淀积光刻刻蚀第三讲课件

淀积光刻刻蚀第三讲16、云无心以出岫，鸟倦飞而知还。17、童孺纵行歌，斑白欢游诣。18、福不虚至，祸不易来。19、久在樊笼里，复得返自然。20、羁鸟恋旧林，池鱼思故渊。淀积光刻刻蚀第三讲淀积光刻刻蚀第三讲16、云无心以出岫，鸟倦飞而知还。17、童孺纵行歌，斑白欢游诣。18、福不虚至，祸不易来。19、久在樊笼里，复得返自然。20、羁鸟恋旧林，池鱼思故渊。第三讲淀积、光刻、刻半导体工艺介绍第三讲淀积(deposit)2、光刻(photoetch)3、刻蚀(etch)第三讲淀积、光刻、刻3.1.1淀积depositoxidationdepositoxidethick=0.02divisions=5淀积SO2后的结构为了落实中共中央国务院关于《深化教育改革全面推进素质教育的决定》中，“国家支持建设以中国教育科研网和卫星视频系统为基础的农村中小学现代远程教育程”这一精神，河北省于2005年正式启动了河北省农村中小学远程教育工程，我校于2005年6月被确定为实现河北省农村中小学远程教育工程项目校，于2005年完成设备安装调试，于2006年1月投入使用。这将有利于提高我校的教育教学质量，为我校建立学习型组织创造有利条件。因此，必须抓住这一良好的契机，充分利用远教工程的教育技术手段，跟上基础教育课程改革的步伐，深化教育教学改革，全面提高教学质量，为培养新世纪的各种类型的人材服务。中小学现代远程教育工程延伸到农村中小学，学校领导、教师、学生的思想如何转变？如何更有效的管理、使用所配备的远教设备，如何利用网络教室，开展网络环境下的课堂教学”等问题，都是我们在运用方面应着重探讨和研究的实际问题。一、加强培训，提高我校全体师生的思想认识农村教育的落后是资源缺乏，信息闭塞。现代远程教育网络的资源以新理念，新起点，高标准和强实力，建立了动态的、超大型的，不断更新的知识系统。基于卫星IP频道和互联网的信息交流平台，所配备的教学资源具有先进性，整合性和交互性，达到了标准化、积件化和简捷化的要求，既能直接为教育教学服务，也便于师资培训，提高教师教学理论水平，还可以进行农村实用技术培训，为提高农村素质和发展服务，为当地发经济服务。首先，应提高学校领导思想认识，重视教学资源在学科备课中的应用。应加强学校领导远教工程的培训，使他们充分了解远教工程中硬、软件在教学中的作用，教会领导通过教学资源获取最先进的教育理念的方法，充分了解教育资源的构成，提高领导对远教工程的重视程度。其次，提高教师的思想认识，通过培训教师的应用，使老师充分了解到资源由课程资源，学生学习指导，教师发展，专题教育等栏目及丰富内容构成，提高教师可以足不出户，共享全国优秀的教学资源的认识，不仅教师可以用其中的教学课件进行授课，还可以接触先进的教学思想，了解合作学习，探究式学习等教学模式，通过观看课堂实录，提高自身的教育教学水平。第三，提高学生的思想认识，在网络教室中让学生充分了解不仅可以学习信息技术知识，还可以访问远教资源中的学习指导部分，有所侧重的复习已学的知识。二、提高管理人员的业务素质，加强设备管理农村远程教育工程，是一项基础教育建设工程，也是农村中小学教育教学的深化改革工程。工程充分考虑全国农村中小学实际，于2005年11月免费向我校提供了成套的卫星接收、计算机服务器、电视广播设备、网络教室设备。形成了模式一――教学播放点；模式二――卫星收视点；模式三――计算机网络教室的三种模式。在近一年的实践中，结合我校实际情况，应对其设备再次有机整合，以便更有效的发挥其在教学中的作用，不能单纯的理解应用这三种模式。远教工程设备管理者应在正式投入使用后，仔细观、察思考这些设备的连接方式和方法、机器性能、服务器使用方法等。学习网络维护的技术、病毒防范的方法，计算机操作系统安装方法。为今后重新有机整合设备打下基础。