无尘室管理规定

1、优选文档目录1.0无尘车间管理的目的2.0无尘车间管理的原则3.0合用范围4.0术语5.0管理程序51无尘室施工管理制度52无尘室干净度如期检测制度/测量标准53无尘室人员管理制度54无尘室干净服管理制度55无尘室物流/干净室内设施及工器具管理制度56无尘室干净、打扫和灭菌管理57无尘室干净室安全管理6.0版本更正记录10无尘车间管理的目的半导体产品生产过程对车间有明确的干净要求，为了满足生产工艺需要、保证产质量量、安全生产，必定对干净室的环境、人员、物料、设施、生产过程等进行控制。20无尘车间管理的原则2.1进入干净室的管理，包括对干净室工作人员进入、物料进入、各种设施的搬入以及有关的设施、

2、管线的保护管理，应做到不得将微粒、微生物带入干净室。2.2操作管理技术，对干净室内人员用干净工作服的制作、穿着和冲洗；操作人员的搬动和动作；室内设施及装修资料的选择和打扫、灭茵等，尽可能地减少、防范干净室内尘粒、微生物的产生、滞留、生殖等。2.3严格各种设施、设施的保护管理，拟定相应的操作规程，保证各种设施、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各种水气电系统、生产工艺设施和工器具(工装夹具)等。以保证产品生产工艺要求和空气干净度等级。2.4打扫、灭菌管理，对干净室内的各种设施、设施的打扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防范、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、生殖。2.5干净室环境

3、控制的内容包括：空气净化、干净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设施、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防范等。30合用范围半导体公司全部干净生产区及干净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和有关生活用室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的干净厂房及其辅助用房。40术语干净生产区是干净厂房的主要部分，对干净级别有明确规定的地域。干净辅助间是干净厂房不能缺少的必备房间。干净辅助间对干净厂房的平面关系亲近，对干净厂房的建筑带来影响.优选文档和投产后可否满足产品生产的需要以及可否可靠地防范生产过程的污染或交织污染至关重要。管理区

4、是干净厂房内的产品生产过程的生产管理、技术管理用房和必要的操作人员的休息、福利用房。设施区即净化空调系统、公用动力系统等用房，是干净厂房的重要组成部分。50管理程序51无尘车间干净室施工管理制度511背景5111半导系统造业必定在干净的环境中进行，在施工中必定依照行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的大纲。为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必定遵守。5112图纸上对于施工的干净建设草案将被逼迫执行。这包括除了原料和成品库房以外的全部主厂房内的地方。5113干净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期全部干净室施工项目仍依照本制度规定的原则进行管理。512责任与义务

5、5121全部承包商有责任保证他们的工人都认识这些规则和程序，并且在他们疏于依照或违反时恩赐培训和训练。被分配到干净建设地域的每位工人有责任和义务理解并遵守干净建设规则和程序。5122承包商负责执行干净室草案。他将每日对干净建设地域进行检查，并填写检查清单。承包商负责供应干净室所需物品，比方：鞋套，毛巾，垫子和工装。他也负责供应每日执行干净规则和程序的人员和设施。5123承包商建筑地域入口并对其进行管理。他供应冲洗晾晒每个入口处鞋、外衣和衣服的冲洗店。他将对在洁净地域工作的人员进行培训，并保护被赞成在此地域工作的人员身份认定和管理。5124开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员（除非半导体公司在

6、该入口处安排有人员）以保证本规则和程序的执行。5125重复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。513草案细则干净室草案分为三部分，每一部分对应施工的一个过程。施工凑近完工阶段，不同样意从外面或干净地域的施工场所带入脏物。5131第一部分第一部分主要针对直到主要施工达成后。包括屋顶，覆层，门和窗户。全部工人必定从图纸上注明的通道进出施工现场。每个入口将会有冲洗店。全部工人进入必定保持鞋子干净。不同样意穿奇怪的衣饰，工人的衣服应该保持合适的干净。现场安全规则一准时刻遵守。全部设施和资料必定从一个入口进入施工现场，并且保持干净，不同样意有碎片掉下。施工现场内不同样

