ITO薄膜基础知识

ITO薄膜基础知识一、ITO薄膜的概念ITOIndiumTinOxides及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断对人ITON导体—氧化铟锡,ITO二、ITO薄膜的应用ITO薄膜具有优良的光电性能，对可见光的透过率达5％以上,对红外光的反射率5％,对微波的衰减率≥85%，导电性和加工性能极好，硬度高且(一）用于平面显示ITO它作为液晶显示器用的透明电极获得高速发展,约占功能膜的50%以上,例如液晶显示(LCD）、LED、电致发光显示（ELD(ECD)等.随着液晶显示器件的大面积将超过CRT成为显示器件中的ITO算器、计算机显示器、液晶和电子发光屏幕等。（二）用于触摸屏目前市场上，使用ITO摸屏应用最为广泛。1、电阻式触摸屏薄的ITO透明性好，但是阻抗高;厚的ITO材料阻抗低，但是透明性会变差.在PET聚脂薄膜上沉积时，反应温度要下降到150度以下，这会导致ITO氧化不完全，之后的应用中ITO会暴露在空气或空气隔层里，它单位面积阻抗因为自氧较便宜,反应灵敏度也很好。2、电容式触摸屏电容式触摸屏也需要使用ITO材料,而且它的功耗低寿命长，自从Apple推出iPhone后，友好人机界面、流畅操作性降，正逐步取代电阻式触摸屏。表面电容触摸屏的ITO涂层通常需要在屏幕的周边加上/时ITO涂层下面还会有一个ITO电容触摸屏至少需要校正一次才能使用。感应电容式触摸屏与表面电容触摸屏相比，可以穿透较璃屏，玻璃屏的内表面和夹层各涂有一层ITO,最外层是一薄层矽土玻璃保护层，夹层ITO涂层作为工作面，四个角上引出四个电极,内层ITO为屏蔽层以保证良好的工作环境。代表产品就是苹果iphone、iPodtouch和iPad系列产品,拥有其他产品难以超越的非凡触控体验。(二）用于交通工具风挡ITO以用作汽车、火车、电车、飞机等交通工具的风挡，用于陈（三）用于太阳能方面ITO薄膜用于异质结SIS太阳能电池顶部氧化物层，可ITO/SiO2/P—Si太阳能电池可以产生13％～16％的转换效率.ITO玻璃还可以用于Si太阳能电池的反射涂层以及用于异质结型A-Si基太阳能电池的透明电极。具有电致变色（EC)的灵巧窗的典型结构是在ITO玻璃可使建筑物内暖气、冷气和照明等能耗减少50%以上。（四）用于微波屏蔽和防护镜ITO防雷达隐形飞机上。茶色ITO薄膜是铟、锡氧化物的新品种,三、ITO薄膜的主要制备方法ITO导电薄膜是用物理的或化学的方法在基体表面上沉和莫的热膨胀系数的匹配问题。（一）磁控溅射法：击靶材（IT靶和ITO靶两种。（二）(CVD的有机盐气化，然后在N2或Ar的载气气氛中与O2，H2O或H2O2等反应而得到ITO薄膜。(三喷雾热分解法溶液雾化后喷在处于高温区域的衬底上，经过液滴的干燥、热分解过程在基体表面得到ITO薄膜。（四）溶胶—凝胶法:首先得到氢氧化铟锡溶胶,然后通过浸涂、煅烧等后续工艺得到薄膜。（五）水热法：种很有潜力的液相制膜技术,它一般以廉价的无机盐或氢氧化物水溶液或悬浮液为前驱体，以单晶片、金属片、玻璃片、甚至塑料等为衬底,将前驱体和衬底置于密闭反应容器里，通过对反应容器加热，创造了一个高温(通常低于300℃)膜.目前,水热法制备薄膜的研究主要集中在制备压电和铁电薄膜.四、电容屏主要供应厂商(一)台湾电容屏主要供应厂商（二)国内电容屏主要供应厂商（三）国外电容屏主要供应厂商（四）触控板材料价值分布1、Touchsensor（触控感测器）40％2、Coverglass （防护玻璃罩）30％3、Touchsensorchip（触摸传感器芯片）15％4、Printedcircuitboardsandothercomponents（电路板及其他部) 15％五、ITO材料在电容式触摸屏产业链中的基本情况（一)行业综述ITO20%70ITO目前在电阻屏和电容屏的ITOfilm领域都是第一品牌，采从日东采购的ITOfilm的价格要比日本和台湾厂商高30％—50%。（二）ITO导电膜应用空