版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若内容存在侵权,请进行举报或认领
文档简介
1、设半导体制造工艺主编,机械工设计说明设半导体制造工艺主编,机械工设计说明3D 虚拟车间教学 ,整合数字化教学资源,模拟企业真实生产环境,营造学生 学习的氛围,优化教学过程。从而解决传统教学无法解决的教学难题,提作品特色:学习资源数字化有丰富的课件、动画、 等资源可供学生随时 查阅;学习过程任务化教师“做中教”,学生“做中学”,以学生为主体;学习工具 化运用 3D 虚拟车间,寓教于乐,激发学生学习 ;技能一、学习目标与内容1 学习目标2学习主要内容3D 虚拟车间”这一仿真 ,按照任务提示一3学习重点及难点教学难点:了解氧化设备结构和运行。4问题设计3学习重点及难点教学难点:了解氧化设备结构和运行
2、。4问题设计二、学习者特征分析、学习环境选择与学习资源设计1学习环境选择(打(4)2学习资源类型(打(1)件(2)工 (3)专站(4)(6)(8)仿三3学习资源内容3学习资源内容、学习情境创设1学习情境类型2学习情境设计五、教法学法设计教学方法:学习方法:四六、学习活动组织学习设计(打,并填写相关内容按教师设定的四个任务,自主探索完成氧化工艺操作,并观察设备运2协作学习设计(打,并填写相关内容六、学习活动组织学习设计(打,并填写相关内容按教师设定的四个任务,自主探索完成氧化工艺操作,并观察设备运2协作学习设计(打,并填写相关内容、学生按小组总结教师针对学生总结、学生按小组总结教师针对学生总结3
3、教学结构流程的设计环内教学过程设计意图教师活动学生活动准环内教学过程设计意图教师活动学生活动准课前查阅学生上传作。出 的时情1. 了解氧化工艺操作的环境1 展示两种硅片,引导学生观察颜 别,思考其净化车间 ,展3D工艺操作 。化层之后颜色会发生变净化车间 并思制造 3D 虚拟车间。了解 使用方法。 3D 虚拟车 习 ,创任学习氧化工艺流程和操作确定学习任点评学生作业, 多见任学习氧化工艺流程和操作确定学习任点评学生作业, 多见解各操作步骤顺序和注意下达学习任务,分为更衣、 、氧化、检测四个净化要求, 、氧化、检测各流程要求观察氧化设纠正作业中存在的错任氧化工艺流氧化工艺操作要领和注意完成更衣、 、氧化、检测四个工艺环节的操后在课程 上 企业果做错那就再次进行练设备运行情况,了解其依托 3D 虚难点 的 突评组织学生 考核。查看自己的成绩和用通过 考提评组织学生 考核。查看自己的成绩和用通过 考提延出错的操作继续七、学习评价设计1测试形式与工具(打(4)学2测试内容1.3D 2.运用 3D 虚拟车间开展工艺流程教学可以推广到本课程的光刻、刻蚀等工序的八1.3D 2.运用 3D 虚拟车间开展工艺流程教学可以推广到本课程的光刻、刻蚀等工序的八、板书设计及教学1.教学内容及板书
温馨提示
- 1. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等,如果需要附件,请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
- 3. 本站RAR压缩包中若带图纸,网页内容里面会有图纸预览,若没有图纸预览就没有图纸。
- 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
- 5. 人人文库网仅提供信息存储空间,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑,并不能对任何下载内容负责。
- 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容,请与我们联系,我们立即纠正。
- 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
最新文档
- 人教版四年级语文下册同步作业课件第4单元13.小英雄雨来-一课一练-课课练试卷
- 冀教版八年级下册《Lesson 38 The World Is a Big Place》同步练习
- 陕西省西安工业大学附属中学2024-2025学年高二上学期第一次月考数学试题(解析)
- 湖南省衡阳市衡阳县第四中学2024-2025学年高二上学期9月月考化学试题(解析版)
- 云南省昆明市(2024年-2025年小学四年级语文)人教版质量测试(下学期)试卷及答案
- 安徽省宿州市(2024年-2025年小学四年级语文)人教版能力评测(下学期)试卷及答案
- 江苏省南通市(2024年-2025年小学四年级语文)人教版综合练习((上下)学期)试卷及答案
- 重症监护室病人镇静镇痛的护理
- 《 论民事诉讼中的自由心证制度》
- 护理成组计划汇报
- 2024年三年级道德与法治下册 第三单元 我们的公共生活 9生活离不开规则教案 新人教版
- 2024年中国舞台演唱麦克风市场调查研究报告
- 2024-2030年电脑配件行业市场深度调研及前景趋势与投资研究报告
- 4 电磁铁(教学设计)-2023-2024学年六年级下册科学苏教版
- 2024年全国职业院校技能大赛高职组(体育活动设计与实施赛项)考试题库(含答案)
- (中级)航空油料特设维修员(四级)理论考试题库-上(单选题)
- 植物生理学(齐鲁师范学院)智慧树知到答案2024年齐鲁师范学院
- 2025届吉林省吉林大学附属中学高考生物一模试卷含解析
- 十二生肖属相知识范文
- 家政公司收费模板
- 射频导管消融治疗快速心律失常指南(修订版)
评论
0/150
提交评论