7、意吃东西，吸烟，喝酒。每班结束时，必定清走全部垃圾和废旧物品。总之，整个施工现场每日必定保持干净。5132第二部分第二部分主要针对直到gridlineB西边干净地域的内墙达成。此时，只赞成承包商聘用的工人在干净地域。其他供应商若是要进入干净地域，必定提前向承包商提出申请，获得赞成后方可进入。工人、设施和资料的入口是经过威世半导体(西安)有限公司管理人员赞成的。gridlines1和2之间的通向成品库房的外门。gridlines15和16之间的通向原料库房的外门。.优选文档其他入口必定经过干净工程承包商的书面赞成。两个入口旁边将会为很可能造成污染的资料准备或拆包预留地域。进如干净地域以前，资料和

8、设施不同样意有脏物或由掉下，并且应该用干净的干布擦拭干净。任何可能会造成污染的活动必定必定提前经过干净工程承包商的赞成。这包括砂纸打磨，碾，开凿，演练，焊接，切割和任何用水或喷淋工作。承包商要用任何可能的方法预防污染。装好的地板必定用PVC板包装保护。第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必定的。第二部分草案执行时期，干净地域必定每日吸尘。5133第三部分第三部分主要针对直到生产车间全部建成。气体鼓风机将连续运转以保护房间的压力要求。进入的工人穿鞋套和工作服。全部进入干净地域的资料，工具和设施要用IPA和水的混杂物擦拭。在第三部分草案执行时期，干净地域每日要用有过滤装置的洗尘设施吸尘。514干净安

9、装必定采用干净措施保持安装干净。各种部件如节气闸，扩散体在进入施工现场时应干净并且拆偷换装。内部表面应该用IPA和水的混杂物擦拭。干净安装过程中，一订婚密关注所采用的干净措施的可靠程度，对于隔断围护设施必然要作到及时发现、马上纠正。515最后干净干净地域的全部安装达成后，要进行最后干净。干净要用IPA和水的混杂物擦拭。先干净天花板，尔后是墙壁，墙壁应从上到下，最后是地面。最后干净达成后，gridlineB东边经过的地域将是唯一进入干净室的通道。以前的原料成品库房入口将被保护。最后干净达成后，任何进入的人都必定经过威世半导体(西安)有限公司现场经理的赞成。设施、物品进入干净室规定52无尘车间干净

10、度如期检测制度/测量标准为了保证干净室的干净度满足工艺要求，必定如期对干净室内的干净度进行检测。检测测试设施：激光粒子记数器检测周期：每周一上午、下午对各干净地域进行一次检测检测条件：静态干净度测试数据收集整理：将每次检测的结果输入监控室的电脑中储蓄，并在每个季度末（或下季度初）给各部门发该季度的干净度记录图表电子档通知给各部门。各干净地域干净级别标准：依照半导体公司能源管理标准要求执行。地域、系统名称干净等级标准相当于ISO级别等效于GB级别K-1系统划片地域静态1万级K-1系统改造前为静态10万级CLASS7CLASS8CLASS7CLASS8K-2系统包封地域静态30万级CLASS83C

11、LASS83K-3系统搪锡地域静态30万级CLASS83CLASS83.优选文档K-4系统测试地域静态30万级CLASS83CLASS83K-8系统电镀地域静态30万级CLASS83CLASS83现有其他空调系统酣畅性空调系统，无干净要求NotApplicableNotApplicable干净室用净化空调系统及设施的保护管理与相应的操作规程、维修制度等（包括净化空调系统和干净室有关的公用动力系统的设施、管线等管理保护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设施、冷冻机及水泵、纯水设施、配电设施、安全报警设施等）执行威世半导体(西安)有限公司厂务部有关SOP文件。参照文件FSD-SOP-01供电操作指

12、导书及规范制度FSD-SOP-4-1AHU系统操作指导书FSD-SOP-4-2洗气塔操作指导书FSD-SOP-4-3锅炉操作指导书FSD-SOP-4-4制冷机操作指导书FSD-SOP-06厂务部安全操作规程FSD-SOP-07设施保护保养流程FSD-SOP-08消防系统操作指导书FSD-SOP-12厂务部运转管理制度FSD-SOP-13市政动力能源中断紧急应变计划FSD-SOP-20厂务核心计组应迫切换操作指导书ATD1210C能源管理标准JVP1301C公共设施管理规定53干净室人员管理制度531干净室的人员管理包括：拟定专职管理人员的职责、干净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入干净室

