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文档简介

thebestinformandsurfacemeasurementadivisionof©2005TaylorHobsonLtdUltra粗度仪操作软件V5操作手册MickGarton-January2005中译:柯逸斯thebestinformandsurfacem目录(章节1–18)第1章使用者环境设定第2章设备控制第3章轴的校正第4章传感器/探针的选择及校正第5章量测与分析功能第6章数据再分析及档案处理第7章数据选择及进一步分析第8章资料形状排除分析第9章指标及UCS的使用第10章直线距离,角度及截取第11章形状比对(DualProfile)第12章圆锥形状及非球面分析第13章3D表面量测第14章公差量设定第15章SPC统计处理控制第16章分析版面及专属版面制作第17章程序制作第18章数据库管理维护目录(章节1–18)第1章使用者环境设定管理者-

登入及建立使用者使用者-

选择设备及密码设定

使用者-设定工作环境

-

制作工作路径

-设定喜好管理者-

注销使用者设定第1章:使用者环境设定管理者-登入及建立使用者使用者-选择设备及密码设定管理者-

登入及建立使用者第1章:使用者环境设定输入主要管理者名称

admin

点选Logon登入管理者-登入及建立使用者第1章:使用者环境设定输入主要管检视轴的机械坐标输入数值

点选OK第1章:使用者环境设定管理者-

登入及建立使用者检视轴的机械坐标输入数值点选OK第1章:使用者环境设定管理者-

登入及建立使用者第1章:使用者环境设定功能状态栏选择

View

点选

Users

点选

NewUser

输入名称*

*注意:使用者名称是依情况作审慎处理!管理者-登入及建立使用者第1章:使用者环境设定功能状态栏1.鼠标右键点选使用者

点选

SelectInstrument

2.输入设备名称选择设备型式

点选OK3.选择软件所对应的硬件点选OK使用者:选择设备第1章:使用者环境设定1.鼠标右键点选使用者点选SelectInstrume1.鼠标右键点选使用者

点选

SetPassword

2.设定密码

*

确认新密码

点选

OK使用者:设定密码第1章:使用者环境设定*注意:密码是依情况作审慎处理!1.鼠标右键点选使用者点选SetPassword2管理者:注销第1章:使用者环境设定功能状态栏开启

File

点选

Logoff管理者:注销第1章:使用者环境设定功能状态栏开启File使用者:登入第1章:使用者环境设定输入用户名称及密码

点选

Logon登入记住:使用者名称及密码是依情况作审慎处理!使用者:登入第1章:使用者环境设定输入用户名称及密码功能状态栏开启FormTalysurf

点选

MeasurementToolbar使用者登入:

窗口开启与配置第1章:使用者环境设定使用鼠标将工具列移动至上层功能状态栏开启FormTalysurf点选Measu功能状态栏开启FormTalysurf

点选

UnitsToolbar使用者登入:

窗口开启与配置第1章:使用者环境设定使用鼠标将工具列移动至上层功能状态栏开启FormTalysurf点选Unit使用者登入:

窗口开启与配置第1章:使用者环境设定功能状态栏开启

FormTalysurf

点选

InstrumentToolbar(固定模式)注意:如果需要,设备工具栏可在任何时候取消选择传感器立柱(Z)平台(Y)Z轴控制量测单元(X)倾斜X轴控制倾斜控制使用者登入:窗口开启与配置第1章:使用者环境设定功能状态1.功能状态栏开启

View

点选

Folders2.选择路径

点选新路径

输入新路径名称

压Enter键新路径使用者:建立工作路径第1章:使用者环境设定1.功能状态栏开启View点选Folders2.选功能状态栏开启

Measure&Analyse

点选

Preferences

点选

Naming/General...输入自动命名的名称

点选

OK使用者:设定喜好(Preferences)第1章:使用者环境设定功能状态栏开启Measure&Analyse点选1.功能状态栏开启

Measure&Analyse

点选

Preferences

点选

Measure/Analyse...2.勾选需要的功能使用者:设定喜好(Preferences)第1章:使用者环境设定1.功能状态栏开启Measure&Analyse点功能状态栏开启

Measure&Analyse

点选

Preferences

点选

AnalysisLayouts选择参数栏(例如Roughness)勾选原厂预设版面

点选

OK

选择另外的分析版面*

点选

OK*注意:选择的分析版面将成为预设版面,详见第16章节使用者:设定喜好(Preferences)第1章:使用者环境设定或是...功能状态栏开启Measure&Analyse点选

2.点选

来改变显示功能

改变设定

点选OK点选OK

1.功能状态栏开启

User选择Properties选择功能栏使用者设定:画面显示的设定第1章:使用者环境设定2.点选来改变显依喜好改变的线条型态及颜色使用者设定:画面显示的设定第1章:使用者环境设定依喜好改变的线条型态及颜色使用者设定:画面显示的设定第1章:功能状态栏开启

User

点选

Properties

点选

Units栏勾选UseInches来改变为英制单位

点选OK选择角度显示单位

点选OK使用者设定:单位第1章:使用者环境设定功能状态栏开启User点选Properties点1.功能状态栏开启

View

点选

Folders往上层直到登入者名称

鼠标右键点选用户

点选

SwitchInstrument*

2.选择其他设备

点选

OK*注意:使用设备切换是应用在两台设备使用同一台计算机控制,例如同时控制Talyrond130及FormTalysurfIntra.这个功能可利用程序做自动切换使用者设定:开关设备第1章:使用者环境设定1.功能状态栏开启View点选Folders往上层

第1章:使用者环境设定管理者-

登入及建立使用者使用者-

选择设备及密码设定

使用者-设定工作环境

-

制作工作路径

-设定喜好管理者-

注销使用者设定第1章:使用者环境设定管理者-登入及建立使用者轴的控制及移动自动找中心点自动调整水平第2章:设备控制轴的控制及移动自动找中心点自动调整水平第2章:设备控制移动相对位置X(负向)

移动相对位置X(正向)

