriage),andsoon.Wealsodevelopment8”semiconductorquartzproductionsand5~6”solarquartzproductions.CompanypassedqualityauthenticationISO-9001in1999,Forfuturedevelopment,facingchancesandchallenges,wewillfollowthemanageconcept“sincereserviceandpursuingtranscendence”andqualitycoures“strictmanageandcontinuousimprovement”developourabilityonresearchandsatisfythedifferentrequirementsofcostomer公司简介BUSINESSINTRODUCTION上海强高品质的石英材料

Momentive(迈图石英)

是全球半导体及太阳能用石英材料主要供应商之一，总部位于美国俄亥俄。是我公司材料主要供应商之一。MomentiveQuartz(GE)isamanufacturerwhichleadstheworldinproducingfusedsilica类型AlBCaCrCuFeKLiMgMnNaNiTiZrOHˉGE21414<0.20.4<0.05<0.00.1<0.050.7<<5GE22414<0.20.4<0.05<0.010.2<0.20.0010.1<0.05<0.1<10GE2448<0.10.6<0.05<0.010.2<0.20.001<0.1<0.030.1<10GE12414<0.20.4<0.05<0.00.1<0.050.7<<5GE1448<0.10.6<0.05<0.050.2<0.2<0.2<0.1<0.03<0.2<<5高品质的石英材料M高品质的石英材料

贺利氏石英（HeraeusQuartz)是全球最大的石英玻璃生产商，提供从半导体、太阳能、光学以及光纤用石英玻璃。

HSQ100/300半导体及太阳能用石英材料HSQ400半导体高温石英材料HSQ351半导体用气炼石英HSQ700半导体用超高纯石英材料HSQ751半导体用超高纯气炼石英材料HSQ900/910半导体合成石英材料高品质的石英材料贺利氏石随着半导体工业的飞速发展，硅片的尺寸越来越大，集成电路更加密集化，使得芯片制造商对石英制造行业提出更加苛刻的要求，QH为了防止在加工过程中出现污染，保证石英原材料的高纯度，设有万级的质检室、防尘焊接室、退火间，和高标准的石英部件切割和CNC机房，严格按照ISO9001标准管理生产。为制造性能稳定，高精密度的石英制品提供可靠的保证。洁净的加工环境ACLEANPROCESSINGENVIRONMENTFollowingtherapiddevelopmentofsemiconductorindustry.Thesizeofsiliconwaferbecomeslargerandlarger.Theintegratedcircuitbecomesmoredense.WhichmakesCMOSchipmanufacturersbringforwardmorerigorousrequirementsforquartzmanufactureindustrythanbefore.Inordertopreventthequartzproductsfrompollutionduringprocessingprocedureandguaranteethehighpurityofquartzrawmaterials,QHsetsuphighstandardqualityinspectionroom,dustproofpackingroom,CNClatheroom,Itfurnishesreliableguaranteeformanufacturingquartzproductswithsuperiorquality&performanceandhighdegreeofprecision随着半导体工业的飞速发展，硅片的尺寸越来

QH拥有先进的石英制品加工设备，检测仪器和现代化管理手段。导入实施并认真贯彻ISO-9001质量体系标准，严格控制生产过程，使产品质量得以提高并保持稳定。QH全体员工以“真诚服务、追求卓越、客户至上”的理念以及高品质的产品赢得客户的赞誉。生产与质量控制PRODUCTION&QUALITYCONTROLQHownsadvancedquartzproductsprocessingequipments,testingapparatusandmodernizedmanagementmethod.Advancedtestingfacilitiesandexcellentqualitysupervisionpersonnelarethebestassuranceforproductquality.AllQHstaffmembersareworkingdiligentlyandconscientiously.Theywinthehighefficiencyoftheenterprise,thegoodqualityoftheproductsbytheirindustrioussweats.ThequalitypledgeofQHproductsisestablishedonthefoundationofISO9001qualitysystemstandard.Thereforegreatlyenhancesitsproductiveprocesscontrolandtheproductqualityguaranteecapability.QH拥有先进的石英制品加工设备，检测仪器和产品简介分三类：半导体用石英件太阳能用石英件其它产品简介分三类：产品简介分三类：半导体用石英件太阳能用石英件其它产品简介分三类：储存