第二，设备管理者根据教学内容和教师授课方式的需要，大胆打破三种模式界线，充分其应有的效力。模式二――卫星收视点中，计算机操作系统是WindowsXP。接收到的资源容量每学期可达100G之多，而教师的教学进度参差不齐，服务器容量不大。多数学校是先把卫星接收机中的D盘共享，然后在网络教室中通过网上邻居找到卫星接收机的共享D盘中的资源主页，查看相关主题资源，这种做法在规模较小的学校比较方便、安全，但学校计算机数量超过30台的校园网络中同时访问，使得访问速度明显降低，可能出现栓塞现象，影响正常工作。可利用Windows2000自带的Internet信息服务管理工具建立Web站点，在学校校园中建立相应的主页链接，这样可以保证教师及时准确的访问资源，达到一个资源高度共享。教师在模式三――计算机网络教室上基于网络环境下的课堂教学中，向学生讲授新知识时，只能通过屏幕广播方式讲授，这样不易集中学生注意力。教师不易观察学生的行为变化，可以考虑将模式二中的大屏幕电视移至网络教室与教师机相连，起到投影屏幕的作用，便于教师统览整个课堂教学，集中学生注意力。三、探索基于网络环境下的新的教学模式，发挥网络教室的作用基于网络环境下的教学模式，逐步成为了一种全新的教学模式，是集教师的课程内容、反馈练习、知识拓展等知识为一体的学生导学系统。教师应在实践中逐步探索这一教学模式，它可以在短时间内传递大量信息，同时，可以进行多种交互性操作，可以跨跃时间界线，将逝去的历史重现，把远方的情景移近，使未来呈现。同时，可达到教师的异步教学的效果，使学生可以根据自己的需要进行选择性学习。结合我校教师实际，如何实现这一目标？首先，计算机网络教室要与远教资源和互联网相连接，营造一个更大的网络环境。其次，加强本校教师网站制作技术的培训，逐步指导教师制作自己的网站。第三，充分发挥网络教室中速龙软件功能，搞好学生的练习和竞赛活动。农村现代远程教育不是“电大”，每所中小学也产是“电大”分校，决不是设备一开，让学生听大课去。远教条件下的教和学，教师不是省事了，而是要做的事更多、更细、更复杂、更艰难。我们将在实践中逐步探索远教工作的新思路、新方法，更好的为学校的教育教学服务。（河北省秦皇岛市抚宁县石门寨镇初级中学）1农村义务教育的基本属性与提供主体1.1农村义务教育是一种特殊的准公共产品根据公共产品的理论,我们把由政府提供,具有“非排他性”与“非竞争性”的产品称之为公共产品,与之相对应的通过市场渠道提供,具有“排他性”与“竞争性”的产品称为私人产品。但现实中还有介于两者之间的产品――混合产品:既可由政府来提供,也可由市场来供给;公共产品属性非常明显,私人产品属性虽存在但不明显的混合产品称之为准公共产品。国内外普遍认为义务教育是一种准公共产品,既可以由国家政府提供,也可以有市场来提供。我国义务教育集中在小学和初中,所需成本远远低于中等和高等教育,对基础教育的基础设施所进行的投资可视为沉淀成本,增加一个儿童的可变成本相对较低,因此义务教育(法定实施的一定年限的基础教育)就具有消费上的非竞争性;同时排除某些适龄儿童参与分享所付出的成本(尤其是机会成本)太大,连义务教育也会名不符实,所以义务教育又具有消费的非排他性。但是义务教育作为某一阶段的教育,除了具有前者的纯粹公共产品属性,同时也具有很强的私人产品属性。因为义务教育,总是由一定的教育机构来实施,它们不管是公立的还是私立的,都会因办学历史不同、地理区位不同、经营理念、能力和教师水平的差异而导致学校教学质量等多方面不同,好的学校出现拥挤,差的学校留待另类。故而一定时期的义务教育制度不可能避免义务教育的竞争和排他现象的出现,也就是说我们可以将义务教育视为准公共产品。农村义务教育不仅是一种准公共产品,而且是一种特殊的公共产品。其特殊性在于消费者经常低估义务教育较高的实际效益,义务教育被当作是一种效用并不显著的可有可无的消费品。