13、人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。532人员净化与进入在干净厂房内众多的污染源中，人是主要污染源之一，特别是工作人员在干净环境中的活动，会明显地增加洁净环境的污染程度。对于高级别干净地域，应严格控制进入人员数量，并规范进行二次换衣。要获得生产环境所需要的空气干净度等级或延长空气过滤器的使用寿命，对进入干净室的人员、物料进行净化十分必要。为保持干净室空气干净度，应尽量减少进入干净室人员带入的污染物。全部进人干净室的人员必定严格地按规定程序进行人身净化。个人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妆，换上指定的衣饰，按空气干净度等级相应的脱衣序次脱衣，放在规定的衣柜内。进入脱衣室，在换衣凳前将皮

14、鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内，严禁不脱鞋直接超越换衣凳而进入换衣室。若公司后期发展需要更高干净级别要求的干净地域（指高于ISOClass7级别）进入前，需要设置盟洗室用洗手器洗手（先用干净冲洗剂冲洗，再用干净水冲洗。冲洗后用自动烘手器烘干）。凡是交织污染的媒介，要经常冲洗。不要用手波及高净化产品和高净化包装资料等。要按规定戴手套和指套。533干净室工作人员须知.优选文档进入干净室的人员应严格执行人身净化制度、路线和程序，任何人不得随意更正。在干净室内必定按规定着衣、戴帽、换鞋。进入干净级别1万级以及高于万级的干净地域，必定最少经过二次换衣。可先从一次换衣室进入，进行更鞋、脱外衣、换干净服、

15、戴口罩、帽子（或干净头套）后，经过走廊进入二次换衣室，进行二次换衣、更鞋、戴防静电腕带、戴口罩、戴帽子，确认更换达成后，进入风淋室进行风淋后，才能进入万级以及高于万级的干净地域。严禁不经过风淋而直接走旁通门进入干净室。旁通门只赞成人员出到干净间外以及发生紧急状况时的进出。风淋室使用须知风淋室是工作人员进入净化地域前进行人身净化的专用设施，它能将人体表面吸附着的尘埃用高速气流吹去，使工作人员不带污染源进入净化地域，并能使净化地域与非净化地域起到气闸作用。风淋室设定和状态：风淋室在投入使用前必定达成调试和设定，使之保持自动风淋状态。风淋室使用使用者无需按任何键即可开门进入风淋室内，人数每次限制三人

16、,把门关好即可自动风淋,风淋时旋转身体360度,等待风机停止工作今后蜂鸣响，内门开锁，用户出风淋室。按“照明开”键即可打开室内照明灯。风淋室的微电脑对所做设定有记忆功能,关闭风淋室电源再次打开电源时风淋室处于前一次操作的最后设定状态。严禁一线使用者对设施的数值设定进行更正，数据更正必定由专业的管理人员进行。严禁使用者野蛮对风淋室的门（红外电控锁）强行推拉而破坏设施。风淋设施若因使用不当而破坏，使用部门应据实反响破坏原因，并马上报修。一线员工在使用过程中发现状态异常，应马上通知主管部门进行办理；并停止使用风淋室。风淋室正常/异常状态的界定：风淋室正常初始化自检：打开电源操作面板LED数码显示时间

17、点亮，同时电脑控制器做一次检测，二门可否关闭，有门开着则等待关门，若是二门都关闭则自动进入正常工作状态。正常工作状态若是系统处于不工作状态：按电源开要点使系统处于工作状态，LED被点亮。依照明开/关则风淋室灯被点亮或熄灭，人员可依照需要循环选择。系统处于正常等待工作状态时，风淋室的两扇门处于关闭未锁状态。异常状态：喷嘴出现轻细风速、门不能够正常关闭或开启、电源操作面板无显示。.2进出风淋室流程机理：进入：当外门(红外电控锁)被打开时，内门（红外电控锁）自动闭锁。若是用户进入风淋室，经过红外探头，风机将自动工作一准时间，此时内外门均闭锁，风机停止工作今后蜂鸣响，内门开锁，用户出风淋室。开门、关门

