特气系统报告课件

IVOConfidential特气系统设计1ppt课件IVOConfidential特气系统设计1ppt课件ALS2.0特气中央系统概述阀盘介绍管路设计气体侦测系统特气中央系统设计2ppt课件ALS2.0特气中央系统概述阀盘介绍管路设计气体侦特气中央1.1气体种类大宗气体特殊气体N2、H2O2、He

Ar、He

…3ppt课件1.1气体种类大宗气体特殊气体N2、H23ppt课件:相容；

:危险；:激烈反应；:爆炸1.2

气体相互反应表4ppt课件:相容；:危险；:激烈反应；:爆炸1.2气体相互1.3

气体供应方式

大宗气体桶槽钢瓶N2、O2H2、He特殊气体液态气态NH3CL2NF3SIH45ppt课件1.3气体供应方式桶槽钢瓶液态气态5ppt课件GR氣瓶櫃VMBVMPPOU1.4特气供应流程6ppt课件GR氣瓶櫃VMBVMPPOU1.4特气供应流程6ppt课件1.5a特气系统流程图7ppt课件1.5a特气系统流程图7ppt课件1.5b特气系统流程图8ppt课件1.5b特气系统流程图8ppt课件1.5c特气系统流程图9ppt课件1.5c特气系统流程图9ppt课件1.5d特气房间平面图10ppt课件1.5d特气房间平面图10ppt课件1.5c特气系统供应能力11ppt课件1.5c特气系统供应能力11ppt课件1.6气瓶安置方式12ppt课件1.6气瓶安置方式12ppt课件

▼气体依化学性质分类如下:

惰性气体(Intergas):

N2-----使用GR(GasRack)▼易燃易爆性气体(Flammablegas):SiH4,NH3-----使用BSGS(Bulkspecialgassupplysystem)供应

目前厂区钢瓶供应方式:GRBSGS1.6a气瓶柜/架13ppt课件GRBSGS1.6a气瓶柜/架13ppt课件1.7气瓶柜之操作功能Pre-Purge抽出管內特气更换钢瓶操作人员手动更换更评PostPurge更换钢瓶后清洁管路ProcessPurge清除N2、气体上线手动模式故障排除时，可人为操作阀件开关参数设定模式设定各种功能参数历史记录查询查看历史报警14ppt课件1.7气瓶柜之操作功能Pre-Purge抽出管內特气更换钢瓶ProcessVENT1%PH3/H2N2N2VGSLPIREGPGIREGPGBVHPAHPVLPVHPI吹扫区真空产生区供应区P1P4P3P21.7a气瓶柜之操作示意图15ppt课件ProcessVENT1%PH3/H2N2N2VGSLPIR2.1气瓶钢数的设计16ppt课件2.1气瓶钢数的设计16ppt课件2.1a三钢式气瓶柜17ppt课件2.1a三钢式气瓶柜17ppt课件2.1b

三钢式气瓶柜18ppt课件2.1b三钢式气瓶柜18ppt课件2.2低压气体供应设计重点19ppt课件2.2低压气体供应设计重点19ppt课件2.3空间设计依气体特性一般区分成三间：腐蚀性/毒性气体房易燃易爆气体房惰性气体房设计重点20ppt课件2.3空间设计依气体特性一般区分成三间：腐蚀性/毒性气体房易2.4电力系统设计需接UPS电源需接紧急发电电源独立之电源避免不正常之跳机包括气瓶柜、VMB、消防、洩漏侦测、LocalScrubber、排气…等相关设施；1.可处理停电时之紧急状况；2.可于停电时处理管路之残存特气之排放可避免受其他系统之影响21ppt课件2.4电力系统设计需接UPS电源需接紧急发电电源独立之电源避2.5气瓶柜功能设计22ppt课件2.5气瓶柜功能设计22ppt课件不相容气体不可设计在同一气瓶柜不相容气体的purge管路不可相连考虑使用压力与流量之需求CGA接头需与钢瓶接头同一型号盘面零件需考虑钢瓶高度依照气体特性选择适当零件如腐蚀性、高压/低压注意管路死角purge的问题考虑未來零件更换的方便性2.6

