扫描电镜国产化加快的核心电镜品种

国内扫描电镜升迭代，贴息政策下国产有望加速扫描电镜—表面科学仪器，主要应用于微区形貌分析扫描电镜是一种用高辨率微区形貌分析大精密仪器它可以利聚焦很窄的高能电子来描样品来观察物质观貌表征体子射出的电子束经过聚焦后汇聚成点光源；点光源在加速电压下形成高能电子束高能子经两电透镜聚成径小光点在过后级扫描线的磁镜子束光状描方逐点击样表发出同度电信此子号被品上不信接器器接过电增步传到脑示实时像录进分综合而言，扫描电镜具有景深大、分辨率高,成像直观、立体感强、放大倍数范围宽及测品在维空内行转倾等特前被泛于生命理法地科学以工生等域微观研究。图表1：扫描电镜原理图（以次级电子作为电子信号举例）资料来源：Antpeia，中邮证券研究所图表2：氮化硅扫描电镜成像图（半导体领域） 图表3：癌细胞扫描电镜成像图（生命科学领域）资料来源：中科科仪官网，中邮证券研究所 资料来源：中科科仪官网，中邮证券研究所扫描电镜按照电子枪种类可分为钨灯丝/六硼化镧灯丝/热场发射/冷场发扫描电镜子的特亮子散布常的子钨灯热射硼镧热射场冷场射发电镜分率亮等能指通要于发扫描镜但用件更为严、格为贵。图表4：扫描电镜分类（按电子枪种类划分）资料来源：Antpeia，聚束科技，中邮证券研究所图表5：四类电子枪性能和参数对比亮度交叉斑工作温度逸出功电流密度电子枪分辨率使用寿命小时)(/cm2s(μm)((eV)（/cm）钨灯丝1E520-402650-7504.4-4.53nm1.3100左右六硼化镧灯丝1E67-151750-8502.0-2.92.5nm25>500热场电子枪1E8-1E90.01-0023004.1<1nm50K10000冷场电子枪5E80.02-0041750-8002.5-2.91nm500>1000资料来源：中科科仪官网，中邮证券研究所扫描电镜的核心性指为分辨率成而是指分两之最小离对区分析而是能析最小域扫电的辨率通过定像两颗（或域的小来确的在知大数的条件把图上的最间除放倍所得值为辨据分辨率的不同场发射扫电镜可以分为极高（XHR超高分（UHR辨（HR、入门级（EL）四个级别。图表6：扫描电镜分类（按分辨率划分）资料来源：钢研纳克公众号，中邮证券研究所注：六硼化镧灯丝扫描电镜未在此图中展示产业链下游方面，我国的扫描电镜主要应用于主要用于纺织、化工、印染仪器料学科等多材工域最应用市场2020年场达40.其为物医学域2020年场比为33.5。图表7：2020年中国扫描电镜下游消费结构33%22224%408%335%材料、化工 生物、医药 教学及研究 其他资料来源：华经产业研究院，中邮证券研究所我国扫描电镜市场规模约19亿，进口依赖度高2020年我国电子显微镜场规模约为26.13亿元据SDI统215-020年全电显镜场模分为108226/24/2545268/297万元，复合长达.7。以中表科仪市规模比为子微规模占比进行估算，则可知015200年中国电子显微镜市场规模分别为230/25/20/33/38/30百万元复增达10若以222/2/1日美元兑民汇换，20年国子微市规模为6.13亿。图表8：全球电子显微镜市场规模呈稳健增长 图表9：我国电子显微镜市场规模呈稳健增长20020010010050

6%4%2%0%215216217218219220

3300300 14300 8%3211500

215216217218219220

1118%6%4%2%0%全球电子显微镜市场规模（百万美元，左轴同比增速（%，右轴）资料来源：SDI，中邮证券研究所

中国电子显微镜市场规模（百万美元，左轴同比增速（%，右轴）资料来源：SDI，中邮证券研究所注：中国电镜市场规模计算方式为：全球电镜市场规模中国表面科学仪器市场规模/全球表面科学仪器市场规2020年我国扫描电镜市规模约为19.34亿元。球电显镜见透射电子显微镜、扫描电子显微镜、反射电子显微镜三类，根据智研咨询整理2021扫电显镜其中大种，比达74右假定220年电子微占与021相同则简测得到020中扫电市模为1934元。26%74%图表10：扫描电镜是电子显微镜中最大的种类，占比达74左右26%74%扫描电子显微镜 其他资料来源：智研咨询，中邮证券研究所扫描电镜进口依赖高海外厂商市场份额超90体份方化器对201H2的内描电中情进了完全计从量看仪器国仪器其的标数分为9/33占比为92/44额来口描镜中标为1975.8万国扫电的标866.5万占亦为92与4要意是然两占相并意着国扫电与口描电的价仿造该现的因要国聚束以75.5元高价标1台描再叠低量数影才造成产量比国金额比近结。4%4%图表11：2021H2国产扫描电镜与进口扫描电镜中标数占比（不完全4%4%

