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文档简介

1、目 的 :使相关人员能了解无尘室环境的基础知识及无尘室管理规定,进而达成环境清净化之要求。无尘室常识及7S管理课 程 大 纲认识无尘室污染防制手法无尘室日常管理无尘室进出作业标准静电防制常犯问题点说明7S管理制度及含义(1)微尘脏污造成ITO蚀刻(2)微尘造成TP组合异物短路(3)微尘造成IC短路(4)微尘造成IC Bonding后变形短路微尘粒子的影响认 识 无 尘 室无 尘 室 之 演 进1958美国为发展太空科学开始作无尘室之研究1961完成空军之无尘室规格(100000级)1963 DEC美国联邦无尘室规格公布(F.S209)1966 AUG修正F.S 209A 增加设计及测试方法等1

2、0项1973 APR修正F.S 209B气流量及温湿度范围1977 MAY修正F.S 209B 增加1000级标准1987 OCT修正F.S 209C 增加10级与1级标准(1M DRAM问市)1988 JUN修正F.S 209D 标准1992 DEC修正F.S 209E 采取公制单位(Class M1-Class M7)无 尘 室 之 适 用 范 围工业用防尘室I.C.R(Industrial Clean Room)半导体、电子工业厂、光学机械、精密机械、航天生化及医药用防尘室B.C.R(Biological Clean Room)制药、医疗设施、生物实验室无 尘 室 的 构 造防尘室的主要

3、结构是通过空调机吸引外界的空气。空调机内部设置一般过滤器、中效能过滤器、高效能过滤器,用这种方式将灰尘及微子粒子去除。经过过滤的清净空气经过天花板上的出风口向室内吹入,型成气流使气流成为正压是很重要的。气流经过回风口(地板)、回风通道返回空调机内。室内的压力通过右上部的气压闸来控制调整。1.外部异物侵入防止(不带入)防尘室保持正压(0.5mm Aq 以上)工程管路不漏气、漏水原物料搬入前要清洁擦拭空气滤网适当设置与管理2.室内发尘源抑止(不产生)穿防尘衣生产线自动化人员不聚集设备发尘位置管理不使用易发尘材料3.室内尘埃不积蓄(不堆积)墙壁体力求光滑无死角以便于检视及清洁制程设备四周应留有空间防

4、尘室要定期清洁与保养4.产出的异物被排出(排除)足够的换气次数污染源直接排出室外空调的气流速度要适当无尘室的污染源防止四原则无尘室日常管理进入更衣室前需在门口脱鞋方可进入,不允许穿着拖鞋在更衣室内走动(违者每次罚款30元)。更衣室内地板,柜子顶端不允许随意乱丢手套,口罩等垃圾,违者每次罚款30元。领取手套,发帽,口罩等物品时,需按顺序排队领取。手套,发帽等物品需以破旧换新方可领取,如无破旧物品换新,则需以手套1元/双,发帽1元/个购买,否则不予发放。进入更衣室相关规定1.进入无尘室之工作人员须穿着合适之连体无尘衣服、鞋子、网帽,不可穿着过宽或过紧之连体无尘衣、鞋、网帽。2.穿着连体无尘衣、鞋、

5、网帽、口罩等,须依下列顺序进行(见无尘服穿戴步骤彩图)a、戴上口罩(钢丝线朝上,以手指按捏钢丝,使口罩与鼻梁密合(如下图)b、扎好头发,戴上网帽(头发不可露出,如下图)。c、穿着连体无尘衣(先拉上拉链,最后粘好颈部魔术贴)(如下图)。d、戴上手套(衣袖口须包住手套口)(如下图)。e、着装完成照镜检查服装仪容无尘衣穿戴标准1.戴上口罩,钢丝线朝上2.扎好头发,戴上网帽(头发不可露出 )3.穿着连体无尘衣(先拉上拉链,最后粘好颈部魔术贴) 4.穿上无尘鞋 无尘衣穿戴流程1.1步骤一:轻踩在海绵上沾湿鞋底。步骤二:沾湿的鞋底在刷子上来回刷三次,清洁鞋底脏污。清洁鞋底 进入风淋室、入口和出口的门不可同

6、时打开,进入风淋室以3人为上限(具体如风淋室要求),不得超过。、空气吹风未停止时,禁止将风淋室的门打开。、空气淋浴时, 须高举双手并转动身体, 以利灰尘吹除,吹净时间10S以上。、空气淋浴时,双脚须踩踏脚踏粘垫3次以上,以利清除鞋底灰尘、异物。、风淋室的吹气口不得任意调整。、风淋室入口门禁系统拆除,须恢复原始功能,入口门开,出口门须关闭。不能带入无尘室之物品1.没有经过清洁之器材设备或测定器等物品2.瓦楞纸箱、木材、铅笔、普通用纸、橡皮擦、立可白3.普通未经过特别处理之记录或笔记用纸张4.香烟、打火机、饮料、食品、泡泡糖、化妆品挥发性油剂或瓦斯罐等静 电 防 制任何物质在静止状态呈“电中性”,