气瓶柜管路设计23ppt课件不相容气体不可设计在同一气瓶柜2.6气瓶柜管路设计23p2.6重要的管路组件气动(N2)控制阀（AirValve）手动控制阀

（ManualValve）逆止阀(CheckValve)调压阀(Regulator)压力传感器(PressureTransmitter)真空产生器(VacuumGenerator)气体过滤器(LineFilter)流量侦测器(FlowSensor)限流孔(Orofice)24ppt课件2.6重要的管路组件气动(N2)控制阀（AirValve）2.7气瓶柜安全防护设计抽气装置UV/IR火焰侦测器消防洒水头气体泄露侦测器钢瓶紧急关断阀(ValveShutter)过流量开关装置高压测试管路设计现场EMO、远端停机开关25ppt课件2.7气瓶柜安全防护设计抽气装置UV/IR火焰侦测器消防洒水排气管保温棉消防管EMOValveShutter加热线触控面板2.8气瓶柜附属配件26ppt课件排气管保温棉消防管EMOValveShutter加热线触控气瓶柜內可能漏气处(例如:钢瓶头、压力调整器、压力控制器…等)提供至少0.51m/sec风速2.9气瓶柜排气量设计排气量会影响防爆半径27ppt课件气瓶柜內可能漏气处(例如:钢瓶头、压力调整器、压2.91气瓶柜的紧急关断时机气体泄露火灾报警地震仪器作动过流量报警EMO气柜关断28ppt课件2.91气瓶柜的紧急关断时机气体火灾地震仪器作动过流量报警E停止气瓶柜供气由气瓶柜将一次侧管路Vent并Purge干净充填PN2保压记录钢瓶出口压力值与机台供应压力值关闭控制箱之電源断路器确认钢瓶阀关闭关断气体供应室相关电力注一：若有任何施工可能导致管路断裂以致于气体外泄之考量，除Vent外，尚須进行30次以上之CyclePurge。另外，若为惰性气体，则不需进行Vent动作。注二：具ValveShutter裝置之钢瓶于断电后随即关闭出口阀，若无此裝置则需由人员手动将出口阀关閉。2.92长时间停电处理程序29ppt课件停止气瓶柜供气注一：若有任何施工可能导致管路断裂以致于气体外气体室裝侦烟感知器可燃性气体加裝UV/IR火焰侦测器可燃性气体加裝消防洒水头Cl2：因会与水起激烈反应，不可安裝喷水头与自动广播系统连线气体室环境可考虑加裝「极早期火焰預警侦测器2.93消防设计30ppt课件气体室裝侦烟感知器2.93消防设计30ppt课件2.94气瓶柜的验收规格31ppt课件2.94气瓶柜的验收规格31ppt课件3.管路分类依气体特性依制程需求32ppt课件3.管路分类依气体特性依制程需求32ppt课件输送距离之考量气体使用点之最佳规划气体预留扩充点之评估安全性之考量紧急遮断系统管路位置设计使用与维护之设计双套管需求3.1管路安全设计安全稳定33ppt课件输送距离之考量3.1管路安全设计安全稳定33ppt课件3.2管路流速与用量之设计34ppt课件3.2管路流速与用量之设计34ppt课件3.2双套管设计重点与优缺点35ppt课件3.2双套管设计重点与优缺点35ppt课件3.3管路流速与用量之设计36ppt课件3.3管路流速与用量之设计36ppt课件減少滯留点：环状配管、purge机构減少焊接点：规格化、bulkvalve、拔曲成型管減少弯曲点：bulkvalve、拔曲成型管焊接點之位置：支架阀基、管路途径管路行径之环境：耐震、耐蚀、外力、温湿度、药品、电气…等减少接头：零件之耐久性操作性：阀之位置、压力計、流量计、purge维护性：零件之位置、检查、更换需容易，purge设计3.4管路施工与设计要求37ppt课件減少滯留点：环状配管、purge机构3.4管路施工与设计要求3.5管路验收测试作业(一)38ppt课件3.5管路验收测试作业(一)38ppt课件3.51管路验收测试作业(二)39ppt课件3.51管路验收测试作业(二)39ppt课件VMB需裝設气体侦测器、抽气裝置可设计同类或相容气体于同一阀盘一般设计成4、8、10接点，供气至数个机台需有独立的purge系统PN2不建议由中央供应系统供应可做为气体中间调压可设定供气压力警报点(±5psi)机台维修时，能提供做为气体管路的隔绝功能紧急状况如泄露、火灾、地震时，也可利用VMB之气动阀进行气体系统的自动分段隔离4.现场供气阀盘VMB/VMP40ppt课件VMB需裝設气体侦测器、抽气裝置4.现场供气阀盘VMB/VM3.2.1VMB/VMP照片4.1VMB/VMP照片41ppt课件3.2.1VMB/VMP照片41ppt课件3.2.2a1进4出VMB4.2VMB/VMP