农村义务教育的效用评价低于实际效用时,农村义务教育的需求将降低,市场提供将更低于实际需求,低于资源配置的最佳水平。显然这种资源配置方式是无效率的,如农村小学、中学的入学率相对于城市显得较低,而辍学、文盲的比例则相对较高。另外农村义务教育具有整体收益与局部收益的双重外部性,农村义务教育使当地农村居民获益的同时,也会给全社会带来巨大的收益因此,政府有必要对农村义务教育进行干预。1.2农村义务教育的政府主体提供市场价格不能反映公共产品的外部收益与外部成本,在消费存在正外部性时,人们往往隐藏自己对产品的真实偏好,出现“搭便车”的现象,这一点在义务教育上也有所体现。消费者在消费农村义务教育这种公共产品时,无法通过交易的方式把外溢效应内在化,或者组织这种交换(市场)的交易成本太高,导致农村义务教育提供者从其经济行为中产生的私人成本与社会成本、私人收益与社会收益无法对应相等,从而导致义务教育供给不足,达不到完全竞争市场所产生的帕累托效率状态,存在市场失灵。所以农村义务教育的公共产品属性要求义务教育的提供不能完全依靠市场来解决。根据政府与市场的关系,政府的职能是解决那些“市场不能解决或解决不好”的。农村义务教育,必须以政府为主体、市场相结合的办法来提供。虽然由于市场失灵,义务教育不可完全通过市场向社会提供,但也不能认为完全通过政府提供是最好的,政府失灵同样存在。我们既要相信政府在义务教育投入上的责任和作用,也不能忽视政府提供中存在的问题,在传统的政府投入体制下引入竞争机制,打破公共产品生产和供给的垄断格局,在政府和市场之间寻找二者的相互补充。2我国农村义务教育财政支出状况分析2.1义务教育财政支出总量不足近年来,财政性教育经费占GDP的比例虽然连续几年增长,2004年为2.79%,2005年为2.82%,2006年虽接近3%了,但离发展中国家上世纪九十年代末“4%”的目标仍相距甚远。我国义务教育经费总投入和各级政府义务教育经费投入以较快速度增长,但与巨大的农村义务教育经费需求相比,投入供给总量仍然严重不足。具体表现为如下方面:农村学校办学条件差、拖欠教师工资,农村办学的基本条件难以保障等。农村义务教育经费来源变得越来越窄,仅剩上级转移支付、财政拨款、学杂费这三条资金来源渠道。如果其中一条渠道的资金不到位,农村义务教育的正常运转将受到严重影响。当今,我国实行“分级管理,以县为主”的教育财政体制,可是,现在许多县级政府仅仅维持“吃饭财政”的水平,只好陷入“巧妇难为无米之炊”的困境。如果上级政府不能加大拨款力度,那么农村义务教育办学基本条件难以保障。2.2义务教育财政支出结构失衡――教育财政纵向失衡就农村义务教育而言,我国教育财政纵向失衡严重,有能力承担的省级及以上政府没有应尽其责任,而无能为力的县级及以下政府心有余而力不足。从教育支出的绝对数来看,不管是中央财政,还是地方财政支出都逐年增加。地方的增长速度比中央的增长速度慢,却承担了全国教育经费的绝大部分。分税制改革以来,税基宽泛、具有流动性和分配效应的税种归中央政府,其他小税种归地方,因此地方政府的财政收入大大少于中央政府。但是在事权分配上,地方政府成为公共品的主要提供者。税费改革前,财力脆弱的乡村负担了义务教育总投入的绝大部分,乡村财政不堪重负,最后结果只好转嫁到农民身上,乡村债务高筑,财政风险加大。税费改革后,农村义务教育的重担只是从乡镇政府转移到县级政府,省级和中央政府丝毫没有改变。在我国分级办学之下,义务教育存在明显的纵向失衡,义务教育阶段的投资责任,大部分给了财政薄弱的底层地方政府。在上级政府转移支付不足的情况下,为了满足需求,县乡政府还是将负担转交给了更为弱势的农民,从而导致人民教育农民办。2.3义务教育财政支出结构失衡――教育财政横向失衡我国农村义务教育地区投入差异大,“以县为主”的体制并不能从根本上消除地区之间农村义务教育财政投入的差距。