激光干涉仪在线性测长上的应用课件

激光干涉仪在线性测长上的使用加工中心项目部梁昌龙2011.12.24激光干涉仪在线性测长上的使用1检测步骤1.安装激光干涉仪2对光÷3.生成检测程式4.开始检测反向间隙5.数据分析6.补正反向间隙7开始检测丝杆螺距误差÷8数据分析9.补正丝杆螺距误差10.验证补正的效果检测步骤21.硬件组成及连接线性干渺镜出性反射镜光宇镜安装组件移动方向C补信单元被光头空气湿度传感器1.硬件组成及连接31.2三脚架支小型三脚架1.2三脚架41.2.1云台调整架高度调整名研水平平移调整角度偏转偏转调整ma*。令角度俯仰调整1.2.1云台调整架51.3.1线性测量镜组线性辰射汁光贸÷分光镜两个线性反射镜÷两个光靶以助于光光交学准直图1一线性测量镜组1.3.1线性测量镜组61.32镜组安装组件运配器图1一组安装组件1.32镜组安装组件71.4环境补偿单元空气压力可度Accuracy:±1.0mbarAccuracy:土6%村料温度气温度OAccuracy:t02C1.4环境补偿单元81.4.1空气温度及材料传感器1.4.1空气温度及材料传感器91.42XC补偿单元端面状态LED指灯校灌日无神CALIBRATION●垂斬板准日期1.42XC补偿单元端面10激光干涉仪在线性测长上的应用课件11激光干涉仪在线性测长上的应用课件12激光干涉仪在线性测长上的应用课件13激光干涉仪在线性测长上的应用课件14激光干涉仪在线性测长上的应用课件15激光干涉仪在线性测长上的应用课件16激光干涉仪在线性测长上的应用课件17激光干涉仪在线性测长上的应用课件18激光干涉仪在线性测长上的应用课件19激光干涉仪在线性测长上的应用课件20激光干涉仪在线性测长上的应用课件21激光干涉仪在线性测长上的应用课件22激光干涉仪在线性测长上的应用课件23激光干涉仪在线性测长上的应用课件24激光干涉仪在线性测长上的应用课件25激光干涉仪在线性测长上的应用课件26激光干涉仪在线性测长上的应用课件27激光干涉仪在线性测长上的应用课件28激光干涉仪在线性测长上的应用课件29激光干涉仪在线性测长上的应用课件30激光干涉仪在线性测长上的应用课件31激光干涉仪在线性测长上的应用课件32激光干涉仪在线性测长上的应用课件33激光干涉仪在线性测长上的应用课件34激光干涉仪在线性测长上的应用课件35激光干涉仪在线性测长上的应用课件36激光干涉仪在线性测长上的应用课件37激光干涉仪在线性测长上的应用课件38激光干涉仪在线性测长上的应用课件39激光干涉仪在线性测长上的应用课件40激光干涉仪在线性测长上的应用课件41激光干涉仪在线性测长上的应用课件42激光干涉仪在线性测长上的应用课件43激光干涉仪在线性测长上的应用课件44激光干涉仪在线性测长上的应用课件45激光干涉仪在线性测长上的应用课件46激光干涉仪在线性测长上的应用课件47激光干涉仪在线性测长上的应用课件48激光干涉仪在线性测长上的应用课件49激光干涉仪在线性测长上的应用课件50激光干涉仪在线性测长上的应用课件51激光干涉仪在线性测长上的应用课件52激光干涉仪在线性测长上的应用课件53激光干涉仪在线性测长上的应用课件54激光干涉仪在线性测长上的应用课件55激光干涉仪在线性测长上的应用课件56激光干涉仪在线性测长上的应用课件57激光干涉仪在线性测长上的应用课件58激光干涉仪在线性测长上的应用课件59激光干涉仪在线性测长上的应用课件60激光干涉仪在线性测长上的应用课件61激光干涉仪在线性测长上的应用课件62激光干涉仪在线性测长上的应用课件63激光干涉仪在线性测长上的应用课件64激光干涉仪在线性测长上的应用课件65激光干涉仪在线性测长上的应用课件66激光干涉仪在线性测长上的应用课件67激光干涉仪在线性测长上的应用课件68激光干涉仪在线性测长上的使用加工中心项目部梁昌龙2011.12.24激光干涉仪在线性测长上的使用69检测步骤1.