清洗工艺流程

硅片超声波冲洗机构造特点：采用三套独立的电脑控制机械臂自动化作业????????采用第三代最新技术，全面完满的防酸防腐举措，保护到机器每一个角落最新全自动补液技术独到的硅片干燥前办理技术，保证硅片干燥不留任何水痕成熟的硅片干燥工艺，多种先进技术集于一身彩色大屏幕人机界面操作，方便参数设置及多工艺方式变换冲洗工艺：上料→碱腐化→纯水漂洗→酸碱腐化→纯水漂洗→喷淋漂洗→酸中和→纯水漂洗→碱中和→纯水漂洗→烘干→下料?合用范围：各样规格的单晶硅、多晶硅太阳能电池硅片的制绒冲洗XT-1300SG太阳能硅片制绒超声波冲洗机■采用三套独立的电脑控制机械臂自动化作业■采用第三代最新技术，全面完满的防酸防腐举措，保护到机器每一个角落■最新全自动补液技术■独到的硅片干燥前办理技术，保证硅片干燥不留任何水痕■成熟的硅片干燥工艺，多种先进技术集于一身■彩色大屏幕人机界面操作，方便参数设置及多工艺方式变换冲洗工艺：上料→碱腐化→纯水漂洗→酸碱腐化→纯水漂洗→喷淋漂洗→酸中和→纯水漂洗→碱中和→纯水漂洗→烘干→下料冲洗工件：各样规格的单晶硅、多晶硅太阳能电池硅片的制绒冲洗冲洗溶剂：水基冲洗剂产品特点：单机械手或多机械手组合，实现工位工艺要求。PLC全程序控制与触摸屏操作界面，操作便利。自动上下料台，正确上卸工件。净化烘干槽，独到的烘干前办理技术，工作干燥无水渍。全关闭外壳与抽风系统，保证优秀工作环境。具备抛动冲洗功能，保证冲洗平均。全关闭外壳与抽风系统，保证优秀工作环境。1）适合单晶硅片研磨、切割后的批量冲洗，多晶硅片线剧切片后的大批量冲洗。冲洗工艺流程：自动上料→去离子水→超声波冲洗→碱液超声波冲洗→去离子水超声波冲洗→碱液超声波冲洗→去离子水超声波冲洗→去离子水超声波冲洗→去离子水超声波冲洗→自动下料标准工艺下产量：硅片1000片/小时。（2）冲洗工艺流程自动上料→去离子水＋超声波冲洗＋振动筛抛动→碱液＋超声波冲洗＋抛动→去离子水＋超声波冲洗＋抛动→碱液＋超声波冲洗＋抛动→碱液＋超声波冲洗＋抛动→去离子水＋超声波冲洗＋抛动＋溢流→去离子水＋超声波冲洗＋抛动＋溢流→自动下料【纲领】半导体/LED/LD硅片冲洗加工设施，可宽泛用于IC生产及半导体元器件生产中晶片的湿法化学工艺。该设施可有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不损坏晶片表面特点。半导体/LED/LD硅片冲洗加工设施，可宽泛用于IC生产及半导体元器件生产中晶片的湿法化学工艺。该设施可有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不损坏晶片表面特点。用途炉前（RCA）冲洗：扩散前冲洗。光刻后冲洗：除掉光刻胶。氧化前自动冲洗：氧化前去掉硅片表面全部的沾污物。抛光后自动冲洗：除掉切、磨、抛的沾污。外延前冲洗：除掉埋层扩散后的SiO2及表面污物。合金前、表面钝化前冲洗：除掉铝布线后，表面杂质及光胶残渣。离子注入后的冲洗：除掉光刻胶，SiO2层。扩散预淀积后冲洗：除掉预淀积时的BSG和PSG。CVD后冲洗：除掉CVD过程中的颗粒。附件及工具的冲洗：除掉表面全部的沾污物。硅片冲洗设施可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的冲洗工作。好似：RCA冲洗、SPM清洗、SC冲洗、金属离子及杂物去除冲洗等。全自动硅片冲洗机手动硅片冲洗机附件及工具冲洗设施石英管冲洗机酸碱冲洗台有机化学超净工作台零件冲洗台氮气贮备柜硅片冲洗设施特点手动硅片冲洗设施特点：可依照不同样的冲洗工艺配置各样相应的冲洗功能槽。