7、但当不同带电的两个物体,彼此接触、摩擦或分离时就会产生静电,例如用布摩擦过的尺,可以吸起碎纸。若静电过大就会造成静电放电(Electrostatic Discharge简称ESD),会引起火花,甚至会引起暴炸。精密的半导体组件只要几百伏特的静电位,就会造成破坏。静 电 之 产 生各种物体经彼此摩擦后,由于电子移转率之不同,所产生之静电荷也就有大小之分,表中所列之物体,是按“摩擦电”的静电位大小而排列次序,愈在上位者,愈趋正电性,愈下愈趋负电性,当上、下两物体摩擦时,顺序差越远则所产生的静电荷越大。静 电 产 生 之 大 小1.物体接地 - 物体如果是导体,将其接地可以使静电流向打大地释出2.增

8、加环境湿度 - 非导电物体表面吸收水份,可以增加其导电性,藉以使静电释出,一般湿度应控制在40 60%RH3.在物体上涂抹带电防止剂 - 在非导电物体表面涂抹,使其成为有导电性4.物体在制造时增加导电材料 - 如 IC TRAY盘、静电袋5.使用静电消除器 - 可以产生正、负空气离子,来中和物体上之静电6.减少接触次数,动作速度放慢7.使用防静电之无尘衣8.穿戴静电手环或导电鞋静 电 防 制常 犯 问 题 点 说 明7S管理制度及“7S”活动的含义一、“7S”活动的含义/起源“7S”是整理(Seiri)、整顿(Seiton)、清扫(Seiso)、清洁(Seikeetsu)、素养(Shitsuk

9、e)、安全(safety)和速度/节约(speed/saving)这7个词的缩写。因为这7个词日语和英文中的第一个字母都是“S”,所以简称为“7S”,开展以整理、整顿、清扫、清洁、素养、安全和节约为内容的活动,称为“7S”活动。“7S”活动起源于日本,并在日本企业中广泛推行,它相当于我国企业开展的文明生产活动。“7S”活动的对象是现场的“环境”,它对生产现场环境全局进行综合考虑,并制订切实可行的计划与措施,从而达到规范化管理。“7S”活动的核心和精髓是素养,如果没有职工队伍素养的相应提高,“7S”活动就难以开展和坚持下去。二、“7S”活动的内容 (一)整理 把要与不要的人、事、物分开,再将不需

10、要的人、事、物加以处理,这是开始改善生产现场的第一步。其要点是对生产现场的现实摆放和停滞的各种物品进行分类,区分什么是现场需要的,什么是现场不需要的;其次,对于现场不需要的物品,诸如用剩的材料、多余的半成品、切下的料头、切屑、垃圾、废品、多余的工具、报废的设备、工人的个人生活用品等,要坚决清理出生产现场,这项工作的重点在于坚决把现场不需要的东西清理掉。对于车间里各个工位或设备的前后、通道左右、厂房上下、工具箱内外,以及车间的各个死角,都要彻底搜寻和清理,达到现场无不用之物。坚决做好这一步,是树立好作风的开始。日本有的公司提出口号:效率和安全始于整理! 整理的目的是:增加作业面积;物流畅通、防止

11、误用等。(二)整顿 把需要的人、事、物加以定量、定位。通过前一步整理后,对生产现场需要留下的物品进行科学合理的布置和摆放,以便用最快的速度取得所需之物,在最有效的规章、制度和最简捷的流程下完成作业。 整顿活动的目的是工作场所整洁明了,一目了然,减少取放物品的时间,提高工作效率,保持井井有条的工作秩序区。(三)清扫 把工作场所打扫干净,设备异常时马上修理,使之恢复正常。生产现场在生产过程中会产生灰尘、油污、铁屑、垃圾等,从而使现场变脏。脏的现场会使设备精度降低,故障多发,影响产品质量,使安全事故防不胜防;脏的现场更会影响人们的工作情绪,使人不愿久留。因此,必须通过清扫活动来清除那些脏物,创建一个