若空间允许，熔凝石英应存放在原来运输集装箱中，如果那样不实际，至少应该保留包裹材料。若是石英管，其两端的包裹应待到使用时才能拆开，以防石英管缺口破损，并避免灰尘和潮气进入，因为灰尘和潮气会损害石英管的纯度和性能。人们希望熔凝石英与其它原料一样能在高温状态下给用户一个预期使用寿命，反过来，它要求用户对它小心使用、搬弄，以期获得最大限度的效用。用户准则PRINCIPLESSERVINGCLIENTS清洗对于清洗度尤为重要的应用，现向用户推荐如下的清洗程序：应将产品，尤其是石英管放入加过溶脂剂的去离子水和蒸馏水中，而后，将其浸入浓度为5％（最高浓度）的氟化氢铵溶液中不超过10分钟；或放入浓度为5％（体积比最高浓度）的氢氟酸溶液中不超过5分钟。表面的浸蚀不但会除去表面的污染物，也会去掉少量的熔凝石英成分。为了避免水迹斑痕吸灰和在随后的加热情形下引起析晶，应将熔凝石英在去离子溶液或蒸馏水中多次漂洗并迅速使之干燥。在用手搬弄石英时，应小心谨慎，并应随时使用棉制手套，这一点很重要。储存

若空间允许，熔凝石英应存放在原来运输集装箱中，如果那样用户准则PRINCIPLESSERVINGCLIENTS熔凝石英炉管的旋转操作程序使用以下程序可在扩散管上面形成一层均匀的方石英，从而增强抗析晶能力。将管放在1200℃的炉中，前30个小时内，每隔2小时将其旋转90°.如果工作时间安排不允许用户采用这种使用程序，我们则向您提出以下建议：将扩散管放到1200℃的炉中，前8个小时内，每隔2小时将其旋转90°，然后将炉温重新调整到操作温度。耐高温石英管晶化处理高温强化处理石英玻璃制品耐高温稳定机理，是石英产品经特殊工艺处理，在石英玻璃外表面形成很薄的方石英晶层（结构），（方石英层熔点为1720℃）。在该制品使用前，需经1200～1250℃高温处理10～15小时，以便促进方石英晶层良好形成（在高温处理4小时后，若出现微变形，可将石英管旋转90°再继续处理）。然后可将其投入高温使用。用户准则PRINCIPLESSERVINGCLIEN几种典型酸侵蚀石英玻璃的损耗量酸处理时间（h）处理温度（℃）损耗量（g/cm2）氢氟酸（40%）氢氟酸（48%）硫酸（相对密度1.84）硝酸（相对密度1.40）盐酸（相对密度1.19）磷酸（80%）磷酸（80%）磷酸（80%）磷酸（80%）磷酸（80%）磷酸（80%）乙酸（70%）草酸（30%）1124242415151515151524242010020511566200以下3004005006007001081081.1630-700.060.110.1405873791132300.020.01几种典型酸侵蚀石英玻璃的损耗量酸处理时间（h）处理温度（℃）透明石英玻璃经热碱液、碱式盐侵蚀的损耗量溶液处理时间（h）处理温度（℃）损耗量（g/cm2）NaOH(1%)KOH(1%)NH4OH(25%)NaCl(10%)CaCl2(20%)Na2CO3(10%)CuSO4(10%)2222222410198651021031021021.660.680.090.140.061.200.29透明石英玻璃经热碱液、碱式盐侵蚀的损耗量溶液处理时间（h）处材料1100℃时扩散系数D/（cm2/s）Na+Ca2+Al3+Ag+水晶熔制石英玻璃SiCl4熔制石英玻璃2Х10-45Х10-52Х10-8未测定<10-12<10-121Х10-51Х10-7石英玻璃种金属离子的扩散系数D材料1100℃时扩散系数D/（cm2/s）Na+Ca2+Al用户注意事项1、使用温度控制