安装激光干涉仪2对光÷3.生成检测程式4.开始检测反向间隙5.数据分析6.补正反向间隙7开始检测丝杆螺距误差÷8数据分析9.补正丝杆螺距误差10.验证补正的效果检测步骤701.硬件组成及连接线性干渺镜出性反射镜光宇镜安装组件移动方向C补信单元被光头空气湿度传感器1.硬件组成及连接711.2三脚架支小型三脚架1.2三脚架721.2.1云台调整架高度调整名研水平平移调整角度偏转偏转调整ma*。令角度俯仰调整1.2.1云台调整架731.3.1线性测量镜组线性辰射汁光贸÷分光镜两个线性反射镜÷两个光靶以助于光光交学准直图1一线性测量镜组1.3.1线性测量镜组741.32镜组安装组件运配器图1一组安装组件1.32镜组安装组件751.4环境补偿单元空气压力可度Accuracy:±1.0mbarAccuracy:土6%村料温度气温度OAccuracy:t02C1.4环境补偿单元761.4.1空气温度及材料传感器1.4.1空气温度及材料传感器771.42XC补偿单元端面状态LED指灯校灌日无神CALIBRATION●垂斬板准日期1.42XC补偿单元端面78激光干涉仪在线性测长上的应用课件79激光干涉仪在线性测长上的应用课件80激光干涉仪在线性测长上的应用课件81激光干涉仪在线性测长上的应用课件82激光干涉仪在线性测长上的应用课件83激光干涉仪在线性测长上的应用课件84激光干涉仪在线性测长上的应用课件85激光干涉仪在线性测长上的应用课件86激光干涉仪在线性测长上的应用课件87激光干涉仪在线性测长上的应用课件88激光干涉仪在线性测长上的应用课件89激光干涉仪在线性测长上的应用课件90激光干涉仪在线性测长上的应用课件91激光干涉仪在线性测长上的应用课件92激光干涉仪在线性测长上的应用课件93激光干涉仪在线性测长上的应用课件94激光干涉仪在线性测长上的应用课件95激光干涉仪在线性测长上的应用课件96激光干涉仪在线性测长上的应用课件97激光干涉仪在线性测长上的应用课件98激光干涉仪在线性测长上的应用课件99激光干涉仪在线性测长上的应用课件100激光干涉仪在线性测长上的应用课件101激光干涉仪在线性测长上的应用课件102激光干涉仪在线性测长上的应用课件103激光干涉仪在线性测长上的应用课件104激光干涉仪在线性测长上的应用课件105激光干涉仪在线性测长上的应用课件106激光干涉仪在线性测长上的应用课件107激光干涉仪在线性测长上的应用课件108激光干涉仪在线性测长上的应用课件109激光干涉仪在线性测长上的应用课件110激光干涉仪在线性测长上的应用课件111激光干涉仪在线性测长上的应用课件112激光干涉仪在线性测长上的应用课件113激光干涉仪在线性测长上的应用课件114激光干涉仪在线性测长上的应用课件115激光干涉仪在线性测长上的应用课件116激光干涉仪在线性测长上的应用课件117激光干涉仪在线性测长上的应用课件118激光干涉仪在线性测长上的应用课件119激光干涉仪在线性测长上的应用课件120激光干涉仪在线性测长上的应用课件121激光干涉仪在线性测长上的应用课件122激光干涉仪在线性测长上的应用课件123激光干涉仪在线性测长上的应用课件124激光干涉仪在线性测长上的应用课件125激光干涉仪在线性测长上的应用课件126激光干涉仪在线性测长上的应用课件127激光干涉仪在线性测长