功能槽包括：加热酸缸、HF腐化、BHF（HF恒温缓冲腐化）、超声冲洗槽、恒温水浴、QDR（快排冲水）、电炉等。冲洗功能槽模块化，各部分有独立的控制单元，可随意组合。重点件采用入口零件，提高设施的可靠性及使用寿命。采用入口耐腐化PP板材，防酸、防腐，有效预防酸液的伤害。控制系统的元器件具备防腐、防潮功能，保证安全的工作环境。构造紧凑，净化占地面积小，造型雅观、合用。操作切合人机工程原理，拥有优秀的操作界面，使用方便、灵便。闭式冲洗，有效改良工作环境，保障操作人员安全。全自动硅片冲洗设施特点：入口伺服驱动机构及机械手臂，冲洗过程中无需人工操作。经过PLC实现控制，全部操作经过触摸屏界面一次完成。可起初设制多条冲洗工艺，可同时运行多条工艺。自动化程度高，合用于批量生产，保证冲洗质量的一致性。自动氮气鼓泡装置可有效提高产质量量，缩短冲洗时间。可选装层流净化系统及自动配酸装置。石英管冲洗机合用工艺由于化学和物理作用，对石英管吸取层进行腐化冲洗，并且经过石英管的旋转作用，使石英管腐蚀层平均，经过在水槽中的冲洗，使石英管表层污物冲洗干净。酸洗→排液→注纯水→溢流→注水→水洗→排液石英管冲洗机特点采用浸泡、旋转式冲洗；酸冲洗为转动浸泡式；水冲洗为溢流式。采用多点支撑式工件旋转驱动装置，牢固、可靠。操作切合人机工程原理，拥有优秀的操作界面，使用方便、灵便。可配置自动氮气鼓泡系统，有效提高产质量量，缩短冲洗时间。构造紧凑，净化占地面积小，造型雅观、合用。重点件采用入口件，提高了设施的可靠性。采用入口耐腐化PP板材，防酸、防腐，有效预防酸雾的伤害。关闭式冲洗，有效改良工作环境，保障操作人员安全。控制系统同时具备完满防腐、防潮功能，保证安全的工作环境化学湿台化学湿台合用于半导体行业中基片的制造、集成电路芯片的制造等冲洗工艺过程。合用于2"～6"基片的半导体冲洗过程中，去除工件表面的油污及其余有机物、除胶、去金属离子等。可依照不同样冲洗工艺配置相应的冲洗单元。各部分有独立的控制单元，可随意组合；配有在线方式的去离子水加热系统。构造紧凑，净化占地面积小，造型雅观、合用，操作切合人机工程原理。可依照客户工艺定制。外形尺寸(mm)1600×1100×1900气源压力4.2～7kg/cm2排风量20m3/min功能单元SC1～SC3FH(FH腐化)BHF（HF恒温缓冲腐化）QDR（快排冲水）化学操作实验台合用于2"～6"硅片的冲洗及湿法腐化。可以有效的去除硅片表面的油污及其余有机物、除胶、去金属离子等。冲洗槽部分包括化学槽、加热槽和快排槽设施的电气、管路、循环系统，均采用入口零件；入口PLC控制，冲洗时间可调。设施组成：在线加热、冲洗槽、伺服系统、电气控制系统、机架等。可依照用户要求配置氮气枪、DI水枪、恒温水浴、热台、超声冲洗、DI水在线加热装置、DI水电导率测试仪等石英管冲洗机冲洗机特点：◆本设施为浸泡式冲洗机，用于半导体行业扩散炉石英管冲洗◆槽体资料为入口聚丙烯（PP）塑料或PVDF资料，支架采用不锈钢，耐腐化性能好◆管件、泵、电磁阀均采用的是入口产品，性能牢固可靠◆触摸屏PLC控制，流量及温度，超纯净泵的压力、流量可设置◆选配气体喷枪◆可依照用户要求订制技术参数：◆外形尺寸(L×W×H):1300mm×700mm×1700mm◆槽内尺寸(L×W×H):700mm×500mm×300mm◆喷嘴出水压力:1.5～2.5(bar)（可调）◆DI水加热温度：75℃～85℃◆排风量：15m3/minJTA-3916硅片冲洗机冲洗对象是2～8英寸的硅研磨片。设施整体采用入口PLC