移动绝对位置X找X轴中心点

点选此处

移动相对位置Z(正向)移动绝对位置Z自动接触Z移动相对位置Z(负向)移动相对角度向上

移动相对角度向下

移动绝对角度自动调整水平点选此处

移动相对位置Y(正向)找Y轴中心点

点选此处

移动相对位置Y(负向)移动绝对位置Y轴的控制及移动第2章:设备控制移动相对位置X(负向)移动相对位置X(正向)移动绝对位功能状态栏开启

FormTalysurf

点选

Control

点选

RotaryStage/GaugeSet-upAid/StopControl传感器范围

传感器范围的百分比停止当前的动作(不是紧急停止键)轴的控制及移动

移动旋转平台绝对角度移动旋转平台相对角度(正转)移动旋转平台相对角度(反转)第2章:设备控制功能状态栏开启FormTalysurf点选Cont功能状态栏开启

FormTalysurf

点选

Control

点选

JoystickToolbar注意:如果确实需要,设备工具栏可在任何时间点取消选择.轴的控制及移动设定移动速度X轴负向移动X轴负向寸动Z轴负向移动Z轴负向寸动角度往下移动Y轴正向寸动X轴正向移动Z轴正向移动X轴正向寸动Z轴正向寸动角度往上移动Y轴负向寸动第2章:设备控制功能状态栏开启FormTalysurf点选Cont点选自动找X/Y轴中心点符号确认所有设定

点选

OK自动找X轴中心点自动找Y轴中心点注意:可利用UCS的值来设定做工件中心点的寻找自动找中心点第2章:设备控制点选自动找X/Y轴中心点符号确认所有设定1.点选符号

2.确认所有设定

点选

OK自动调整水平第2章:设备控制1.点选符号2.确认所有设定点选

第2章:设备控制轴的控制及移动自动找中心点自动调整水平第2章:设备控制轴的控制及移动自动找中心点自动调整水平机械绝对坐标(FiducialScales)使用者自定坐标(UCS)使用者自定坐标复归(ResetUCS)第3章:轴的校正机械绝对坐标(FiducialScales)使用者自定坐标1.功能状态栏开启

FormTalysurf

点选

Instrument

点选

FiducialScalePositions2.

输入TraverseUnit,立柱及Y平台机械坐标

点选

OK设备工具栏的轴坐标已显示为机械坐标机械绝对坐标(FiducialScales)第3章:轴的校正1.功能状态栏开启FormTalysurf点选In1.功能状态栏开启

FormTalysurf

点选

Instrument

点选

UCS2.勾选并且输入UCS(X,Y及/或Z)坐标位置

点选

OK设备工具栏的轴坐标已显示为使用者自定坐标坐标使用者自定坐标(UCS)第3章:轴的校正1.功能状态栏开启FormTalysurf点选In1.功能状态栏开启

FormTalysurf

点选

Instrument

点选

Reset(Cancel)UCS2.确认轴坐标与机械位置相同设备工具栏的轴坐标已恢复显示为机械坐标使用者自定坐标复归(ResetUCS)第3章:轴的校正1.功能状态栏开启FormTalysurf点选In

第3章:轴的校正机械绝对坐标(FiducialScales)使用者自定坐标(UCS)使用者自定坐标复归(ResetUCS)第3章:轴的校正机械绝对坐标(FiducialSca选择传感器

选择探针编号改变感应器内容建立及储存新标准件使用量测数据作校正复原/删除/检视校正值Y轴调整及基准补正X轴基准补正第4章:传感器/探针的选择及校正选择传感器选择探针编号改变感应器内容建立及储存新标准件使用1.鼠标右键点选TraverseUnit符号

点选

Configure2.选择需要的传感器

点选

OK选择传感器(此功能只适用于Inductive系统)第4章:传感器/探针的选择及校正1.鼠标右键点选TraverseUnit符号点选Co1.鼠标右键点选传感器符号

点选

Configure2.选择需要的探针

点选

OK选择探针编号第4章:传感器/探针的选择及校正进一步Inductive讯号平衡执行信息进一步PGI传感器讯号复归信息1.鼠标右键点选传感器符号点选Configure2.鼠标右键点选传感器符号

点选

ResetPGI传感器讯号复归备注:当你要去执行Reset功能时,探针必须

离开工件使用这功能是因为探针的读值是错误的,这是因为探针拆拔后,瞬间改变的移动所造成

第4章:传感器/探针的选择及校正鼠标右键点选传感器符号点选ResetPGI传感器讯号复Inductive讯号平衡1.让探针接触在球中心稍微左侧上2.鼠标右键点选传感器符号

点选

Balance3.确认所有设定

点选

OK注意:改变传感器后,优先执行校正注意:传感器讯号平衡可在标准球校正对话框内选择第4章:传感器/探针的选择及校正Inductive讯号平衡1.让探针接触在球中心稍微左侧上2改变传感器的内容-Inductive&PGI传感器Inductive传感器内容PGI传感器内容注意:Inductive及WideRange传感器需要校正范围1,2&3第4章:传感器/探针的选择及校正鼠标右键点选传感器符号

点选

Properties选择合适的设定值

点选

OK改变传感器的内容-Inductive&PGI传感器In校正设定(球标准器

)1.移动探针到校正球上方约中心位置2.自动接触3.手动调整平台使Y轴在高点上**注意:假如你有Y轴马达,也可以使用自动找寻Y轴高点功能.第4章:传感器/探针的选择及校正校正设定(球标准器)1.移动探针到校正球上方约中心位置2.建立及储存新标准件1.鼠标右键点选传感器符号

点选

Calibrate

点选

New2.点选NewStandard

点选

OK第4章:传感器/探针的选择及校正建立及储存新标准件1.鼠标右键点选传感器符号点选Cal建立及储存新标准件3.输入新标准件名称

选择新标准件型态

点选

OK4.输入标准半径值

点选

OK第4章:传感器/探针的选择及校正建立及储存新标准件3.输入新标准件名称选择新标准件型态传感器校正-(球标准器

)5.选择合适的设定值

输入校正百分比*

点选

OK*注意:预设校正百分比为80%,也可以选择较少的校正范围,如40﹪也能被使用!!第4章:传感器/探针的选择及校正传感器校正-(球标准器)5.选择合适的设定值输入校3条均等深度线校正的程序传感器校正-(球标准器

