电子特气基础知识课件

电子特气基础知识

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第一章：电子特种气体基础知识1.电子特种气体分类：可燃气体SiH4;CH4;

PH3;B2H6;AsH3;GeH4;H2;CH2F2;SiH2Cl2;SiHCl3…….

氧化性气体O2;NF3;N2O;Cl2;ClF3;NO……腐蚀性气体HCl;HBr;BCl3;BF3;SiCl4;NH3;WF6;Cl2;SiHCl3;SiH2Cl2……惰性气体N2;He;Ar;Kr;Xe;CF4;C2F6;C3F8;CHF3……2.电子特种气体的危害一般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛装或运输，每种气体都有一种或两种以上的危害性．

3Chapter1:ESGBasicKnowledge特种气体的主要危险和危害性如下:压力毒性腐蚀性自燃性燃烧性氧化性窒息性深冷性5Chapter1:ESGBasicKnowledge特种气体毒性比较表6Chapter1:ESGBasicKnowledge中毒方式呼吸皮肤吸收消化系统控制中毒的方法控制库存充分通风正常通风（开放式，自然通风）Emergency（风机或排风扇强制通风）监测系统环境监测器医疗检测个人防护用具废物处理7Chapter1:ESGBasicKnowledge腐蚀性气体对人体组织器官的破坏：皮肤眼睛呼吸道组织器官腐蚀性气体中毒的途径：呼吸皮肤接触消化系统分类：酸性:HCl;HBr;Cl2;BF3;BCl3;SO2碱性:NH38Chapter1:ESGBasicKnowledge自燃气体：定义:

同环境空气接触能自行点火并燃烧的物质．自燃物质的自燃点通常低于环境温度．例如:Disilane乙硅烷:低于54°C(130°F)

Silane硅烷:极低Phosphine磷化氢:100°C(212°F)Diborane乙硼烷：

40to50°C(104-122°F)控制方法:同燃烧气体,另外还有：可能情况下用惰性气体稀释控制库存采取流量控制并采用充分的通风系统设计防止回流10Chapter1:ESGBasicKnowledge可燃气体的燃烧范围12Chapter1:ESGBasicKnowledge窒息性气体：普通窒息性气体(惰性气体)定义:

毒性很低或根本无毒，但能取代空气，导致氧气缺乏的气体，也称做惰性气体或不燃气体当氧含量少于１２％时，会导致快速失去知觉甚至死亡.在正常大气压力下,氧气浓度不应低于19.5%

例如:NitrogenN2ArgonArHeliumHeSulfurHexafluoride,etc.SF614Chapter1:ESGBasicKnowledge氧气含量不足6%:

立即失去知觉在所有事例中:受害人从未意识到存在风险假如大气氧气含量只有10~18%:受害者只感到一般的不舒服并没有感觉到缺氧直到开始窒息但是15Chapter1:ESGBasicKnowledge化学窒息性气体：定义:

１．能够阻止血液携带氧气；或

２．能够阻碍氧气从肺部运输到组织器官，或

３．能够阻止组织器官吸收氧气，尽管血液中含氧丰富．例如:CarbonMonoxideCOHydrogenSulfideH2SHydrogencyanideHCN深冷气体：定义:

是指在大气压力下沸点低于2380F(-1500C)的液化气体例如:Argon:ArHelium:HeCarbonMonoxide:COCarbonDioxide:CO2Hydrogen:H2Nitrogen:N2Oxygen:O216Chapter1:ESGBasicKnowledge危害性：能快速冻结人体组织器官造成伤害.能使许多物质例如：碳钢，塑料和橡胶脆化，甚至由于张力增大而破裂．.蒸发产生大量气体，压力增加造成密闭容器的破裂，甚至爆炸．控制方法：液化气体压力容器通常用多个压力泄放装置进行保护，一般以压力泄放阀为主要保护，爆破片为第二保护．密闭空间要进行充分通风，特别对于液氧和液氢．17Chapter1:ESGBasicKnowledge腐蚀性液体：性质类似于腐蚀性气体，除了蒸汽压力低于15psig的液体．例如:DichlorosilaneSiH2Cl2;DCSTrichlorosilaneSiHCl3SiliconTetrachlorideSiCl4注:1.SiH2Cl2和SiHCl3遇空气水解产生盐酸，二氧化硅，和氢气;2.在大多数情况下，腐蚀性液体储存在容器内而不是钢瓶内，有单独的液相和气相阀门．为防止容器污染，通常用氮气保压15-30psig