图表12：2021H2国产扫描电镜与进口扫描电镜中标金占比（不完全统计）92%进口数量占比 国产数量占比 其他数量占比

92%4%4%进口金额占比 国产金额占比 其他金额占比4%4%资料来源：化工仪器网，中邮证券研究所注：其他属于品牌或金额不具代表性的类

资料来源：化工仪器网，中邮证券研究所注：其他属于品牌或金额不具代表性的类事实上国内厂商所占额应比化工仪器网进的不完全统计高一些科科作国扫电引领于1975年功制我第台描镜年成研我第台发射扫电中科仪众披司于021年11月月售发扫描镜钨丝描数就到2订单未化仪统计入。图表13：中科科仪2021M11单月销售扫描电镜数量达12台资料来源：中科科仪公众号，中邮证券研究所赛默飞、日立、蔡司为最受欢迎的三个品牌。经工仪器网的不完统计数量面赛飞以19的销数位第，次是立共中标16第三蔡，计标2套金方默仍是一可计的金为845.7万约占39二蔡金为513.3万约占4第三日，4228，占20。图表14：2021H2主要品牌扫描电镜中标数量（台） 图表15：2021H2主要品牌扫描电镜中标金额占比（）4%3192531925161213%39%20%24%赛默飞 日立 蔡司 其他海外品牌 国内品牌 赛默飞 日立 蔡司 其他海外品牌 国内品牌资料来源：化工仪器网，中邮证券研究所 资料来源：化工仪器网，中邮证券研究所国内厂商研发持续发力，产品升级迭代实现跨越发展⑴钢研纳克——场射描电镜钢研克公纳微于11月后产分辨HR场射旗机—FE-50列极分（H场发扫电显镜-2050款品计便各所重FE-050重于合析征力而FE-200多重极的高辨像力。图表16：钢研纳克先后发布FE-1050系列、FE-2050X产品资料来源：钢研纳克公众号，中邮证券研究所FE-1050系列与FE-2050X的推出，代表着我扫电镜技术与国际先术的差距大幅减小。FE-100列为内一台备搭聚离FB力多束电平经得个国顶高研所单先我的描平代低高辨（nm@1k）段。FE-200X作国首主研的高（HR发射描子微将具备全电压段亚纳米（≤1.0m）的极致分辨能力，媲美进口扫描电镜顶品它问将我在扫电技分设计国先术的技术距此的5幅缩到到5年实跨式质发。图表17：FE-1050系列与FE-2050X的产品定位资料来源：钢研纳克公众号，中邮证券研究所以FE-1050系列为例性能参数并不逊色至于同级别国际产18举了E-150C与立蔡日电的款同别品性参从表中以出在能标上FE-050C与级产品本平在分指标上至于级产在析力关数如本间小存储能力智化析面E-105C具优图表18：性能参数方面，FE-1050系列并不逊色甚至优于同级别国际产品指标参数日立500卡尔蔡司ima300日本电子JS-I800L纳克微束F1050C发射类型choty场发射choty场发射choty场发射choty场发射1kV2.0nm1.6nm1.3nm1.5nm分辨能力15kV-1.0nm0.7nm1.0nm加速电压30kV1.2nm500~0kV1.0nm20~3kV-10~3kV0.8nm(STE)20~3kV束斑电流200nAx3p~2nA300nAx5p~3nA放大倍率18x1,00,00x10x1,00,00x10x2,00,00x10x1,00,00x运动平台5轴自动5轴自动5轴自动5轴自动XY行程100x50m125x125m70x50m140x140m图像存储最大)5,12x384032kx2k5,12x384024kx2k真空系统2xIP-1TP1xIP-1TP2xIP-1TP2xIP-1TP资料来源：钢研纳克产品发布会，中邮证券研究所FE-1050系列和FE-2050X还拥有KCU平台概念开架构，支持多种应环境，存在未来继续级可能。同台设开的FE-050系（同层和F-200系（电层两设具非好块通性后升潜行业内首先提出的关键可通用化模组（KU）概念使得新的第三方附件模块成变得常松进入小级开发潜以E-150系列例其备有27口，于期块级应用展。图表19：FE-1050系列和FE-2050X拥有KCU平台概念开发架构，支持多种应用环境资料来源：钢研纳克公众号，中邮证券研究所⑵国仪量子——钨丝描电镜国仪量子于11月下旬推了世界上首台分辨达到2.5纳米的钨灯扫描电镜——SEM3300。灯扫描电镜具有性价比高易于维护、操作相对简以及对地求小特便大使用但以来钨丝描镜分辨率都滞前难实用户更分率追国量电显镜团队针这技瓶开了科攻过析制钨丝描镜辨主要因创在筒增加根阳直物极的10V压管高技术)的解决方案，并实现了在所有电压段的分辨率均大幅度超越普通钨灯丝电镜EM300在20kV率到2.n普丝电提了6了目前界分率高钨灯扫电时EM330任电下出优的辨—在V分率到nm相通钨丝镜了2倍；在1kV分率到nm相比通灯电提了3此足多分析试求。同时，国仪量子还推出了钨灯丝扫描电镜SEM200和场发射扫描电SEM4000。钨丝描镜SEM200是款作挑人简不单产人人敢人都为目打场射电镜EM400一针析型户求全产具有子流分速快的大过00的电束，束大连续调有于择合适成和谱件。图表20：SEM3300是世界上首台分辨率达到2.5纳米的钨灯丝扫描电镜资料来源：国仪量子产品推介会，中邮证券研究所贴息政策刺激扫描电镜需求，国产有望加速科学仪器属于典型“脖子行政策支度有望持续加高端器自主可控大势所趋有望加快推进学仪是家略心技量一国科创能力综国的现作为技新必基要成学器国化与主已成我科行展的动是业来的然向因此央政高重国科仪器发展先出多政支产学器。图表21：近年科学仪器相关政策梳理（部分）发布法律法规及政策时间“十三五”国家战略