18、整个过程结束。退出：当内门被打开时外门自动闭锁，用户关门后，则内外门均开锁，用户能够从随意门出风淋室。开门、关门，整个过程结束。作业人员在干净室内工作时，动作要轻。严格执行操作规程，不同样意跑跳、打闹及喊叫，不作不用要的动作，不作易发尘和大幅度的动作。作业人员在干净室内工作时，尽量防范人员齐聚现象。若个别工位无特别协作需求，其他工位员工严禁齐聚、围观与自己工位工作不有关的其他工位正常工作事件。为不搅乱气流，在作业区上游侧不应放物品，生产操作一般应在干净工作台或气流的上游进行。.优选文档不同样意将与生产没关和简单产尘的物品带入干净室，严禁在干净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动。患有以下几种疾病的

19、员工是不宜进入干净室的：呼吸系统疾病（如严重的感冒咳嗽等，患者除了会流传病菌、病毒外，还会因咳嗽而产生大量的污浊颗粒混入干净的空气中）、皮肤疾病（如明显脱皮、掉皮屑的皮炎等）；针对上述状况若采用了可靠的额外人净措施时是能够进入干净室的。534干净室人员退出时应注意的事项为了防范再次进入和往返作业对干净室造成交织污染按规定的序次退出干净室。干净室人员在作业中途和作业达成在退出到换衣区以前不得脱掉干净工作服，进入换衣室先脱干净室用鞋，放在规定的场所。必要时脱鞋前洗手，脱鞋后再摘掉帽子，放在规定处。脱干净工作服时不要波及地板、桌子和其他物品，对于干净服一般由下至上脱（由下至上是指先脱鞋、再脱衣、再去

20、除帽子和口罩），用衣架挂在规定的地方。脱去干净工作服今后，若需再进干净室时，仍需按进入干净室的序次进行人净。退出10K及其以下级别干净室时不需要经过空气吹淋。直接走旁通门退出10K干净室是赞成的。不能够穿干净工作服上洗手间及进入动力设施间、库房等非干净地域。54干净服管理制度干净服的管理包括：干净服采买和制作(含资料选择)、干净服使用管理、干净服的冲洗规定等。541干净服采买和制作干净服必定采用由专业厂家制作的合格产品。干净服必定满足工艺对干净/防静电等的全部要求。542干净工作服使用管理基根源则人员进入干净室第一由个人干净工作服专用柜或收纳处拿出干净工作服，若干净工作服还没有开封，需仔细切开

21、包装拿出衣饰，不沾带包装料碎屑。穿衣时，不要使衣服波及地板、桌子、椅子等物品，不要沾污袖子和裤腿下摆，姿势要保持直立，按从上至下顺序穿衣戴帽穿衣（分体干净服先上衣后裤子）穿鞋，必要时须设置专用的穿衣台。戴兜帽和帽子时要把头发全部遮住，头部紧紧地包在兜帽内。若不穿干净鞋而采用代用鞋套的临时措施，穿鞋套时要把裤腿下摆紧紧地裹在鞋套内。在不违反洁服使用管理基根源则前提下，生产线可细化出合用的和可操作性强的详尽规定。543干净服的冲洗规定干净服的冲洗若采用外协形式，冲洗公司应采用经察看合格的专业冲洗公司。干净服的冲洗液不得对干净服的性能有影响；干净服的面料冲洗后不同样意有脱丝、掉渣。冲洗后的衣物防静电

22、织物性能不应被破坏，若被破坏，应及时报废或降级使用，降级使用应有明显标志且严禁在有防静电要求的地域内使用。冲洗达成的干净服应进行可靠包装后运送及存放，防范与外界的交织污染。55干净室物流/干净室内设施及工器具管理制度551物流管理包括：进入干净室的物料准入制度，物料的清理和打扫规定、荒弃物管理制度等。为防范污染物带入干净室(区)，全部送入干净室(区)的各种物料、原辅料、设施、工器具包装资料等均需按要求进行外包装清理、吹净，有效地除去表面面的微粒。.优选文档在干净厂房内依照空气干净度等级、产品生产的要求设置必要的物料净化设施，包括外包装清理室，气闸室或传达窗(柜)等。物料在外包装清理室拆掉外包装