18Chapter1:ESGBasicKnowledge混合气体：定义:

指多种气体成分混合在一起，浓度从ＰＰＭ到百分比不等，混合气体通常用相互不反应的气体成分混合而成．控制方法:考虑到安全及气体稳定性，如下配比尽量避免:Fuel-OxidizerCO+O2或N2O+SiH4Acid-BaseHCl+NH3注:化学危害性要考虑到每一种成分的危害性;毒性以每种成分的毒性值所占比例进行计算.可燃性计算要基于每种气体组分的浓度及其可燃性数值氧化剂指氧浓度>23.5%20Chapter2:硅烷Silane紧急措施：泄漏：燃烧，火焰强度差距极大(因泄露量而异）；用水雾冷却钢瓶，而不要用水灭火；尽力切断气源；急救：如果吸入了硅烷，将患者转移到有新鲜空气处。如呼吸停止，进行人工呼吸。如果呼吸困难或微弱，输氧；叫医生，还有必要为医生提供硅烷的MSDS。21Chapter2:硅烷Silane紧急情况防护用具：对于任何要求除去钢瓶保护帽、更换钢瓶或暴露于正在运转的硅烷系统的操作，推荐的应该使用的最少PPE是：

面罩和安全眼镜；皮手套或等效的防火手部保护装置；安全鞋；一些紧急形势，可能要求可以进入或接近火焰的服装。23Chapter2:硅烷Silane培训：产品知识：

要求彻底了解产品和它的危险。这些包括这种产品的物理性质、毒物学和其它与众不同的特征；部件知识：

要求掌握操作钢瓶的正确程序和钢瓶阀门的正确操作程序。还要对人员进行阀门接头的正确检查、维护和使用的培训。

气体操作设备：

人员必须具有所有气体操作设备和系统的应用知识；个人防护装备（PPE）：

人员必须经过常规和紧急操作所要求的PPE的培训。

个人防护装备（PPE）：人员必须经过常规和紧急操作所要求的PPE的培训。详见ＭＳＤＳ24Chapter3:三氟化氮ＮＦ３ＮＦ３特性：强氧化性，有毒．三氟化氮是一种有毒、不可燃的压缩气体。它存储于钢瓶中，压力小于1500psig。它还是一种氧化剂，会引起或促进金属和非金属物质的燃烧，特别是温度超过400oF(200oC)时。它没有气味，但其中所含的杂质使它闻起来有发霉的气味。当进入浓度超过暴露极限的泄露区时需配备自给式呼吸器(SCBA)。燃烧产物有毒。ＴＬＶ：１０ＰＰＭＬＣ５０：６７００ＰＰＭ详见ＭＳＤＳ26Chapter５:三甲基硼Ｂ（ＣＨ３）３三甲基硼Ｂ（ＣＨ３）３：自燃气体，有毒．三甲基硼混合物是一种无色、令人窒息的难闻气体。这种气体混合物的急性健康危害在于它们是有毒气体。同时它们可燃、可以引起火花（在空气中自动点火）。但气体泄露后与空气形成一定的混合物后反而不会自动点火，但这种混合物则易燃易爆。这种混合物可与水、氧化剂和卤素发生剧烈反应。三甲基硼和水反应生成甲烷。燃烧极限：B(CH3)3：(LEL)-0.5%；(UEL)-未知（H2的燃烧范围为4~75%）暴露极限：7ppmTWA详见ＭＳＤＳ27Chapter６：甲烷和氢气ＣＨ４＆Ｈ２甲烷：易燃气体燃烧极限：5~15%大量吸入可造成人窒息详见ＭＳＤＳ氢气：易燃气体燃烧范围：4~75%28Chapter７:事故简介时间：2005年11月23日上午11：30地点：