发布单位 相关主要内容加强先进适用环保装备在冶金、化工、建材、食品等重点领域性新兴产业发展划》《仪器仪表行业“三五”发展规划》《高端智能再制行动计划（0-0年《加强“从0到”

6 国务院6 中国仪器仪行业协会7 工信部科技部、国

应用，加速发展体外诊断仪器、设备、试剂等新产品。以国家重点产业安全、自主、可控为契机，推进重点产品核技术自主化进程，力争基本形成国家大型工程项目、重点应领域自控系统和精密测试仪器的基本保障能力和重大科技项所需自控系统和精密测试仪器的基础支撑能力。提出了要加强智能再制造关键技术创新与产业化应用、推动能化再制造装备研发与产业化应用、加快智能再制造标准研等八大任务。加强重大科技基础设施和高端通用科学仪器的设计研发，聚焦础研究工作方案》

发改委等

高端通用和专业重大科学仪器设备研发工程化和产业化研究推动高端科学仪器设备产业快速发展。“十四五”规划 1 全国人大 明确提出要“加强高端科研仪器设备研发制造”。《仪器仪表行业“四五”规划建议》

1 中国仪器仪行业协会

加强高端仪器仪表的发展步伐，优先推进部分行业有一定技储备和产业化基础、市场有一定需求规模的高端产品的发展，集中力量解决部分国家急需解决的高端仪器仪表卡脖子和自主可控的问题，部分弥补行业在高端产品的明显短板。资料来源：相关政府网站，中邮证券研究所贴息政策有望带动描镜需求，加速国产奏。202年9月国决定部分领域备新造款段性政息加社服务信支政面高业、医院九领的备置和新规估为.7月财部等部下发关加部领设备新造款政息工的知对02212/31前10领设更改款息2.5个分限2度200亿望中短期内激描镜求加速奏。图表22：贴息政策下，高校招标场发射扫描电镜节奏加快时间高校招标项目预算金额（万元）202212/2武夷学院场发射扫描电镜5502022//30北京理工大学聚焦电子束离子束双束扫描电镜13002022//29清华大学冷场发射（生物）扫描电镜系统4502022//29清华大学配有能谱和EBSD功能的扫描电镜原位力学测试系统3602022//28上海交通大学原子力扫描电镜联用仪5502022//28上海交通大学冷冻双束扫描电镜7402022//28哈尔滨工业大学扫描电镜联用系统（航天尖兵）17022022//27复旦大学场发射扫描电镜5002022//26天津大学超高分辨冷场发射扫描电镜3802022//25上海交通大学原位微纳热力分析型聚焦离子束/电子束扫描电镜8252022//25华南理工大学热场发射扫描电子显微镜6002022//25中国地质大学冷冻扫描电镜4802022//25华南理工大学聚焦离子束场发射扫描电子显微镜8802022//25北京航空航天大学普通场发射扫描电镜、钨灯丝扫描电镜3002022//25华南理工大学双束聚焦离子束场发射扫描电镜5502022//25中山大学场发射扫描电镜2002022//25中山大学扫描电镜+阴极荧光联用系统7762022//25中山大