573℃是石英的晶型转变点，快速通过。

1025℃是α-石英←→α-方石英转变温度快速通过

1100℃开始析晶

1250℃为析晶温度已经产生析晶的石英玻璃制品当冷却到275℃以下时，会在析晶层产生裂纹。这些裂纹会向没有析晶的部分扩展，直到整个制品破碎。但若不降温到300℃以下，这些析晶层仍然是透明的，所以只要总是保持在300℃以上使用，析晶不会产生破坏，可以延长使用寿命。2、防止人为沾污及使用前认真酸洗，可以有效降低析晶的危害。用户注意事项1、使用温度控制3、当石英炉管或其它石英器件与其它金属材料连接时，应注意二者膨胀系数的差异，切不可固定太紧。4、石英玻璃是高硬度材料，越硬的材料越脆，谨防重击。5、用户关心的K+、Na+、Li+、等离子在石英玻璃内的迁移率，可以参见前表，迁移速度与温度有关。6、尽量避免使用长舟，长舟的舟棒如果没有中间支撑，高温下易变形，尤其是满载时更易变形。7、不提倡石英扩散管间歇使用。用户注意事项3、当石英炉管或其它石英器件与其它金属材料连接时，应注意二者

以人为本，群体奋斗的团体精神，一直是强华石英研究，开发队伍的灵魂。强华石英与国际上先进的石英制造公司紧密接触并保持联系，积极吸收国内外先进的技术及生产工艺，开发８英寸石英制品以及各类冷加工石英制品。研究与开发R&DThecollectivespiritsof“regardtalentsasitscapital.Groups‘dedication”isalwaysthesoulofQHR&Dcontingent.QHkeepsclosecontactwithworld’sadvancedquartzmanufacturecompanies.Itactivelyabsorbsadvancedtechniqueandproductivecraftbothathomeandabroad.Develop8’quartzproductsandvariouscoldworkingquartzgoods以人为本，群体奋斗的团封底上海强华石英有限公司SHANGHAIQHQUARTZCO.,LTD地址：上海市金山区亭卫公路3312号（蒋庄路口）邮编：201507电话：0086－21－6725691967256959传真：0086－21－67256939E-mail:qh@

quartz_qh@封底上海强华石英有限公司

强华石英以人为本科技创新强华石英以人为本科技创新以人为本科技创新本着“勤奋、团结、超越”的企业精神始终追求“高科技、高品质、高效益”的企业目标企业方针BUSINESSGUIDELINE强华石英与中国半导体产业，电子产业共同发展强华石英竭力为广大用户提供满意的产品优质的产品，优质的服务，以人为本，持续改进公司宗旨：以人为本，科技创新；真诚服务，追求卓越QHQUARTZwanttodevelopwiththeSemiconductorandElectronicsindustryofChina.QHQUARTZistryingourbesttoprovideprefectproducttoourclientsWeguaranteeacontinuousvarietyandqualityatitshighestlevelOurTarget:Offeringinnovativeproducts,Reliableserviceaccordingtothemarket.以人为本科技创新本着“勤奋、团结、超越”的企业精神企业方公司简介BUSINESSINTRODUCTION上海强华石英有限公司是一家专业加工、制造高质量、高纯度石英玻璃制品的企业，位于上海金山亭卫公路3312号。强华公司拥有先进的加工设备和检测仪器，采用迈图（GE）、贺利氏公司优质材料，开发生产半导体6″～8″芯片石英制品和5″～6″硅太阳能电池片用整套石英玻璃器件，保产品高质量高品质。公司主要产品有超大直径石英玻璃扩散管，石英舟石英承载器（舟架、舟车）、石英炉门、匀流板、源瓶、废液瓶、石英筒等。本公司于1999年通过ISO9001质量体系认证。公司秉承“真诚服务，追求卓越”的经营宗旨和“严格管理，做精、做强，为客户提供满意的产品和服务”的经营方针，不断提升研发能力，开发新工艺和新产品，以卓越的品质和优良的信誉服务社会。ShanghaiQHQuartzCo.,Ltd,foundedin1999,whichislocatedin