)6.确认Pt值

Z1值**注意:校正结果自动接受并且运作直到覆盖或删除为止!第4章:传感器/探针的选择及校正详细信息3条均等深度线校正的程序传感器校正-(球标准器)6.确认使用量测数据作校正1.设定传感器探针

选择传感器范围(Inductive传感器)2.鼠标右键点选传感器符号

点选

Calibrate

点选

Constants3.设定校正常数为原始值,例如Z1=1,其他全部设定为0第4章:传感器/探针的选择及校正使用量测数据作校正1.设定传感器探针选择传感器范围(使用量测数据作校正4.量测标准球第4章:传感器/探针的选择及校正使用量测数据作校正4.量测标准球第4章:传感器/探针的选择使用量测数据作校正5.鼠标右键点选传感器符号

点选

Calibrate

点选

New6.选择新标准件型态

点选

OK7.输入新标准件名称

选择新标准件型态

点选

OK8.输入标准半径值

点选

OK第4章:传感器/探针的选择及校正使用量测数据作校正5.鼠标右键点选传感器符号点选Ca使用量测数据作校正10.点选DataSource9.勾选UseExistingMeasurement第4章:传感器/探针的选择及校正11.设定SourceType为Absolute点选

按键

使用量测数据作校正10.点选DataSource9.勾选U使用量测数据作校正12.浏览及选择原始量测数据

点选

OK

点选

OK第4章:传感器/探针的选择及校正使用量测数据作校正12.浏览及选择原始量测数据点选O使用量测数据作校正13.点选OK校正完成后显示结果第4章:传感器/探针的选择及校正使用量测数据作校正13.点选OK校正完成后显示结果第4章:Pt值检视(形状误差)-球标准器-Inductive系统*120mmtraverseunit.50mmtraverseunit使用22mm半径标准球.第4章:传感器/探针的选择及校正Pt值检视(形状误差)-球标准器-Inductive系统Pt值检视(形状误差)-球标准器-PGI系统第4章:传感器/探针的选择及校正Pt值检视(形状误差)-球标准器-PGI系统第4章:传感Pt值检视(形状误差)-球标准器-NewFTSS

系统注意:a)180mm长探针只供应给200mmtraverseunit款式使用b)80mm半径标准球使用给PGI12.5mm,10mm及8mm传感器范围.22mm半径标准球使用给PGI6mm及4mm传感器范围.c)形状误差值Pt的标准与PGI8mm,6mm及4mm传感器的范围有关第4章:传感器/探针的选择及校正Pt值检视(形状误差)-球标准器-NewFTSS系统注传感器校正-3条均等深度线标准器1.利用自动水平调整功能使TraverseUnit平行于玻璃表面2.鼠标右键点选传感器符号

点选

Calibrate

点选

New

3.输入新标准件名称

选择新标准件型态

点选

OK第4章:传感器/探针的选择及校正传感器校正-3条均等深度线标准器1.利用自动水平调整功能使T传感器校正-3条均等深度线标准器4.输入标准器深度落差值

点选

OK5.将探针移到标准器标示的正方形上方7.确认正确的量测起始位置

点选

OK6.选择合适的设定值

第4章:传感器/探针的选择及校正传感器校正-3条均等深度线标准器4.输入标准器深度落差值传感器校正-3条均等深度线标准器8.确认Z1值*第4章:传感器/探针的选择及校正*注意:校正结果自动接受并且运作直到覆盖或删除为止!详细信息传感器校正-3条均等深度线标准器8.确认Z1值*第4章:传感传感器校正-3条均等深度线标准器第4章:传感器/探针的选择及校正上述图解显示一种计算3条均等深度线标准器(类型A1)校正高度的方法.一条等于沟槽宽度3倍且连续的最小平方线,放在沟槽中心表面上部成为基准并且经过水平调整.另一条等于槽宽1/3的最小平方线放在沟槽(C)底部中心.为避免任何边缘圆角的影响,每一沟槽的边缘上部表面等于槽宽1/3的长度被忽略,所以计算3条均等深度线标准器高度是取用A,B

和C

的部分.传感器校正-3条均等深度线标准器第4章:传感器/探针的选择恢复

/删除&查看校正值1.鼠标右键点选传感器符号

点选

Calibrate

点选

Restore2.选择合适的校正档案

*

点选

OK*注意:出现的校正内容选单,只能以当时选择的探针编号为主第4章:传感器/探针的选择及校正恢复/删除&查看校正值1.鼠标右键点选传感器符号点恢复/删除

&查看校正值1.鼠标右键点选传感器符号

点选

Calibrate

点选

Restore2.选择校正档案

*点选“删除”符号

点选

OK*注意:Ultra内没有资源回收桶,校正数据删除后没有辨法复原!第4章:传感器/探针的选择及校正恢复/删除&查看校正值1.鼠标右键点选传感器符号点恢复/删除&查看校正值1.鼠标右键点选传感器符号

点选

Calibrate

点选

Restore2.选择合适的校正档案

点选内容符号检查内容校正常数增加说明第4章:传感器/探针的选择及校正恢复/删除&查看校正值1.鼠标右键点选传感器符号点选Y轴调整及基准补正2.确认Y平台是紧密固定在机台上1.尽可能设定Y平台对X及Z轴的垂直性第4章:传感器/探针的选择及校正Y轴调整及基准补正2.确认Y平台是紧密固定在机台上1.尽可Y轴调整及基准补正3.功能状态栏开启

FormTalysurf

点选

Instrument

点选

FiducialScalePositions4.确认X,Y及Z轴的机械坐标是否正确

点选

OK第4章:传感器/探针的选择及校正Y轴调整及基准补正3.功能状态栏开启FormTalysuY轴调整及基准补正6.放置标准球,并且调整中心位置在探针下方

点选自动接触5.使用绝对坐标移动功能将X及Y轴移动到中心位置第4章:传感器/探针的选择及校正Y轴调整及基准补正6.放置标准球,并且调整中心位置在探针下方Y轴调整及基准补正8.依据对照表,根据球半径输入合适的参数值