PID42ppt课件3.2.2a1进4出VMB4.2VMB/VMPPID44.3传统式与集体化阀盘之比较43ppt课件4.3传统式与集体化阀盘之比较43ppt课件4.3a传统式与集体化阀盘之比较44ppt课件4.3a传统式与集体化阀盘之比较44ppt课件1.TLV:一般工作人員每天工作8小時，每週工作40小時，終其一生不受傷之最高濃度2.警報設定值(一)

Warm-0.5TLVAlarm-1TLV3.警報設定值(二)

Warm-1TLVAlarm-2TLV4.TEL:爆炸下限5.Ceiling：最高容許濃度5.特殊气体的TLV值45ppt课件1.TLV:一般工作人員每天工作8小時，每週工作40小時，終5.1常用气体侦测器的种类电化学式试纸帶反应式红外线(IR)O3、O2、CO、CO2、SO2、NO、NO2、H2、HCN、H2S、Cl2、HCl、CCl4、COCl2、NH3、PH3、HF及一般可溶于水，且可解离成离子状态之化合物Cl2、HF、HCl、HBr、BCl3、SiH4、PH3、B2H6、AsH3、NH3…等CH4、CO及碳氢化合物，除O2、H2、N2等双原子气体46ppt课件5.1常用气体侦测器的种类试纸帶反应式红外线(IR)Cl2、5.2侦测器的优缺点比较47ppt课件5.2侦测器的优缺点比较47ppt课件气瓶柜之风管VMB之风管制程机器台之风管(非制程气体排气管)制程机台之周围环境气体供应室的环境备料钢瓶存柜其他(有机械接点的位置)5.3气体侦测器的布点位置48ppt课件气瓶柜之风管5.3气体侦测器的布点位置48ppt课件需符合气流的方向需考虑侦测气体比空气轻或重是否会受到非目标物之影响是否会受环境污染物之影响是否会受环境的温湿度之影响是否会受电磁场之干扰是否方便日后之维护5.4气体侦测器的布点方式49ppt课件需符合气流的方向5.4气体侦测器的布点方式49ppt课件Q&A50ppt课件Q&A50ppt课件IVOConfidential特气系统设计51ppt课件IVOConfidential特气系统设计1ppt课件ALS2.0特气中央系统概述阀盘介绍管路设计气体侦测系统特气中央系统设计52ppt课件ALS2.0特气中央系统概述阀盘介绍管路设计气体侦特气中央1.1气体种类大宗气体特殊气体N2、H2O2、He