TingweiHWY3312,JingshanShanghaiWeusehigh-qualityrawquartzmaterialsfromcompanyMomentive(GE)andHERAEUS,forguaranteeingqualityofproductions.Atthepresenttime,ourmainproductionsarequartztube,quartzdevice(likequartzboat),quartzload-bearingdevice(e.g.quartzboatshelfandboatcarriage),andsoon.Wealsodevelopment8”semiconductorquartzproductionsand5~6”solarquartzproductions.CompanypassedqualityauthenticationISO-9001in1999,Forfuturedevelopment,facingchancesandchallenges,wewillfollowthemanageconcept“sincereserviceandpursuingtranscendence”andqualitycoures“strictmanageandcontinuousimprovement”developourabilityonresearchandsatisfythedifferentrequirementsofcostomer公司简介BUSINESSINTRODUCTION上海强高品质的石英材料

Momentive(迈图石英)

是全球半导体及太阳能用石英材料主要供应商之一，总部位于美国俄亥俄。是我公司材料主要供应商之一。MomentiveQuartz(GE)isamanufacturerwhichleadstheworldinproducingfusedsilica类型AlBCaCrCuFeKLiMgMnNaNiTiZrOHˉGE21414<0.20.4<0.05<0.00.1<0.050.7<<5GE22414<0.20.4<0.05<0.010.2<0.20.0010.1<0.05<0.1<10GE2448<0.10.6<0.05<0.010.2<0.20.001<0.1<0.030.1<10GE12414<0.20.4<0.05<0.00.1<0.050.7<<5GE1448<0.10.6<0.05<0.050.2<0.2<0.2<0.1<0.03<0.2<<5高品质的石英材料M高品质的石英材料

贺利氏石英（HeraeusQuartz)是全球最大的石英玻璃生产商，提供从半导体、太阳能、光学以及光纤用石英玻璃。

HSQ100/300半导体及太阳能用石英材料HSQ400半导体高温石英材料HSQ351半导体用气炼石英HSQ700半导体用超高纯石英材料HSQ751半导体用超高纯气炼石英材料HSQ900/910半导体合成石英材料高品质的石英材料贺利氏石随着半导体工业的飞速发展，硅片的尺寸越来越大，集成电路更加密集化，使得芯片制造商对石英制造行业提出更加苛刻的要求，QH为了防止在加工过程中出现污染，保证石英原材料的高纯度，设有万级的质检室、防尘焊接室、退火间，和高标准的石英部件切割和CNC机房，严格按照ISO9001标准管理生产。为制造性能稳定，高精密度的石英制品提供可靠的保证。洁净的加工环境ACLEANPROCESSINGENVIRONMENTFollowingtherapiddevelopmentofsemiconductorindustry.Thesizeofsiliconwaferbecomeslargerandlarger.Theintegratedcircuitbecomesmoredense.WhichmakesCMOSchipmanufacturersbringforwardmorerigorousrequirementsforquartzmanufactureindustrythanbefore.Inordertopreventthequartzproductsfrompollutionduringprocessingprocedureandguaranteethehighpurityofquartzrawmaterials,QHsetsuphighstandardqualityinspectionroom,dustproofpackingroom,CNClatheroom,Itfurnishesreliableguaranteeformanufacturingquartzproductswithsuperiorquality&performanceandhighdegreeofprecision随着半导体工业的飞速发展，硅片的尺寸越来