点选

OK7.鼠标右键点选Y平台符号

点选

SetMisalignmentCorrection第4章:传感器/探针的选择及校正Y轴调整及基准补正8.依据对照表,根据球半径输入合适的参数值Y轴调整及基准补正*注意:设备会自动找X及Y轴中心然后执行量测.这将会依标准球的大小来占用30分钟以上的时间.9.屏幕出现剩余量测时间及次数的讯息10.出现完成量测讯息后

点选

OK来储存补正数据第4章:传感器/探针的选择及校正Y轴调整及基准补正*注意:设备会自动找X及Y轴中心然后执行量Y轴调整及基准补正11.取消补正(如果需要)鼠标右键点选Y平台符号

点选

Properties第4章:传感器/探针的选择及校正12.取消勾选EnableAxisMisalignmentCorrections

点选

OKY轴调整及基准补正11.取消补正(如果需要)鼠标右键点选YY轴调整及基准补正1.确认X,Y及Z轴机械坐标是正确的

点选

OK2.使用绝对坐标移动X及Y轴到各自的中心位置3.放置光学玻璃平板,调整中心位置在探针下方

点选自动接触第4章:传感器/探针的选择及校正Y轴调整及基准补正1.确认X,Y及Z轴机械坐标是正确的Y轴调整及基准补正4.鼠标右键点选Y平台符号

点选

SetDatumCorrection

点选

OK5.输入需要的量测设定值

点选

OK第4章:传感器/探针的选择及校正详细信息Y轴调整及基准补正4.鼠标右键点选Y平台符号点选SeY轴调整及基准补正6.显示Y平台的直度形状

点选

OK来启动补正第4章:传感器/探针的选择及校正详细信息Y轴调整及基准补正6.显示Y平台的直度形状点选OK来Y轴调整及基准补正7.取消补正(如果需要)鼠标右键点选Y平台符号

点选

Properties8.取消勾选EnableAxisDatumCorrections

点选

OK警告:移除或是改变Y平台在基座的位置,将会导致相对位置及补正的无效第4章:传感器/探针的选择及校正Y轴调整及基准补正7.取消补正(如果需要)鼠标右键点选YX轴基准补正1.功能状态栏开启

FormTalysurf

点选

Instrument

点选

Reset(Cancel)UCS2.检查显示坐标与设备机械位置相符!3.移动X轴到左边极限位置4.设定X轴机械坐标为-0.7mm第4章:传感器/探针的选择及校正进一步设定信息X轴基准补正1.功能状态栏开启FormTalysurfX轴基准补正5.使用绝对坐标移动X轴到TraverseUnit的中心位置6.使用建议的校正标准球作探针的校正第4章:传感器/探针的选择及校正X轴基准补正5.使用绝对坐标移动X轴到TraverseUnX轴基准补正8.放置光学玻璃平板在水平调整台上7.再次使用绝对坐标移动X轴到TraverseUnit的中心位置9.调整光学玻璃平板中心位置在探针下方第4章:传感器/探针的选择及校正X轴基准补正8.放置光学玻璃平板在水平调整台上7.再次使用绝X轴基准补正10.移动探针位置超过平台支点

点选自动接触11.注意传感器读量(数值A)移动X轴到座标0mm注意传感器读量(数值B)平台支点第4章:传感器/探针的选择及校正X轴基准补正10.移动探针位置超过平台支点点选自动接触X轴基准补正11.调整水平平台的螺丝,使AB两点之间差量小于5µm12.重复调整步骤,直到平板水平差量小于5µm/200mm水平调整螺丝第4章:传感器/探针的选择及校正X轴基准补正11.调整水平平台的螺丝,使AB两点之间差量小X轴基准补正14.依照讯息指示点选

OK13.鼠标右键点选TraverseUnit符号

点选

SetDatumCorrection第4章:传感器/探针的选择及校正X轴基准补正14.依照讯息指示点选OK13.鼠标右键点选X轴基准补正15.确认显示的Pt值是小于0.75µm/200mm第4章:传感器/探针的选择及校正X轴基准补正15.确认显示的Pt值是小于0.75µm/X轴基准补正16.鼠标右键点选TraverseUnit符号

点选

Properties17.确认EnableAxisDatumCorrections是勾选的

点选

OK第4章:传感器/探针的选择及校正X轴基准补正16.鼠标右键点选TraverseUnit符号X轴基准补正18.点选

Go符号使用下列设定来量测光学玻璃平板第4章:传感器/探针的选择及校正X轴基准补正18.点选Go符号使用下列设定来量测光学玻X轴基准补正19.点选

NewAnalysis符号点选

Primary设定分析要件如下所示20.分析要件:Primary-LSLine-PrimaryFilter-0.8mmLsCut-Off-Pt第4章:传感器/探针的选择及校正X轴基准补正19.点选NewAnalysis符号点选X轴基准补正21.经过补正后的量测资料...注意:当使用0.8mmLsPrimary方式分析时,X轴补正后直度值(Pt)

不能超过0.10µm/200mm.警告!!第4章:传感器/探针的选择及校正详细信息X轴基准补正21.经过补正后的量测资料...注意:当使用0.X轴基准补正–探针的垂直性1.放置块规在治具或是Y平台上2.上下移动探针,并且注视探针尖端与块规的间隙.