我国地区经济发展形成东、中、西梯度式的不平衡状态,地区之间的教育投入水平也随之相差悬殊,尤其是东部和西部的差距更加明显,如广东、江苏属于我国经济发达地区,财力较为雄厚,教育经费投入相对较多;而贵州位于我国的西部,属于经济落后地区,受经济制约其教育经费投入很少。2001年东部农村小学生均预算内教育经费比中部高48.73%,比西部高16.18%,2005年东部比中部高44.68%,比西部高39.11%。3农村义务教育支出的政策建议在现代经济下,必须重视和强化教育投入,缓解农村义务教育经费紧张的具体措施主要包括:进行教育财政支出体制改革,明确各级政府在农村义务教育上的责任;建立科学的农村义务教育财政转移支付制度,最后着力推进县级地方公共财政建设,促进农村义务教育健康发展。3.1改革农村义务教育财政支出体制农村义务教育属于公共产品,中央政府必须代表整个社会利益,通过财政分配手段,减少区域差异,提供大致均等化的教育产品与服务。在坚持适度义务教育财政分权这一改革大前提下:(1)明确县是义务教育事权与支出责任主体,我国绝大多数省均推行了“省直管县、乡镇财政县管”的财政体制改革,这样地市和乡镇财政职能进一步弱化,已经不适合再承担义务教育支出和筹资责任。要转移义务教育投入负担主体,将投入主体的重心上移,加快中央和高一级地方政府的投入速度.(2)明确划分中央和省的义务教育财政补助责任,按照财政职能在政府间划分的一般原则,划分各级政府的财权事权。中西部省份义务教育基建支出可以采用中央、省和县三级分担的形式,等办学条件明显改善后中央逐步退出。(3)中央和省份应进一步加大对部分贫困县的一般性转移支付力度,至少确保这些县有财政能力满足包括义务教育在内的公共服务最基本的财政支出需求。(4)通过增加地方财政预算决策的透明度,建立“以提供良好地方公共服务”为核心的政绩考核指标体系,促使地方政府转变财政职能,调整支出结构,进而确保地方财政支出的重点不偏离辖区居民最基本的公共需求。3.2推进县级地方公共财政建设县级是农村义务教育投入的重要力量,今后为了有效发挥县级支持农村义务教育的作用,需要着力推进县级地方公共财政建设,为强化农村义务教育投入创造条件。首先加快乡镇财政体制创新,通过乡镇财政体制创新,可以达到乡级资金向县级集中,而事权有可能下移的双赢境况。其次稳定县级财政收入,县级政府应对其所有的实际收入采取集中管理,并与政府财政收入相一致,不能让部门分散管理、自收自支,保证现有财政收入的稳定和完整。另外在国家政策允许范围内积极开辟财源,在县域内设立“保税区”,让出部分税利,“欲取之,必先予之”,从而达到招商引资的目的。再者规范县级公共支出,按照市场经济要求确定支出范围,有进有退,为强化农村义务教育投入创造条件。淀积光刻刻蚀第三讲16、云无心以出岫，鸟倦飞而知还。淀积光刻1第三讲淀积、光刻、刻半导体工艺介绍第三讲淀积(deposit)2、光刻(photoetch)3、刻蚀(etch)第三讲淀积、光刻、刻2淀积光刻刻蚀第三讲课件3淀积光刻刻蚀第三讲课件4淀积光刻刻蚀第三讲课件5淀积光刻刻蚀第三讲课件6第三讲淀积、光刻、刻膜淀积:在半导体工艺中膜淀积是指在硅片衬底上形成层固体薄膜。这层膜可以是导体、绝缘物质后者半导体,如SiO2,SiN3,多晶硅,金属,单晶硅。淀积形成SiO2淀积形成多晶硅第三讲淀积、光刻、刻7第三讲淀积、光刻、刻半导体加工中薄膜特性、好的台阶覆盖能力2、好的间隙填充能力3、好的厚度均匀性4、对衬底材料好的粘附性第三讲淀积、光刻、刻8第三讲淀积、光刻、刻淀积的方法化学工艺物理工艺化学气相沉积|电镀物理气相淀积蒸发旋涂(CVD)(PVD或溅射APCVD电镀直流MBE旋涂玻璃(SOG)LPCVD射频旋涂绝缘介质(SOD)PECVD磁控HDPCVD第三讲淀积、光刻、刻9第三讲淀积、光刻、刻CVD(化学气相沉积):通过气体混合的化学反应在硅片表面淀积一层固体膜的工艺。