QH拥有先进的石英制品加工设备，检测仪器和现代化管理手段。导入实施并认真贯彻ISO-9001质量体系标准，严格控制生产过程，使产品质量得以提高并保持稳定。QH全体员工以“真诚服务、追求卓越、客户至上”的理念以及高品质的产品赢得客户的赞誉。生产与质量控制PRODUCTION&QUALITYCONTROLQHownsadvancedquartzproductsprocessingequipments,testingapparatusandmodernizedmanagementmethod.Advancedtestingfacilitiesandexcellentqualitysupervisionpersonnelarethebestassuranceforproductquality.AllQHstaffmembersareworkingdiligentlyandconscientiously.Theywinthehighefficiencyoftheenterprise,thegoodqualityoftheproductsbytheirindustrioussweats.ThequalitypledgeofQHproductsisestablishedonthefoundationofISO9001qualitysystemstandard.Thereforegreatlyenhancesitsproductiveprocesscontrolandtheproductqualityguaranteecapability.QH拥有先进的石英制品加工设备，检测仪器和产品简介分三类：半导体用石英件太阳能用石英件其它产品简介分三类：产品简介分三类：半导体用石英件太阳能用石英件其它产品简介分三类：储存

若空间允许，熔凝石英应存放在原来运输集装箱中，如果那样不实际，至少应该保留包裹材料。若是石英管，其两端的包裹应待到使用时才能拆开，以防石英管缺口破损，并避免灰尘和潮气进入，因为灰尘和潮气会损害石英管的纯度和性能。人们希望熔凝石英与其它原料一样能在高温状态下给用户一个预期使用寿命，反过来，它要求用户对它小心使用、搬弄，以期获得最大限度的效用。用户准则PRINCIPLESSERVINGCLIENTS清洗对于清洗度尤为重要的应用，现向用户推荐如下的清洗程序：应将产品，尤其是石英管放入加过溶脂剂的去离子水和蒸馏水中，而后，将其浸入浓度为5％（最高浓度）的氟化氢铵溶液中不超过10分钟；或放入浓度为5％（体积比最高浓度）的氢氟酸溶液中不超过5分钟。表面的浸蚀不但会除去表面的污染物，也会去掉少量的熔凝石英成分。为了避免水迹斑痕吸灰和在随后的加热情形下引起析晶，应将熔凝石英在去离子溶液或蒸馏水中多次漂洗并迅速使之干燥。在用手搬弄石英时，应小心谨慎，并应随时使用棉制手套，这一点很重要。储存

若空间允许，熔凝石英应存放在原来运输集装箱中，如果那样用户准则PRINCIPLESSERVINGCLIENTS熔凝石英炉管的旋转操作程序使用以下程序可在扩散管上面形成一层均匀的方石英，从而增强抗析晶能力。将管放在1200℃的炉中，前30个小时内，每隔2小时将其旋转90°.如果工作时间安排不允许用户采用这种使用程序，我们则向您提出以下建议：将扩散管放到1200℃的炉中，前8个小时内，每隔2小时将其旋转90°，然后将炉温重新调整到操作温度。耐高温石英管晶化处理高温强化处理石英玻璃制品耐高温稳定机理，是石英产品经特殊工艺处理，在石英玻璃外表面形成很薄的方石英晶层（结构），（方石英层熔点为1720℃）。在该制品使用前，需经1200～1250℃高温处理10～15小时，以便促进方石英晶层良好形成（在高温处理4小时后，若出现微变形，可将石英管旋转90°再继续处理）。然后可将其投入高温使用。用户准则PRINCIPLESSERVINGCLIEN几种典型酸侵蚀石英玻璃的损耗量酸处理时间（h）处理温度（℃）损耗量（g/cm2）氢氟酸（40%）氢氟酸（48%）硫酸（相对密度1.84）硝酸（相对密度1.40）盐酸（相对密度1.19）磷酸（80%）磷酸（80%）磷酸（80%）磷酸（80%）磷酸（80%）磷酸（80%）乙酸（70%）草酸（30%）1124242415151515151524242010020511566200以下3004005006007001081081.1630-700.060.110.1405873791132300.020.01几种典型酸侵蚀石英玻璃的损耗量酸处理时间（h）处理温度（℃）透明石英玻璃经热碱液、碱式盐侵蚀的损耗量溶液处理时间（h）处理温度（℃）损耗量（g/cm2）NaOH(1%)KOH(1%)NH4OH(25%)NaCl(10%)CaCl2(20%)Na2CO3(10%)CuSO4(10%)2222