这可以确认传感器的支点是否平行于设备本体3.如有产生差异,松开传感器固定钮,重新调整传感器本体直到平行为止第4章:传感器/探针的选择及校正X轴基准补正–探针的垂直性1.放置块规在治具或是Y平台上2.X轴基准补正–重要信息第4章:传感器/探针的选择及校正基准补正必须配合探针做量测.改变探针将需要执行球校正及基准补正流程.任何下列说明的改变将会造成基准补正的不正确;传动支架负载的改变(例如

较重的传感器)改变探针尖端与传动支架之间的距离(例如较长的探针)改变探针量测平面(例如

传感器架设离轴活是旋转)环境的改变造成短期或是长期直度的影响改变探针X轴基准补正–重要信息第4章:传感器/探针的选择及校正基准X轴基准补正–什么是良好的外形?第4章:传感器/探针的选择及校正当使用0.8mmLsPrimary方式分析时,检查200mm量测长度的直度值(Pt)必须小于0.75µm.量测形状必须单一型态,不能有任何段差如下描述的形状产生.如果形状或是Pt值不接受时,基准补正流程必须重复执行.X轴基准补正–什么是良好的外形?第4章:传感器/探针的选择Y轴基准补正信息第4章:传感器/探针的选择及校正在基准补正对话栏内的原始设定是针对Steinmeyer100mm长的平台.而Aerotech平台是50mm长度,因此,数据取样点数及间距是需要根据使用平台的长度来做调整.在选择的设备设定参数已经输入并且OK后,Y轴将会移动至0mm然后开始量测.这将会花费到一小时的时间.Y平台规格Y轴基准补正信息第4章:传感器/探针的选择及校正在基准补正X轴基准补正–准备第4章:传感器/探针的选择及校正理想的校正标准,光学平板及工件治具必须在使用前,先放置在环境柜一段时间直到制品稳定,理想是24小时而设备必须在使用前开机至少30分钟,达到稳定的操作温度.探针尖端也必须在校正或是量测前清洁去除灰尘颗粒不要用布来清洁探针尖端,纤维会被勾出沾黏在探针尖端上.轻微的压在探针小杆上的尖端,清洁复合物或是去除任何尖端上的灰尘颗粒在执行校正前最重要的是,确认探针运动是垂直于治具平台如同之前报表所显示的一样X轴基准补正–准备第4章:传感器/探针的选择及校正理想的校

第4章:传感器/探针的选择及校正选择传感器

选择探针编号改变感应器内容建立及储存新标准件使用量测数据作校正复原/删除/检视校正值Y轴调整及基准补正X轴基准补正第4章:传感器/探针的选择及校正选择传感器选择一个工作文件夹设定量测条件量测及检视原始资料检视分析结果量测及分析-快捷键打印第5章:量测与分析功能选择一个工作文件夹设定量测条件量测及检视原始资料检视分析结果功能状态栏开启

View

点选

Folders

选择需要的路径

点选

SelectFolder符号或者另一种方式...选择一个工作文件夹第5章:量测与分析功能功能状态栏开启View点选Folders选择需要功能状态栏开启

User

点选

SelectFolder

选择需要的路径

点选

OK点选跳到上一层鼠标左键双击跳到下一层注意:在自动程序内,使用这种方式选择路径是最佳方式选择一个工作文件夹第5章:量测与分析功能功能状态栏开启User点选SelectFolder注意:绿色勾选指定的结果路径将会储存起来选择一个工作文件夹第5章:量测与分析功能现在工作路径已经被选择注意:绿色勾选指定的结果路径将会储存起1.鼠标右键点选TraverseUnit符号

点选

Properties2.选择量测数据点数的密度

点选

OK量测功能设定-NewFTSS型态第5章:量测与分析功能1.鼠标右键点选TraverseUnit符号点选P3.选择SurfaceFinish功能4.点选Go来执行量测功能或者另一种方式...功能状态栏开启

Measure&Analyse

点选

Measure设定量测条件第5章:量测与分析功能3.选择SurfaceFinish功能4.点选Go来执行5.完成量测设定条件

点选

OK设定量测条件第5章:量测与分析功能5.完成量测设定条件点选OK设定量测条件第5章:量测6.检视原始资料...量测及检视原始资料第5章:量测与分析功能6.检视原始资料...量测及检视原始资料第5章:量测与分析功1.点选NewAnalysis符号或者另一种方式...鼠标右键点选量测结果

点选

New

点选

Analysis设定分析条件第5章:量测与分析功能1.点选NewAnalysis符号或者另一种方式...鼠标3.选择分析型态*

点选

OK*其他分析型态…点选下列连结WavinessPrimaryRkAnalysisRandWAnalysisDominantWavelengthRk(VDA2006)Roughness(VDA2006)设定分析条件第5章:量测与分析功能2.选择自动命名或是输入分析名称3.选择分析型态*点选OK*其他分析型态…点选下列连1.选择滤波型态3.选择(Ls)Cut-Off值**注意:在Primary型态分析时,是只有LsCut-Off值可选择Primary形状分析第5章:量测与分析功能2.选择数据长度方式1.选择滤波型态3.选择(Ls)Cut-Off值**注意4.选择Parameters栏

选择需要的参数

点选

OKPrimary形状分析第5章:量测与分析功能4.选择Parameters栏选择需要的参数点选Primary形状分析结果...Primary曲线Primary参数Primary形状分析第5章:量测与分析功能Primary形状分析结果...Primary曲线PrimaWaviness形状分析第5章:量测与分析功能2.选择数据长度方式1.选择滤波型态3.选择

(Lc)Cut-Off关断值*Waviness形状分析第5章:量测与分析功能2.选择数据长4.选择Parameters栏

选择需要的参数

点选

OKWaviness波纹分析第5章:量测与分析功能4.选择Parameters栏选择需要的参数点选Waviness分析结果...Waviness参数Waviness曲线Waviness波纹分析第5章:量测与分析功能Waviness分析结果...Waviness参数Wavin1.只有Rk滤波型态可以选择4.选择带宽BandwidthRk分析第5章:量测与分析功能2.选择数据长度方式3.选择

(Lc)Cut-Off关断值*1.只有Rk滤波型态可以选择4.选择带宽Bandwidth4.选择Parameters栏

选择需要的参数

点选

OKRk分析第5章:量测与分析功能4.选择Parameters栏选择需要的参数点选5.跳到Rk分析结果

…鼠标右键点选分析结果

点选

Display

点选

RkLayoutRk分析第5章:量测与分析功能5.跳到Rk分析结果…鼠标右键点选分析结果点选DRk分析版面...Rk分析第5章:量测与分析功能Rk分析版面...Rk分析第5章:量测与分析功能1.只有R&W滤波可选择2.勾选来使用标准的Cut-Offs关断值3.或是取消勾选来设定Cut-Offs关断值,数据长度及Ls滤波器R及W分析第5章:量测与分析功能1.只有R&W滤波可选择2.勾选来使用标准的Cut-Of4.选择