硅片表面及其临近的区域被加热来向反应系统提供附加的能量。(产生化学变化,成膜物质来源于外部,反应物必须以气相形式参加反应)第三讲淀积、光刻、刻10第三讲淀积、光刻、刻cD反应室气体转送0S副产物去除2薄先物反应3气体分子80084)先物的村底第三讲淀积、光刻、刻11淀积光刻刻蚀第三讲课件12淀积光刻刻蚀第三讲课件13淀积光刻刻蚀第三讲课件14淀积光刻刻蚀第三讲课件15淀积光刻刻蚀第三讲课件16淀积光刻刻蚀第三讲课件17淀积光刻刻蚀第三讲课件18淀积光刻刻蚀第三讲课件19淀积光刻刻蚀第三讲课件20淀积光刻刻蚀第三讲课件21淀积光刻刻蚀第三讲课件22淀积光刻刻蚀第三讲课件23淀积光刻刻蚀第三讲课件24淀积光刻刻蚀第三讲课件25淀积光刻刻蚀第三讲课件26淀积光刻刻蚀第三讲课件27淀积光刻刻蚀第三讲课件28淀积光刻刻蚀第三讲课件29淀积光刻刻蚀第三讲课件30淀积光刻刻蚀第三讲课件31淀积光刻刻蚀第三讲课件32淀积光刻刻蚀第三讲课件33淀积光刻刻蚀第三讲课件34淀积光刻刻蚀第三讲课件35淀积光刻刻蚀第三讲课件36淀积光刻刻蚀第三讲课件37淀积光刻刻蚀第三讲课件38淀积光刻刻蚀第三讲课件39淀积光刻刻蚀第三讲课件40

1、最灵繁的人也看不见自己的背脊。——非洲

2、最困难的事情就是认识自己。——希腊

3、有勇气承担命运这才是英雄好汉。——黑塞

4、与肝胆人共事，无字句处读书。——周恩来

5、阅读使人充实，会谈使人敏捷，写作使人精确。——培根

1、最灵繁的人也看不见自己的背脊。——非洲

2、最困41淀积光刻刻蚀第三讲16、云无心以出岫，鸟倦飞而知还。17、童孺纵行歌，斑白欢游诣。18、福不虚至，祸不易来。19、久在樊笼里，复得返自然。20、羁鸟恋旧林，池鱼思故渊。淀积光刻刻蚀第三讲淀积光刻刻蚀第三讲16、云无心以出岫，鸟倦飞而知还。17、童孺纵行歌，斑白欢游诣。18、福不虚至，祸不易来。19、久在樊笼里，复得返自然。20、羁鸟恋旧林，池鱼思故渊。第三讲淀积、光刻、刻半导体工艺介绍第三讲淀积(deposit)2、光刻(photoetch)3、刻蚀(etch)第三讲淀积、光刻、刻3.1.1淀积depositoxidationdepositoxidethick=0.02divisions=5淀积SO2后的结构为了落实中共中央国务院关于《深化教育改革全面推进素质教育的决定》中，“国家支持建设以中国教育科研网和卫星视频系统为基础的农村中小学现代远程教育程”这一精神，河北省于2005年正式启动了河北省农村中小学远程教育工程，我校于2005年6月被确定为实现河北省农村中小学远程教育工程项目校，于2005年完成设备安装调试，于2006年1月投入使用。这将有利于提高我校的教育教学质量，为我校建立学习型组织创造有利条件。因此，必须抓住这一良好的契机，充分利用远教工程的教育技术手段，跟上基础教育课程改革的步伐，深化教育教学改革，全面提高教学质量，为培养新世纪的各种类型的人材服务。中小学现代远程教育工程延伸到农村中小学，学校领导、教师、学生的思想如何转变？如何更有效的管理、使用所配备的远教设备，如何利用网络教室，开展网络环境下的课堂教学”等问题，都是我们在运用方面应着重探讨和研究的实际问题。一、加强培训，提高我校全体师生的思想认识农村教育的落后是资源缺乏，信息闭塞。现代远程教育网络的资源以新理念，新起点，高标准和强实力，建立了动态的、超大型的，不断更新的知识系统。基于卫星IP频道和互联网的信息交流平台，所配备的教学资源具有先进性，整合性和交互性，达到了标准化、积件化和简捷化的要求，既能直接为教育教学服务，也便于师资培训，提高教师教学理论水平，还可以进行农村实用技术培训，为提高农村素质和发展服务，为当地发经济服务。首先，应提高学校领导思想认识，重视教学资源在学科备课中的应用。