23、、装入干净容器内或当外包装不能够拆掉时，对其擦拭除去尘埃或采用其他除去污染物的方式对设施、容器工具进行干净办理，并使清理前后的物料以必然标志予以差异。干净地域的专用周转小车、周转盒必定有清楚的标志，与非干净周转小车有明显的区分表记，严禁混用。对清理外包装后的物料应经过气闸室或传达窗(柜)才能进入干净室(区)，气闸室或传达窗(柜)的作用与人员净化用气闸室相似，用于保持干净室的空气干净度和干净室内必定的压力。传达窗(柜)应满足以下要求。两侧门上设窗，能看见内部和两侧；保证两侧门不能够同时开启（可经过两侧门上设连锁装置或经过严格管理来实现）；传达窗内尺寸可适应搬运物料的大小及重量，气密性好并有必要的

24、强度；依照用途的不同可设置室内灯、杀菌设施。552干净室内设施及工器具管理包括：设施及工器具的搬入管理，打扫和干净规定，设施及工器具的退出管理等。工艺设施进入干净地域前，应早先明确运输路线，除去设施运输通道上的阻挡物，包括对活动干净围护板的拆卸，并作好隔断防范措施，尽可能防范破坏干净地域的环境；若设施搬入可能对生产造成污染，应提前安排局部停产配合设备搬入。隔断防范的设施必定保证严实可靠，能够有效控制污染物的扩散，并注意监控其圆满状态，若有破坏，及时维修使严实圆满。设施进入干净地域前，必定先在缓冲区（或缓冲地带）进行完整的干净和擦拭。在进行设施、资料搬运的过程中，要严格进行干净控制，设施进车间前

25、注意在干净缓冲区（或临时缓冲走廊）的有关干净工作。特别注意不得穿干净服经设施、资料通道门到户外，这样经过交织污染过的衣服、鞋套、帽子再次无任何措施又进入干净室，会造成干净室交织污染。在设施、资料搬运时期应尽可能防范退步接受可能出现的环境扰动，对人员、设施、资料净化管制应严格进行控制。必然要严格控制污染物扩散，特别是交织污染的现象，否则会有高效过滤器（HEPA）的污染损失，以及额外的干净清理花销。以以下图所示，在干净室赞成入口处设置干净缓冲/管制间，任何进入干净室内的物品必定经过缓冲间。物品进入干净室的流程。室外预干净传入缓冲区缓冲区内最后干净传入干净室内第一，室外、缓冲间（或临时缓冲走廊）、干

26、净室内各有一支搬运组（共三组）候命，这三组人员依照各自的环境身着不同样的衣饰：室外身着一般工作服，缓冲间内身着干净的衣饰并穿着鞋套，干净室内身着完满的干净服，带有口罩和手套等，这三组人互不能够进入其他人的工作地域。当有设施、物品需要运输时，第一室外组人员对物品进行预干净，尔后打开缓冲间室外侧的门（或设施预留进出外门），将物品传入缓冲区。必定保证，在打开缓冲间室外侧门（或设施预留进出外门）时，干净室侧的门处于关闭状态。缓冲区（或临时缓冲走廊）的那组人员对物品进行最后的干净，并用干净的干净布检测合格后，打开干净室侧的门，将物品传入干净室内。这样才规范的达成了物品传达和干净的过程。设施搬入达成并就位

27、后，马上清理设施地域的杂物、拆掉隔断防范措施、恢复生动干净围护板，并对设施搬入地域及周边地域进行完整的打扫和干净，使满足干净。拆掉隔断防范措施应注意控制防范交织污染，恢复生动干净围护板应保证围护结构的密闭性，密封压条要保证有效密封，胶密缝应恢复严实平展。.优选文档小型工器具搬入管理需要满足物流管理要求。大型工器具搬入管理可参照工艺设施搬入管理要求执行。设施自己的打扫和干净由生产部门及保养部门进行规定的编制及执行，但其可靠性必定满足干净要求。设施和大型工器具的退出与搬入管理近似，也应早先明确运输路线，除去设施运输通道上的阻挡物，包括对活动干净围护板的拆卸，并作好隔断防范措施，尽可能防范破坏干净地