Parameters栏

选择需要的参数

点选

OKR及W分析第5章:量测与分析功能4.选择Parameters栏选择需要的参数点选R&W分析结果

...R及W分析第5章:量测与分析功能R&W分析结果...R及W分析第5章:量测与分析功能2.选择数据长度方式3.选择

(Ls)Cut-Off数值1.选择滤波型态DominantWavelength全阶波长分析第5章:量测与分析功能2.选择数据长度方式3.选择(Ls)Cut-Off数值15.选择需要的参数

4.选择

Parameters栏

DominantWavelength全阶波长分析第5章:量测与分析功能5.选择需要的参数4.选择Parameters栏Dom7.选择Detection模式点选

OK6.选择

Mode栏DominantWavelength全阶波长分析第5章:量测与分析功能7.选择Detection模式点选OK6.选择ModWD1曲线Primary形状WD2曲线DominantWavelength全阶波长分析第5章:量测与分析功能详细信息WD1曲线Primary形状WD2曲线DominantWa什么是全阶波长(DominantWavelength)?全阶波长分析通常使用在培林油封的应用,一个类似油封尺寸大小的波纹会导致漏油,及衬垫油封(例如圆筒头油封).它具体实现某些实验方法,可以界定对油封的应用.如同全阶波长分析的结果是辅助标准波纹分析而不是取代它.当检视一个表面组织的形状,它能辨识形状是由不同成分波纹的组成.这对眼睛而言是明显的,但这些波纹成分是如何单独给予有用的参数数值?如果使用标准的滤波技术,这些波纹不是常常被分辨的很清楚,或是一个成分很容易被滤波器所忽略.这会影响类似WSm之类参数的效益,这会因为局部的形状或是多个波纹成分的效益,造成很大的影响.全阶波长提供一种方式在量测中可独立分离出各阶波长.它量测是透过傅立叶来执行转换,及将标准选择的准则应用在傅立叶光谱.在一个全阶波长分析,WDSm参数是比WSm参数比较来的稳定.全阶波长分析结果会显示三个图形,主要完整图形,WD1及WD2.而WD1及WD2是全阶波长分析中大部分的两个图形.DominantWavelength全阶波长分析第5章:量测与分析功能什么是全阶波长(DominantWavelength)2.选择数据长度方式3.选择

(Lc)Cut-Off关断值*1.选择Rk滤波型态*注意:依照VDA2006标准规范,已经没有使用Lscut-off来做分析(意即取消Lowpass的选择)Rk(VDA2006)分析第5章:量测与分析功能2.选择数据长度方式3.选择(Lc)Cut-Off关断值4.选择

Parameters栏5.选择需要的参数

点选

OKRk(VDA2006)分析第5章:量测与分析功能4.选择Parameters栏5.选择需要的参数点选6.Rk分析结果…注意:要检视Rk版面时,鼠标右键点选分析结果

点选

Display

点选

RkLayout注意频宽(Bandwidth)值Rk(VDA2006)分析第5章:量测与分析功能详细信息6.Rk分析结果…注意:要检视Rk版面时,鼠标右键点选分析带宽在Rk(VDA2006)分析计算是如何表示?通常粗度分析上的带宽的表达是Lc的数值与Ls的数值的比值,例如.Lc的数值0.8mmLs的数值0.0025mmVDA2006分析没有使用到Ls滤波器,因此带宽比值的显示在Rk(VAD2006)分析结果是藉由ISO建议的最低限度的波长长度乘以数据的点距,然后去除Ls关段值.当使用0.8mmLc关段值,以及数据的点距是使用0.25µm.则带宽将是640:1~0.8mmLc(5x0.00025mm)300:1640:1Rk(VDA2006)分析–带宽信息第5章:量测与分析功能带宽在Rk(VDA2006)分析计算是如何表示?300:12.选择数据长度方式3.选择

(Lc)Cut-Off数值*Roughness(VDA2006)粗度分析第5章:量测与分析功能1.选择滤波型态*注意:依照VDA2006标准规范,已经没有使用Lscut-off来做分析(意即取消Lowpass的选择)2.选择数据长度方式3.选择(Lc)Cut-Off数值*4.选择Parameters栏

5.选择需要的参数

点选

OKRoughness(VDA2006)粗度分析第5章:量测与分析功能4.选择Parameters栏5.选择需要的参数点选注意带宽(Bandwidth)值6.VDA2006粗糙度分析结果t…Roughness(VDA2006)粗度分析第5章:量测与分析功能详细信息注意带宽(Bandwidth)值6.VDA2006粗4.选择Form栏5.选择形状参考线设定分析条件第5章:量测与分析功能详细信息4.选择Form栏5.选择形状参考线设定分析条件第5章:量1.在选择的参数栏内,鼠标左键双击Slope参数2.选择需要的单位

点选

OK*

*注意:当完成分析后,斜率的结果将会显示成选择的单位设定分析条件–斜率第5章:量测与分析功能1.在选择的参数栏内,鼠标左键双击Slope参数2.选择需要6.选择Filter&Data栏7.选择滤波器8.选择数据长度方式9.选择(Lc)Cut-Off

关断值10.选择带宽Bandwidth(ISO建议)设定分析条件第5章:量测与分析功能6.选择Filter&Data栏7.选择滤波器8.选择11.选择Parameters栏

选择需要显示的参数

点选

OK选择全部的参数已选择需要显示的参数选择单一的参数尚未选择显示的参数设定分析条件第5章:量测与分析功能限定参数的进一步信息11.选择Parameters栏选择需要显示的参数1.含星状的参数,例如Rmr(1)*需要更进一步的设定...注意:多重合格值可以在从未选择区内选择需要的参数后,再执行设定设定有限制的参数第5章:量测与分析功能2.在已选择栏内需要的参数上鼠标左键双击