应加强学校领导远教工程的培训，使他们充分了解远教工程中硬、软件在教学中的作用，教会领导通过教学资源获取最先进的教育理念的方法，充分了解教育资源的构成，提高领导对远教工程的重视程度。其次，提高教师的思想认识，通过培训教师的应用，使老师充分了解到资源由课程资源，学生学习指导，教师发展，专题教育等栏目及丰富内容构成，提高教师可以足不出户，共享全国优秀的教学资源的认识，不仅教师可以用其中的教学课件进行授课，还可以接触先进的教学思想，了解合作学习，探究式学习等教学模式，通过观看课堂实录，提高自身的教育教学水平。第三，提高学生的思想认识，在网络教室中让学生充分了解不仅可以学习信息技术知识，还可以访问远教资源中的学习指导部分，有所侧重的复习已学的知识。二、提高管理人员的业务素质，加强设备管理农村远程教育工程，是一项基础教育建设工程，也是农村中小学教育教学的深化改革工程。工程充分考虑全国农村中小学实际，于2005年11月免费向我校提供了成套的卫星接收、计算机服务器、电视广播设备、网络教室设备。形成了模式一――教学播放点；模式二――卫星收视点；模式三――计算机网络教室的三种模式。在近一年的实践中，结合我校实际情况，应对其设备再次有机整合，以便更有效的发挥其在教学中的作用，不能单纯的理解应用这三种模式。远教工程设备管理者应在正式投入使用后，仔细观、察思考这些设备的连接方式和方法、机器性能、服务器使用方法等。学习网络维护的技术、病毒防范的方法，计算机操作系统安装方法。为今后重新有机整合设备打下基础。第二，设备管理者根据教学内容和教师授课方式的需要，大胆打破三种模式界线，充分其应有的效力。模式二――卫星收视点中，计算机操作系统是WindowsXP。接收到的资源容量每学期可达100G之多，而教师的教学进度参差不齐，服务器容量不大。多数学校是先把卫星接收机中的D盘共享，然后在网络教室中通过网上邻居找到卫星接收机的共享D盘中的资源主页，查看相关主题资源，这种做法在规模较小的学校比较方便、安全，但学校计算机数量超过30台的校园网络中同时访问，使得访问速度明显降低，可能出现栓塞现象，影响正常工作。可利用Windows2000自带的Internet信息服务管理工具建立Web站点，在学校校园中建立相应的主页链接，这样可以保证教师及时准确的访问资源，达到一个资源高度共享。教师在模式三――计算机网络教室上基于网络环境下的课堂教学中，向学生讲授新知识时，只能通过屏幕广播方式讲授，这样不易集中学生注意力。教师不易观察学生的行为变化，可以考虑将模式二中的大屏幕电视移至网络教室与教师机相连，起到投影屏幕的作用，便于教师统览整个课堂教学，集中学生注意力。三、探索基于网络环境下的新的教学模式，发挥网络教室的作用基于网络环境下的教学模式，逐步成为了一种全新的教学模式，是集教师的课程内容、反馈练习、知识拓展等知识为一体的学生导学系统。教师应在实践中逐步探索这一教学模式，它可以在短时间内传递大量信息，同时，可以进行多种交互性操作，可以跨跃时间界线，将逝去的历史重现，把远方的情景移近，使未来呈现。同时，可达到教师的异步教学的效果，使学生可以根据自己的需要进行选择性学习。结合我校教师实际，如何实现这一目标？首先，计算机网络教室要与远教资源和互联网相连接，营造一个更大的网络环境。其次，加强本校教师网站制作技术的培训，逐步指导教师制作自己的网站。第三，充分发挥网络教室中速龙软件功能，搞好学生的练习和竞赛活动。农村现代远程教育不是“电大”，每所中小学也产是“电大”分校，决不是设备一开，让学生听大课去。远教条件下的教和学，教师不是省事了，而是要做的事更多、更细、更复杂、更艰难。我们将在实践中逐步探索远教工作的新思路、新方法，更好的为学校的教育教学服务。