控制，经过设定工作节拍传达篮具依次经过各个工序，由上料开始到下料均自动完成。设施工作节拍，各项参数设定采用触摸屏完成。设施整体为密闭构造，拥有排风装置。独有的机械手设计使抓取定位更正确。重视人性化设计，可依照用户要求定制。设施整体尺寸冲洗有效尺寸

6000mm×1600mm×(L×W×H)350mm×

2500mm350mm×

电源280mm

380V、50Hz额定电流50A

以下槽体资料

不锈钢和优秀特种塑料

去离子水流量

30L/min温控仪温度

30℃～90

℃可调温度精准到±3℃

并有状态显示

压缩空气入口压力

0.7MPaJTA-3915液晶生产光刻前冲洗机JTA-3915合用于ITO玻璃的光刻前冲洗，去除ITO玻璃表面残留物。设施总合9个工位，分别是：上料、NaOH超声摇动冲洗、NaOH超声摇动冲洗、纯水摇动冲洗、超声波纯水摇动冲洗、超声波纯水摇动冲洗、纯水摇动冲洗、下料、离心脱水。其中NaOH摇动冲洗水温为室温至50℃可调，纯水为常温冲洗。部分技术指标

：外寸(mm)7000*1500*2000超声功率电压380VAC?50Hz～60Hz三相四线功率10kW供水纯净水100L/Min气源压力：4-6kgf/cm2JTA-3835液晶封盒后冲洗机

1.5kW超声频次

40kHz合用于液晶生产后工序的冲洗，以去除液晶灌入后节余及前道工序残留物，实现雅致冲洗。冲洗工序为：上料→超声冲洗→超声冲洗→喷淋冲洗→溢流超声漂洗→溢流超声漂洗→喷淋漂洗→慢提拉脱水→热风烘干（2槽）→下料部分技术指标：外寸(mm)9000*1500*2000

超声功率

600W腔寸(mm)500*600*500气源压力：4-6kgf/cm2

（冲洗喷淋槽）干净度1000级

900*600*300（烘干槽）加热功率18KW

超声频次

40kHz电压

380VAC?50Hz

～60Hz

三相四线

温度室温至

100℃温控精度

±2℃空载升温时间室

温至

45℃≤30min

喷淋压力

JTA-180

液晶玻璃冲洗烘干机JTA-180液晶玻璃冲洗烘干机是对液晶玻璃进行冲洗、烘干的设施。其工作流程是由胶辊传达液晶玻璃片，经过喷淋、毛洗刷漱、海绵吸水及热风烘干，最后达到冲洗液晶玻璃表面污垢及杂质的目的。特点：◆上下胶辊传达速度同步伐整，无级可调。◆烘干组件对玻璃片的烘干温度可调。◆吹风风量无级可调，保证玻璃片烘干所需合理温度。◆玻璃片厚度调整采用丝杆传动和雅致导轨导向精准调治，详细调治量由百分表指示。◆导轨、电机控制元件等均采用入口产品，质量可靠。◆机械重点零件均采用不锈钢资料。主要性能规格指标：◆外形尺寸（约）：720mm×1726mm×1290mm◆电源：AC220V50HZ◆工作高度：750mm～800mm◆胶辊最快转动速度：约５m/min(速度可调)◆毛刷辊转动速度：360r/min(速度可调)◆冲洗玻璃尺寸范围：300mm≥长度＞25mm150mm≥宽度＞10mm5.08mm≥厚度＞0.4mmJTA-180液晶玻璃冲洗烘干机JTA-180液晶玻璃冲洗烘干机是对液晶玻璃进行冲洗、烘干的设施。其工作流程是由胶辊传达液晶玻璃片，经过喷淋、毛洗刷漱、海绵吸水及热风烘干，及杂质的目的。

最后达到冲洗液晶玻璃表面污垢特点：◆上下胶辊传达速度同步伐整，无级可调。◆烘干组件对玻璃片的烘干温度可调。◆吹风风量无级可调，保证玻璃片烘干所需合理温度。◆玻璃片厚度调整采用丝杆传动和雅致导轨导向精准调治，详细调治量由百分表指示。◆导轨、电机控制元件等均采用入口产品，质量可靠。◆机械重点零件均采用不锈钢资料。主要性能规格指标：◆外形尺寸（约）：720mm×1726mm×1290mm◆电源：AC220V50HZ◆工作高度：750mm～800mm◆胶辊最快转动速度：约５m/min(速度可调)◆毛刷辊转动速度：360r/min(速度可调)◆冲洗玻璃尺寸范围：300mm≥长度＞25mm厚度＞0.4mmSMT网板/PCB冲洗机SMT网板/PCB板冲洗机：

150mm≥

宽度＞

10mm

5.08mm≥产品型号：

JTA-100SMT原产地：深圳一、主要特点

:1．可迅速冲洗

29”*29

及”以下尺寸的

SMT

钢网板及

PCB

板。冲洗加热烘干仅需

10~15

分钟。．采用高效超声波冲洗方式，冲洗收效佳，效率高。3．系统采用冲洗池粗/精