输入合格值

点选

OK1.含星状的参数,例如Rmr(1)*需要更进一步的设定..3.有限制的参数可以在结果栏内改变数值设定有限制的参数第5章:量测与分析功能3.有限制的参数可以在结果栏内改变数值设定有限制的参数第5章1.勾选MaterialRatioandAmplitudeCurves功能承压比值及振幅曲线第5章:量测与分析功能1.勾选MaterialRatioandAmplit承压比值及振幅曲线第5章:量测与分析功能2.在互动显示画面上,使用鼠标来移动上下光标承压比值及振幅曲线第5章:量测与分析功能2.在互动显示画面上鼠标右键点选分析结果

点选

DisplayOptions

点选

Cursor栏

选择ReferenceType

点选

OK2.上下光标将会马上切换改变成选择的参考型态承压比值及振幅曲线–显示功能第5章:量测与分析功能鼠标右键点选分析结果点选DisplayOption粗度分析的结果图形形状参考线粗度分析参数检视分析结果第5章:量测与分析功能MaterialRatio&AmplitudeCurves进一步信息粗度分析的结果图形形状参考线粗度分析参数检视分析结果第5章:1.功能状态栏开启

Measure&Analyse

点选

Preferences

点选

General!警告:当这个功能被取消,设定会在压量测启动键后立即生效

量测及分析-快捷键第5章:量测与分析功能2.取消勾选ConfirmBeforeMeasure&Analyse

点选

OK1.功能状态栏开启Measure&Analyse点3.功能状态栏开启

Measure&Analyse

点选

Settings

点选

NewMeasurement4.完成量测设定

点选

OK5.功能状态栏开启

Measure&Analyse

点选

Settings

点选

NewAnalysis6.完成分析设定

点选

OK注意:这个流程是使用在预先的设定,不会立即做量测的动作.量测及分析-快捷键第5章:量测与分析功能3.功能状态栏开启Measure&Analyse点7.单键执行量测及分析流程对批次量测非常有用量测及分析-快捷键第5章:量测与分析功能7.单键执行量测及分析流程对批次量测非常有用量测及分析-快捷点选打印快捷键做实时打印功能状态栏开启

File

点选

Print

设定列表机条件

点选

OK鼠标右键点选分析结果

点选

Print

点选

Default(或是选择Layout版面)功能状态栏开启

View

点选

Folders

鼠标右键点选档案

点选

Print

点选

Default(或是选择Layout版面)打印第5章:量测与分析功能或是...或是...或是...点选打印快捷键做实时打印功能状态栏开启File点选P

第5章:量测与分析功能选择一个工作文件夹设定量测条件量测及检视原始资料检视分析结果量测及分析-快捷键打印第5章:量测与分析功能选择一个工作文件夹设定量测检视旧有量测资料分析旧有量测资料移动/复制

/删除

/转出

/输入第6章:数据再分析及档案处理检视旧有量测资料分析旧有量测资料移动/复制/删除/转出检视旧有量测资料1.功能状态栏开启

View

点选

Folders点选Open符号选择档案

点选

OK点选往上一层2.鼠标右键点选量测资档案符号

点选

Display

点选

Default第6章:数据再分析及档案处理或是...检视旧有量测资料1.功能状态栏开启View点选Fol分析旧有量测资料鼠标右键点选分析结果

点选

New

点选

Analysis*注意:你可利用分析快捷键,如同之前的使用方式第6章:数据再分析及档案处理或是...2.鼠标右键点选量测资档案符号

点选

New

点选

Analysis*分析旧有量测资料鼠标右键点选分析结果点选New点剪下复制贴上多数据选择:使用Shift/Control键以及鼠标右键移动/复制

/删除

/转出

/输入功能状态栏开启

View

点选

Folders

点选档案

点选

Cut/Copy/Paste...鼠标右键点选档案

点选

Cut/Copy/Paste...第6章:数据再分析及档案处理或是...剪下复制贴上多数据选择:移动/复制/删除/转出/输入功功能状态栏开启

View

点选

Folders

点选档案

点选

Delete

删除!

加号以下所有数据会全部删除另一个选择:使用删除键!警告:Uitra数据库内没有垃圾回收筒

–一旦数据被删除后,就无法复原移动/复制

/删除

/转出

/输入第6章:数据再分析及档案处理功能状态栏开启View点选Folders点选档案1.功能状态栏开启

View

点选

Folders鼠标右键点选档案

点选

Export

点选

ExporttoFile2.选择目的地3.选择档案型态点选

Save另一个选择

:鼠标右键点选图形结果

点选Export...移动/复制

/删除

/转出

/输入第6章:数据再分析及档案处理1.功能状态栏开启View点选Folders鼠标右2.点选输入快捷键3.从来源路径读取档案

点选

OpenClickHereForFileTypes移动/复制

/删除

/转出

/输入1.选择目的路径第6章:数据再分析及档案处理2.点选输入快捷键3.从来源路径读取档案点选Open输入特别探针的数据(*.SOF档案)1.功能状态栏开启

View

点选

Folders第6章:数据再分析及档案处理2.点选输入快捷键3.从光盘读取探针文件案(.sof)

点选

Open输入特别探针的数据(*.SOF档案)1.功能状态栏开启Vi输入特别探针的数据(*.SOF档案)5.选择特殊探针编号

点选

OK4.鼠标右键点选传感器符号

点选

Configure6.使用建议的标准球来校正特殊探针第6章:数据再分析及档案处理输入特别探针的数据(*.SOF档案)5.选择特殊探针编号ULTRA输入和输出是随着选择档案的不同格式而不同:

ULTRA型态

.SBF 二进制格式数据含所有原始及分析结果.SOF 探针定义数据 .SAR 系统文件夹.PRFSTalysurf静态噪声数据

DOS型态 .PRF 量测结果文字格式文件

.MOD 分析结果文字格式文件

所有档案型态第6章:数据再分析及档案处理ULTRA输入和输出是随着选择档案的不同格式而不同:ULT

第6章:数据再分析及档案处理检视旧有量测资料分析旧有量测资料移动/复制

/删除

/转出

/输入第6章:数据再分析及档案处理检视旧有量测资料分析旧有量选择一个范围–放大/缩小拖动及滑动一个范围–选择观看这个范围选择选定范围/选择全部倍率及轴向读值的操作设定一个选择的范围第7章:数据选择及进一步分析选择一个范围–放大/缩小拖动及滑动一个范围–选择观看这个范围1.调整左右边界线来选择图形的范围选择一个范围–放大/缩小第7章:数据选择及进一步分析1.调整左右边界线来选择图形的范围选择一个范围–放大/缩小第2.使用快捷键来针对光标位置,做对等的放大及缩小放大缩小取消选择的区域鼠标左键在图形上快点两下选择一个范围–放大/缩小第7章:数据选择及进一步分析或是...2.使用快捷键来针对光标位置,做对等的放大及缩小放大缩小取消1.抓取区域显示视窗*到工件其他部位2.使用选择的区域快捷键来回到选择的区域拖动及滑动一个范围–选择观看这个范围*区域显示窗口第7章:数据选择及进一步分析放大缩小取消选择的区域1.抓取区域显示视窗*到工件其他部位2.使用选择的区域快捷键1.放大后,点选现有选择快捷键来成为目前选择的区域现有选择2.使用选择全部快捷键来选择图形全局选择选定范围/选择全部选择全部第7章:数据选择及进一步分析1.放大后,点选现有选择快捷键来成为目前选择的区域现有选择21.鼠标右键点选分析结果

点选

DisplayOptions

点选

点选

Axes栏倍率及轴向读值的操作2.选择单位/倍率/固定的倍率

功能等等…

点选

OK第7章:数据选择及进一步分析1.鼠标右键点选分析结果点选DisplayOpti1.点选去除形状做自动倍率快捷键

抹去不要的部份2.使用含入形状做自动倍率快捷键来移除已经去除的范围注意:自动倍率调整的影响只有在屏幕显示,不在分析结果倍率及轴向读值的操作–去除形状做自动倍率调整去除形状做自动调整含入形状做自动调整清除选择恢复原来可见自动倍率调整第7章:数据选择及进一步分析1.点选去除形状做自动倍率快捷键抹去不要的部份2.使用将图形做局部放大

点选可见自动倍率调整快捷键来调整Z轴的倍率倍率及轴向读值的操作–可见范围做自动倍率调整可见自动倍率调整第7章:数据选择及进一步分析将图形做局部放大点选可见自动倍率调整快捷键来调整Z轴1.鼠标右键点选量测结果

点选

DisplayOptions

点选

Profile栏注意:这种设定方式非常建议在自动程序内使用设定一个选择的范围2.输入左右边界的坐标

点选

OK第7章:数据选择及进一步分析1.鼠标右键点选量测结果点选DisplayOpti

第7章:数据选择及进一步分析选择一个范围–放大/缩小拖动及滑动一个范围–选择观看这个范围选择选定范围/选择全部倍率及轴向读值的操作设定一个选择的范围第7章:数据选择及进一步分析选择一个范围–放大/缩去除资料作优化分析设定数据去除的范围第8章:资料形状排除分析去除资料作优化分析设定数据去除的范围第8章:资料形状排除分析1.点选去除形状做自动调整快捷键

将不要的部份抹除

如果需要可使用含入形状做自动调整快捷键来回复抹除的部份

去除形状做自动调整含入形状做自动调整2.

执行分析

设定分析要件

点选

OK

清除选择恢复原来去除资料作优化分析第8章:资料形状排除分析1.点选去除形状做自动调整快捷键将不要的部份抹除3.结果显示数据遮蔽以外的部份随着形状参考线的选择而配合调整注意:去除形状做自动调整功能在水平调整及深度尺寸方面的分析量测非常好用去除资料作优化分析第8章:资料形状排除分析3.结果显示数据遮蔽以外的部份随着形状参考线的选择而配合调整1.鼠标右键点选量测结果

点选

DisplayOptions

点选

Profile栏2.可点选来手动输入数据去除范围注意:这种手动输入范围区的方式非常适用在自动程序的执行设定数据去除的范围3.输入一对的数值

依需求可再次输入

点选

OK

点选

OK第8章:资料形状排除分析1.鼠标右键点选量测结果点选DisplayOpti

第8章:资料形状排除分析去除资料作优化分析设定数据去除的范围第8章:资料形状排除分析去除资料作优化分析设定数据去除的指标及参考点利用指标/参考点来设定UCS设定翻转及镜射第9章:指标&UCS的使用指标及参考点利用指标/参考点来设定UCS设定翻转及*注意:原始量测图形亦可使用此功能指标及参考点第9章:指标&UCS的使用1.鼠标右键点选分析结果*

点选

DisplayOptions

点选

Indicator栏勾选

IndicatorsOn

点选

OK*注意:原始量测图形亦可使用此功能指标及参考点第9章:指活动游标的坐标参考点的坐标参考点与活动游标的坐标差量指标及参考点2.使用鼠标移动光标

设定参考点

移动光标到另一个位置

注意

X,Z

以及Pitch的结果

第9章:指标&UCS的使用活动游标的坐标参考点的坐标参考点与活动游标的坐标差量指标及鼠标右键点选量测结果

选择SetUCSforCursorPosition或是ReferencePosition

输入OffsetX位移量

点选

OK现在设备移动将以工作坐标为准利用指标/参考点来设定UCS第9章:指标&UCS的使用或是...鼠标右键点选量测结果选择SetUCSforCurs鼠标右键点选量测结果

选择

SetInvertandMirror

勾选

InvertProfile/MirrorX

点选

OK注意:当需要工件形状的复制时,可使用此功能设定翻转及镜射第9章:指标&UCS的使用鼠标右键点选量测结果选择SetInvertand

第9章:指标&UCS的使用指标及

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