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原子探针层析的应用材料研究方法

样品要求：1）试样尖端的曲率半径介于50~150nm。2）尖端接近半球形，球表面应当光滑，无凸起、凹槽、裂纹和污染。3）试样截面为圆形。4）适当的锥角。5）感兴趣特征应在试样顶点约100nm以内，以确保包含在所获得的数据集内。常用方法：电化学抛光聚焦离子束原子探针样品制备典型微抛光试样装置的示意图一个含有晶界的样品的FIB“挖取”过程课程内容一析出相界面位错团簇二三四一、析出相Al-3.5Cu-0.4Mg-0.2Ge合金200oC时效9h后Mg、Ge、Cu的三维分布Al-3.5Cu-0.4Mg-0.2Ge合金固溶状态下Mg、Ge、Cu的三维分布θ一、析出相Al-3.5Cu-0.4Mg-0.2Ge合金200oC时效9h、36h和144h后析出相的三维分布θ'IIθ'针状Mg-Ge相θ'针状Mg-Ge相θ'θ'θ'II针状Mg-Ge相θ'θ'II二、界面镍基单晶高温合金中γ′相分布镍基单晶高温合金中γ/γ′相界面合金元素分布二、界面Fe-4.40C-0.30Mn-0.39Si-0.21Cr(at.%)纳米晶钢的原子探针针尖TEM照片、晶粒取向分布情况和C元素三维分布Σ3晶界处C元素的富集明显减少三、位错Fe-9at%Mn合金中的Mn元素的偏聚情况四、团簇沸石（zeolite）中的Al元素团簇分布情况：（a）Al等浓度面2at%；（b）仅显示出团簇内的Al原子；（c）元素

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