针状规准仪相邻规准柱间距和片状规准仪规准孔宽度测量结果不确定度评定

1、针状规准仪相邻规准柱间距和片状规准仪规准孔宽度测量结果不确定度评定测量方法根据JJF1593-2016针状、片状规准仪校准规范，针状规准仪相邻规准柱间距采用分辨力 0.01mm，量程200mm的数显卡尺，沿与基板上表面平行方向，在规准柱高度均匀分布的上、 中、下三个位置，每个位置取两次测量平均值作为该位置间距尺寸；片状规准仪规准孔宽度 同样采用数显卡尺测量，沿规准孔长度方向，在均匀分布的三个位置分别测量，每个位置取 两次测量的平均值作为该位置宽度尺寸，下面分别以相邻规准柱间距17.1mm和规准孔宽度 2.8mm为例，对针状规准仪相邻规准柱间距和片状规准仪规准孔宽度测量结果不确定度进 行评定。数

2、学模型D = dD一被测规准柱间距或规准孔宽度，mmd一规准柱间距或规准孔宽度2次测量平均值，mm各分量测量不确定度的评定测量不确定度主要来源于测量重复性，数显卡尺示值误差，被测对象与数显卡尺线膨胀 系数差和温度差引入的不确定度，其中相对于测量所要求的准确度，被测对象与数显卡尺线 膨胀系数差和温度差引入的不确定度分量可忽略不计。3.1测量重复性引入的标准不确定度分量u 1在重复测量条件下，分别测量10次17.1mm规准柱间距和2.8mm规准孔宽度，测量数据 如下。次数12345678910规准柱 间距 （mm）17.0817.0717.0817.0517.0617.0617.0717.0617

3、.0517.08规准孔宽度（mm）2.722.742.722.732.712.712.732.722.722.73规准柱间距：平均值d=17.066mm,实验标准偏差s=0.012mm;规准孔宽度：平均值d=2.723mm,实验标准偏差s=0.010mm由于实际测量取两次测量的平均值，则规准柱间距：u=s / V2 = 0.0083mm * 0.009mm规准孔宽度：=s hjl = 0.0067mm * 0.007mm数显卡尺分辨力为0.01mm，其引入的不确定度分量按均匀分布处理，则u=0.01/ 0 x 3 = 0.0029mm r 0.003mmi由于数显卡尺分辨力引入的不确定度分量小

4、于重复性引入的不确定度分量，故数显卡尺分辨力引入的不确定度分量可忽略不计。3.2数显卡尺示值误差引入的标准不确定度分量2数显卡尺在(070)mm范围内最大允许误差：土0.02mm，按均匀分布处理，取包含因子k =。3，则规准柱间距：u =0.02/J3 = 0.0115mmr 0.012mm规准孔宽度：2=0.02/J3 = 0.0115mmr 0.012mm合成标准不确定度的评定4.1灵敏系数的确定根据测量模型，得灵敏系数为：c(d )=竺=1 dd方差：u 2 (D )= u 2 (s)= C2 (d )u 2 (d )ci4.2标准不确定度汇总表不确定度分量汇总表测量点八、标准不确定度分

5、量ui不确定度来源标准不确定度 值(mm)灵敏系数Cic - u规准 柱间 距17.1mmu1测量重复性0.009105.44u2数显卡尺示值误差0.012规准 孑L宽 度2.8mmu1测量重复性0.0070-105.48u2数显卡尺示值误差0.0124.3合成不确定度的计算u 2 (D )= u 2 (S)= C2 (d )u 2 (d )ci(D )= c (d )u (d )= c (d )规准柱间距：u (D) = 1xJ0.0092 + 0.0122 = 0.015mm规准孔宽度：u（D） = 1xJ0.0072 + 0.0122 = 0.014mm5扩展不确定度评定取包含因子k = 2，贝规准柱相邻间距