Ar、He

…53ppt课件1.1气体种类大宗气体特殊气体N2、H23ppt课件:相容；

:危险；:激烈反应；:爆炸1.2

气体相互反应表54ppt课件:相容；:危险；:激烈反应；:爆炸1.2气体相互1.3

气体供应方式

大宗气体桶槽钢瓶N2、O2H2、He特殊气体液态气态NH3CL2NF3SIH455ppt课件1.3气体供应方式桶槽钢瓶液态气态5ppt课件GR氣瓶櫃VMBVMPPOU1.4特气供应流程56ppt课件GR氣瓶櫃VMBVMPPOU1.4特气供应流程6ppt课件1.5a特气系统流程图57ppt课件1.5a特气系统流程图7ppt课件1.5b特气系统流程图58ppt课件1.5b特气系统流程图8ppt课件1.5c特气系统流程图59ppt课件1.5c特气系统流程图9ppt课件1.5d特气房间平面图60ppt课件1.5d特气房间平面图10ppt课件1.5c特气系统供应能力61ppt课件1.5c特气系统供应能力11ppt课件1.6气瓶安置方式62ppt课件1.6气瓶安置方式12ppt课件

▼气体依化学性质分类如下:

惰性气体(Intergas):

N2-----使用GR(GasRack)▼易燃易爆性气体(Flammablegas):SiH4,NH3-----使用BSGS(Bulkspecialgassupplysystem)供应

目前厂区钢瓶供应方式:GRBSGS1.6a气瓶柜/架63ppt课件GRBSGS1.6a气瓶柜/架13ppt课件1.7气瓶柜之操作功能Pre-Purge抽出管內特气更换钢瓶操作人员手动更换更评PostPurge更换钢瓶后清洁管路ProcessPurge清除N2、气体上线手动模式故障排除时，可人为操作阀件开关参数设定模式设定各种功能参数历史记录查询查看历史报警64ppt课件1.7气瓶柜之操作功能Pre-Purge抽出管內特气更换钢瓶ProcessVENT1%PH3/H2N2N2VGSLPIREGPGIREGPGBVHPAHPVLPVHPI吹扫区真空产生区供应区P1P4P3P21.7a气瓶柜之操作示意图65ppt课件ProcessVENT1%PH3/H2N2N2VGSLPIR2.1气瓶钢数的设计66ppt课件2.1气瓶钢数的设计16ppt课件2.1a三钢式气瓶柜67ppt课件2.1a三钢式气瓶柜17ppt课件2.1b

三钢式气瓶柜68ppt课件2.1b三钢式气瓶柜18ppt课件2.2低压气体供应设计重点69ppt课件2.2低压气体供应设计重点19ppt课件2.3空间设计依气体特性一般区分成三间：腐蚀性/毒性气体房易燃易爆气体房惰性气体房设计重点70ppt课件2.3空间设计依气体特性一般区分成三间：腐蚀性/毒性气体房易2.4电力系统设计需接UPS电源需接紧急发电电源独立之电源避免不正常之跳机包括气瓶柜、VMB、消防、洩漏侦测、LocalScrubber、排气…等相关设施；1.可处理停电时之紧急状况；2.可于停电时处理管路之残存特气之排放可避免受其他系统之影响71ppt课件2.4电力系统设计需接UPS电源需接紧急发电电源独立之电源避2.5气瓶柜功能设计72ppt课件2.5气瓶柜功能设计22ppt课件不相容气体不可设计在同一气瓶柜不相容气体的purge管路不可相连考虑使用压力与流量之需求CGA接头需与钢瓶接头同一型号盘面零件需考虑钢瓶高度依照气体特性选择适当零件如腐蚀性、高压/低压注意管路死角purge的问题考虑未來零件更换的方便性2.6