28、域的环境；若设施退出可能对生产造成污染，应提前安排局部停产配合设施退出。设施和大型工器具退出后，马上清理设施地域的杂物、拆掉临时隔断防范措施、恢复生动干净围护板，并对设施退出地域及周边地域进行完整的打扫和干净，使满足干净。56干净室干净、打扫和灭菌管理制度561干净车间及干净车间走廊干净操作程序见下表：561-（A）干净车间干净操作程序工具吸尘器、防静电尘推、长软管、小毛刷、簸箕、防静电尘推布头、伸缩杆、梯子、防静电去尘布耗材防静电去尘剂、防静电干净剂。干净部位1、车间墙；2、门窗、文件柜、地面详尽操作方法1、用伸缩杆配合去尘布，自上而下，进行墙体干净，对污染较重的局部用去尘布沾取少量纯防静电

29、干净剂擦，用去尘布揩拭干净。2、用伸缩杆不方便的局部，应用梯子按同上的操作方法干净墙面（如柜子的上方）。3、墙面干净达成后，用吸尘器加软管吸取车间地面的粉尘，吸尘器应置车间的走廊上，软管进车间，吸尘扒头应从左到右，先远后近的地域进行吸尘，吸尘的地域不能够有间隔，省得漏吸（换鞋套）。4、吸尘达成后，用尘推依照吸尘的操作方法进行，局部污染较重的地方应用去尘布沾取少量纯防静电去尘剂，用湿去尘布干净，尔后用干防静电去尘布揩干。5、门窗内侧、柜子等附件的干净用去尘布配合防静电干净剂先上后下进行清理。6、整理工具，如期将吸尘器尘袋更换（地址：车间外）。7、车间内须回收的废料放置在防静电车上，从车间西门运至

30、成品库门口（通知外面保洁员接应），并分类集中至成品库内。8、车间垃圾详尽清理程序见后附文件。备注以上所用工具及耗材均应吻合威世公司要求规定。561-（B）干净车间走廊操作程序工具防静电尘推、擦地机、吸水器、长软管、扫帚、梯子、防静电去尘布、防静电尘推布头耗材防静电蜡、防静电干净剂、防静电去尘剂干净.优选文档部位1、墙面；2、门窗；3、消防设施；4、地面详尽操作方法1、A)用伸缩杆配合去尘布，自上而下，由左向右，进行墙体干净，对污染较重的局部用纯防静电干净剂，用去尘布揩拭干净。用伸缩杆不方便的局部，应用梯子按同上的操作方法干净墙面；对于石膏墙墙体用吸尘器自上而下吸取浮尘。2、用去潮尘布配合防静电

31、干净剂先上后下，由左至右进行清理。3、用无尘布由上侧、外侧及内面全部擦拭干净，整理好消防设施并检查有无破坏，圆满后把门关闭；4、用防静电尘推由一侧，依次推尘干净。打蜡程序用起蜡水先行起蜡，用吸水机吸净残蜡，用干净拖布脱水后拖净地面，等地面完整风干，再打防静电地板蜡（详尽方法和步骤详见562条）。备注以上所用工具及耗材均应吻合公司要求规定。正在干净的地域应设置标志牌，且干净工作不得与威世员工的正常工作矛盾。562地面打蜡的方法和程序5621需要准备的机器和工具、干净剂：洗地机；吸尘吸水机；抛光机；大面积作业需装备自动洗地机拖把、蜡拖、拖把扭干器、水推除蜡剂、中性多功能干净剂除蜡垫（黑色）、干净垫（红色、白色）、抛光垫（白色）5622若是地面已经打过蜡，且蜡面已失去光彩也许已经磨损出现斑驳和零散，在打蜡前就需要对干净室地面先进行除蜡。除