12、明快、舒畅的工作环境。 目的是使员工保持一个良好的工作情绪,并保证稳定产品的品质,最终达到企业生产零故障和零损耗。(四)清洁 整理、整顿、清扫之后要认真维护,使现场保持完美和最佳状态。清洁,是对前三项活动的坚持与深入,从而消除发生安全事故的根源。创造一个良好的工作环境,使职工能愉快地工作。 清洁活动的目的是:使整理、整顿和清扫工作成为一种惯例和制度,是标准化的基础,也是一个企业形成企业文化的开始。(五)素养 素养即教养,努力提高人员的素养,养成严格遵守规章制度的习惯和作风,这是“7S”活动的核心。没有人员素质的提高,各项活动就不能顺利开展,开展了也坚持不了。所以,抓“7S活动,要始终着眼于提高

13、人的素质。 目的:通过素养让员工成为一个遵守规章制度,并具有一个良好工作素养习惯的人。(六)安全 清除隐患,排除险情,预防事故的发生。 目的是保障员工的人身安全,保证生产的连续安全正常的进行,同时减少因安全事故而带来的经济损失。(七)节约 就是对时间、空间、能源等方面合理利用,以发挥它们的最大效能,从而创造一个高效率的,物尽其用的工作场所。 实施时应该秉持三个观念:能用的东西尽可能利用;以自己就是主人的心态对待企业的资源;切勿随意丢弃,丢弃前要思考其剩余之使用价值。 节约是对整理工作的补充和指导,在我国,由于资源相对不足,更应该在企业中秉持勤俭节约的原则。三、7S的适用范围 各企事业和服务行业

14、的办公室、车间、仓库、宿舍和公共场所以及文件、记录、电子本档,网络等的管理。 生产要素:人、机、料、法、环的管理;公共事务、供水、供电、道路交通管理;社会道德,人员思想意识的管理。 7S现场管理法: 7S活动起源于日本,并在日本企业中广泛推行,7S是整理(sort)、整顿(streighen)、清扫(sweep)、清洁(sanitary)、素养(sentiment)、 节约(save)、安全(safety)的简称:其具体含义和实施重点如下:整理: 就是彻底的将要与不要的东西区分清楚,并将不要的东西加以处理,它是改善生产现场的第一步。需对“留之无用,弃之可惜”的观念予以突破,必须挑战“好不容易才

15、做出来的”“丢了好浪费”“可能以后还有机会用到”等传统观念。经常对“所有的东西都是要用的”观念加以检讨。 整理的目的是:改善和增加作业面积;现场无杂物,行道通畅,提高工作效率;消除管理上的混放、混料等差错事故;有利于减少库存、节约资金。整顿: 把经过整理出来的需要的人、事、物加以定量、定位,简而言之,整顿就是人和物放置方法的标准化。整顿的关键是要做到定位、定品、定量。 抓住了上述几个要点,就可以制作看板,做到目视管理,从而提炼出适合本企业的东西放置方法,进而使该方法标准化。清扫: 就是彻底的将自己的工作环境四周打扫干净,设备异常时马上维修,使之恢复正常。 清扫活动的重点是必须按照决定清扫对象、

16、清扫人员、清扫方法、准备清扫器具,实施清扫的步骤实施,方能真正起到效果。 清扫活动应遵循下列原则: (1)、自己使用的物品如设备、工具等,要自己清扫而不要依赖他人,不增加专门的清扫工; (2)、对设备的清扫,着眼于对设备的维护保养,清扫设备要同设备的点检和保养结合起来; (3)、清扫的目的是为了改善,当清扫过程中发现有油水泄露等异常状况发生时,必须查明原因,并采取措施加以改进,而不能听之任之。清洁: 是指对整理、整顿、清扫之后的工作成果要认真维护,使现场保持完美和最佳状态。清洁,是对前三项活动的坚持和深入。清洁活动实施时,需要秉持三观念: (1)、只有在“清洁的工作场所才能产生高效率,高品质的

17、产品”; (2)、清洁是一种用心的行为,千万不要在表面下功夫; (3)、清洁是一种随时随地的工作,而不是上下班前后的工作。 清洁的要点原则是:坚持“3不要”的原则即不要放置不用的东西,不要弄乱,不要弄脏;不仅物品需要清洁,现场工人同样需要清洁;工人不仅要做到形体上的清洁,而且要做到精神的清洁。 素养: 要努力提高人员的素养,养成严格遵守规章制度的习惯和作风,素养是“7S”活动的核心,没有人员素质的提高,各项活动就不能顺利开展,就是开展了也坚持不了。节约: 就是对时间、空间、能源等方面合理利用,以发挥他们的最大效能,从而创造一个高效率的、物尽其用的工作场所。 实施时应该秉持三个观念:能用的东西尽可能利用;以自己就是主人的心态对待企业的资源;切勿随意丢弃,丢弃前

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