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文档简介

1、真空镀膜机安全管理规定真空镀膜设施是电阻加热式蒸发真空镀膜设施。操作人员一定详尽阅读该机说明书，认识设施构造、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，娴熟掌握各操作要领。经相关专业人员确认切合操作规范，方能独立上岗操作。一、该机开机前应先检查电控柜的接线能否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触能否靠谱，工件架转动能否自如。联轴器，输入电极接触能否优秀，各密封处特别是动密封处能否优秀。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量能否知足要求。供给的电源、气源，各样机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向必定要在真空状态下进行。经过上述检查，各项性能优秀，才能进行抽气试机。假

2、如镀膜室长久裸露大气，还一定进行“炼气”，就是依据操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，观察真空度上涨的稳固状况，若真空度保持稳固，才能进行下一步操作。一般“炼气”时间要达10小时以上。调试时主要检查：真空检漏2.检查极限压强3.抽气时间二、知足以上各项检查后，进入操作和使用：在非特别状况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。本设施通电及运转过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外面用电器件，注意安全。确认安全无误时才能操作设施。不要将设施交给非本设施操作人员操作。设施及电源控制柜一定优秀接地。非专业人员请不要维修本设施。三、工作中还一定注意以下几点：平常，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长久裸露在大气中;真空室镀膜200-250次后，要冲洗真空室和工作支撑架;常常检查胶封能否优秀，特别是动密封圈，按期给动密封圈加上真空脂;按期检查电气元件，消除尘埃，改换烧坏的电器元件;在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门;罗茨泵、粗抽泵、保持泵要按期加油，换油(保持油面在油镜中心为佳);7.充气阀门充气动作失灵时，一定进行检修;镀膜完成时先封闭真空丈量计，再封闭精抽、前置阀，待精抽阀、前置阀完整封闭后才能充入大气，不然会烧坏电离规管，氧化扩散泵油及发生不用要的之外;镀膜机在工作过程中，不得断水，若在工作过程中忽然停电，应立刻封闭精抽阀门，减少因系统漏气泵油的氧化;

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