气瓶柜管路设计73ppt课件不相容气体不可设计在同一气瓶柜2.6气瓶柜管路设计23p2.6重要的管路组件气动(N2)控制阀（AirValve）手动控制阀

（ManualValve）逆止阀(CheckValve)调压阀(Regulator)压力传感器(PressureTransmitter)真空产生器(VacuumGenerator)气体过滤器(LineFilter)流量侦测器(FlowSensor)限流孔(Orofice)74ppt课件2.6重要的管路组件气动(N2)控制阀（AirValve）2.7气瓶柜安全防护设计抽气装置UV/IR火焰侦测器消防洒水头气体泄露侦测器钢瓶紧急关断阀(ValveShutter)过流量开关装置高压测试管路设计现场EMO、远端停机开关75ppt课件2.7气瓶柜安全防护设计抽气装置UV/IR火焰侦测器消防洒水排气管保温棉消防管EMOValveShutter加热线触控面板2.8气瓶柜附属配件76ppt课件排气管保温棉消防管EMOValveShutter加热线触控气瓶柜內可能漏气处(例如:钢瓶头、压力调整器、压力控制器…等)提供至少0.51m/sec风速2.9气瓶柜排气量设计排气量会影响防爆半径77ppt课件气瓶柜內可能漏气处(例如:钢瓶头、压力调整器、压2.91气瓶柜的紧急关断时机气体泄露火灾报警地震仪器作动过流量报警EMO气柜关断78ppt课件2.91气瓶柜的紧急关断时机气体火灾地震仪器作动过流量报警E停止气瓶柜供气由气瓶柜将一次侧管路Vent并Purge干净充填PN2保压记录钢瓶出口压力值与机台供应压力值关闭控制箱之電源断路器确认钢瓶阀关闭关断气体供应室相关电力注一：若有任何施工可能导致管路断裂以致于气体外泄之考量，除Vent外，尚須进行30次以上之CyclePurge。另外，若为惰性气体，则不需进行Vent动作。注二：具ValveShutter裝置之钢瓶于断电后随即关闭出口阀，若无此裝置则需由人员手动将出口阀关閉。2.92长时间停电处理程序79ppt课件停止气瓶柜供气注一：若有任何施工可能导致管路断裂以致于气体外气体室裝侦烟感知器可燃性气体加裝UV/IR火焰侦测器可燃性气体加裝消防洒水头Cl2：因会与水起激烈反应，不可安裝喷水头与自动广播系统连线气体室环境可考虑加裝「极早期火焰預警侦测器2.93消防设计80ppt课件气体室裝侦烟感知器2.93消防设计30ppt课件2.94气瓶柜的验收规格81ppt课件2.94气瓶柜的验收规格31ppt课件3.管路分类依气体特性依制程需求82ppt课件3.管路分类依气体特性依制程需求32ppt课件输送距离之考量气体使用点之最佳规划气体预留扩充点之评估安全性之考量紧急遮断系统管路位置设计使用与维护之设计双套管需求3.1管路安全设计安全稳定83ppt课件输送距离之考量3.1管路安全设计安全稳定33ppt课件3.2管路流速与用量之设计84ppt课件3.2管路流速与用量之设计34ppt课件3.2双套管设计重点与优缺点85ppt课件3.2双套管设计重点与优缺点35ppt课件3.3管路流速与用量之设计86ppt课件3.3管路流速与用量之设计36ppt课件減少滯留点：环状配管、purge机构減少焊接点：规格化、bulkvalve、拔曲成型管減少弯曲点：bulkvalve、拔曲成型管焊接點之位置：支架阀基、管路途径管路行径之环境：耐震、耐蚀、外力、温湿度、药品、电气…等减少接头：零件之耐久性操作性：阀之位置、压力計、流量计、purge维护性：零件之位置、检查、更换需容易，purge设计3.4管路施工与设计要求87ppt课件減少滯留点：环状配管、purge机构3.4管路施工与设计要求3.5管路验收测试作业(一)88ppt课件3.5管路验收测试作业(一)38ppt课件3.51管路验收测试作业(二)89ppt课件3.51管路验收测试作业(二)39ppt课件VMB需裝設气体侦测器、抽气裝置可设计同类或相容气体于同一阀盘一般设计成4、8、10接点，供气至数个机台需有独立的purge系统PN2不建议由中央供应系统供应可做为气体中间调压可设定供气压力警报点(±5psi)机台维修时，能提供做为气体管路的隔绝功能紧急状况如泄露、火灾、地震时，也可利用VMB之气动阀进行气体系统的自动分段隔离4.现场供气阀盘VMB/VMP90ppt课件VMB需裝設气体侦测器、抽气裝置4.现场供气阀盘VMB/VM3.2.1VMB/VMP照片4.1VMB/V