（河北省秦皇岛市抚宁县石门寨镇初级中学）1农村义务教育的基本属性与提供主体1.1农村义务教育是一种特殊的准公共产品根据公共产品的理论,我们把由政府提供,具有“非排他性”与“非竞争性”的产品称之为公共产品,与之相对应的通过市场渠道提供,具有“排他性”与“竞争性”的产品称为私人产品。但现实中还有介于两者之间的产品――混合产品:既可由政府来提供,也可由市场来供给;公共产品属性非常明显,私人产品属性虽存在但不明显的混合产品称之为准公共产品。国内外普遍认为义务教育是一种准公共产品,既可以由国家政府提供,也可以有市场来提供。我国义务教育集中在小学和初中,所需成本远远低于中等和高等教育,对基础教育的基础设施所进行的投资可视为沉淀成本,增加一个儿童的可变成本相对较低,因此义务教育(法定实施的一定年限的基础教育)就具有消费上的非竞争性;同时排除某些适龄儿童参与分享所付出的成本(尤其是机会成本)太大,连义务教育也会名不符实,所以义务教育又具有消费的非排他性。但是义务教育作为某一阶段的教育,除了具有前者的纯粹公共产品属性,同时也具有很强的私人产品属性。因为义务教育,总是由一定的教育机构来实施,它们不管是公立的还是私立的,都会因办学历史不同、地理区位不同、经营理念、能力和教师水平的差异而导致学校教学质量等多方面不同,好的学校出现拥挤,差的学校留待另类。故而一定时期的义务教育制度不可能避免义务教育的竞争和排他现象的出现,也就是说我们可以将义务教育视为准公共产品。农村义务教育不仅是一种准公共产品,而且是一种特殊的公共产品。其特殊性在于消费者经常低估义务教育较高的实际效益,义务教育被当作是一种效用并不显著的可有可无的消费品。农村义务教育的效用评价低于实际效用时,农村义务教育的需求将降低,市场提供将更低于实际需求,低于资源配置的最佳水平。显然这种资源配置方式是无效率的,如农村小学、中学的入学率相对于城市显得较低,而辍学、文盲的比例则相对较高。另外农村义务教育具有整体收益与局部收益的双重外部性,农村义务教育使当地农村居民获益的同时,也会给全社会带来巨大的收益因此,政府有必要对农村义务教育进行干预。1.2农村义务教育的政府主体提供市场价格不能反映公共产品的外部收益与外部成本,在消费存在正外部性时,人们往往隐藏自己对产品的真实偏好,出现“搭便车”的现象,这一点在义务教育上也有所体现。消费者在消费农村义务教育这种公共产品时,无法通过交易的方式把外溢效应内在化,或者组织这种交换(市场)的交易成本太高,导致农村义务教育提供者从其经济行为中产生的私人成本与社会成本、私人收益与社会收益无法对应相等,从而导致义务教育供给不足,达不到完全竞争市场所产生的帕累托效率状态,存在市场失灵。所以农村义务教育的公共产品属性要求义务教育的提供不能完全依靠市场来解决。根据政府与市场的关系,政府的职能是解决那些“市场不能解决或解决不好”的。农村义务教育,必须以政府为主体、市场相结合的办法来提供。虽然由于市场失灵,义务教育不可完全通过市场向社会提供,但也不能认为完全通过政府提供是最好的,政府失灵同样存在。我们既要相信政府在义务教育投入上的责任和作用,也不能忽视政府提供中存在的问题,在传统的政府投入体制下引入竞争机制,打破公共产品生产和供给的垄断格局,在政府和市场之间寻找二者的相互补充。2我国农村义务教育财政支出状况分析2.1义务教育财政支出总量不足近年来,财政性教育经费占GDP的比例虽然连续几年增长,2004年为2.79%,2005年为2.82%,2006年虽接近3%了,但离发展中国家上世纪九十年代末“4%”的目标仍相距甚远。我国义务教育经费总投入和各级政府义务教育经费投入以较快速度增长,但与巨大的农村义务教育经费需求相比,投入供给总量仍然严重不足。具体表现为如下方面:农村学校办学条件差、拖欠教师工资,农村办学的基本条件难以保障等。农村义务教育经费来源变得越来越窄,仅剩上级转移支付、财政拨款、学杂费这三条资金来源渠道。如果其中一条渠道的资金不到位,农村义务教育的正常运转将受到严重影响。当今,我国实行“分级管理,以县为主”的教育财政体制,可是,现在许多县级政府仅仅维持“吃饭财政”的水平,只好陷入“巧妇难为无米之炊”的困境。如果上级政府不能加大拨款力度,那么农村义务教育办学基本条件难以保障。2.2义务教育财政支出结构失衡――教育财政纵向失衡就农村义务教育而言,我国教育财政纵向失衡严重,有能力承担的省级及以上政府没有应尽其责任,而无能为力的县级及以下政府心有余而力不足。从教育支出的绝对数来看,不管是中央财政,还是地方财政支出都逐年增加。地方的增长速度比中央的增长速度慢,却承担了全国教育经费的绝大部分。分税制改革以来,税基宽泛、具有流动性和分配效应的税种归中央政府,其他小税种归地方,因此地方政府的财政收入大大少于中央政府。但是在事权分配上,地方政府成为公共品的主要提供者。税费改革前,财力脆弱的乡村负担了义务教育总投入的绝大部分,乡村财政不堪重负,最后结果只好转嫁到农民身上,乡村债务高筑,财政风险加大。税费改革后,农村义务教育的重担只是从乡镇政府转移到县级政府,省级和中央政府丝毫没有改变。在我国分级办学之下,义务教育存在明显的纵向失衡,义务教育阶段的投资责任,大部分给了财政薄弱的底层地方政府。在上级政府转移支付不足的情况下,为了满足需求,县乡政府还是将负担转交给了更为弱势的农民,从而导致人民教育农民办。2.3义务教育财政支出结构失衡――教育财政横向失衡我国农村义务教育地区投入差异大,“以县为主”的体制并不能从根本上消除地区之间农村义务教育财政投入的差距。我国地区经济发展形成东、中、西梯度式的不平衡状态,地区之间的教育投入水平也随之相差悬殊,尤其是东部和西部的差距更加明显,如广东、江苏属于我国经济发达地区,财力较为雄厚,教育经费投入相对较多;而贵州位于我国的西部,属于经济落后地区,受经济制约其教育经费投入很少。2001年东部农村小学生均预算内教育经费比中部高48.73%,比西部高16.18%,2005年东部比中部高44.68%,比西部高39.11%。3农村义务教育支出的政策建议在现代经济下,必须重视和强化教育投入,缓解农村义务教育经费紧张的具体措施主要包括:进行教育财政支出体制改革,明确各级政府在农村义务教育上的责任;建立科学的农村义务教育财政转移支付制度,最后着力推进县级地方公共财政建设,促进农村义务教育健康发展。3.1改革农村义务教育财政支出体制农村义务教育属于公共产品,中央政府必须代表整个社会利益,通过财政分配手段,减少区域差异,提供大致均等化的教育产品与服务。在坚持适度义务教育财政分权这一改革大前提下:(1)明确县是义务教育事权与支出责任主体,我国绝大多数省均推行了“省直管县、乡镇财政县管”的财政体制改革,这样地市和乡镇财政职能进一步弱化,已经不适合再承担义务教育支出和筹资责任。要转移义务教育投入负担主体,将投入主体的重心上移,加快中央和高一级地方政府的投入速度.(2)明确划分中央和省的义务教育财政补助责任,按照财政职能在政府间划分的一般原则,划分各级政府的财权事权。中西部省份义务教育基建支出可以采用中央、省和县三级分担的形式,等办学条件明显改善后中央逐步退出。(3)中央和省份应进一步加大对部分贫困县的一般性转移支付力度,至少确保这些县有财政能力满足包括义务教育在内的公共服务最基本的财政支出需求。(4)通过增加地方财政预算决策的透明度,建立“以提供良好地方公共服务”为核心的政绩考核指标体系,促使地方政府转变财政职能,调整支出结构,进而确保地方财政支出的重点不偏离辖区居民最基本的公共需求。3.2推进县级地方公共财政建设县级是农村义务教育投入的重要力量,今后为了有效发挥县级支持农村义务教育的作用,需要着力推进县级地方公共财政建设,为强化农村义务教育投入创造条件。首先加快乡镇财政体制创新,通过乡镇财政体制创新,可以达到乡级资金向县级集中,而事权有可能下移的双赢境况。其次稳定县级财政