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文档简介

1、的生产设备布置图及简介(用 layout一图说明)1 预2 CF 生产线3 铝刻蚀线4 ITO 镀膜线5 检测设备显微镜,膜厚仪,分光计,长寸仪,关于各仪器的说明loader:升降输送机:用于将不同位置的基片框架中的玻璃(每个基片框架中有 20 片)自动送出并转移到玻璃机上,而且保证送出的玻璃位置、间隔恒定。6.2 铝膜蚀刻机:喷洒酸性腐蚀溶液到已并显影的带有铝反射膜的玻璃上(起保护作用的感光胶膜上已有图案),铝膜露出的地方与腐蚀液反应,从而形成需要的图案。6.3 缓冲:用于传送玻璃、改变玻璃运行方向、并且生产线出故障时可暂时玻璃的装置。6.4 铝膜去膜机:喷洒碱性有机溶液到已经过铝膜蚀刻后的

2、玻璃上,将铝膜上的一层起保护作用的感光物质掉,得到需要的只带有图案的铝反射膜的玻璃。6.5 铝膜坚膜电烘干机(TBAKE):用于烘干去膜后的带有图案的铝反射膜的玻璃,铝膜高温烘考后,铝膜表面性质改变,有利于后工序的生产。6.6 un-loader:用于将经过不同工序生产后半成品玻璃自动从生产线装填到基片框架上,并且保证装填我们设置的片数。检查出货(FQC)SiO2、ITO 镀膜机ITO机OC 后的玻璃Un-loadert bake 炉剥离机铝刻蚀机UV 机loaderMGVUn-loadert bake缓冲Pre-baket UV显影机机缓冲EBRVCD 干燥Spin coatingSlit缓

3、冲IR&CP机UV 机loaderMGVMGVUn-loader 的cassette预来料玻璃6.7 UV:于玻璃基板表面的有机物;减少后工序“残渣”缺陷的产生。6.8 涂胶前机:喷液将玻璃表面的灰尘等脏物干净,保证玻璃涂胶时不会因玻璃脏而产生缺陷。6.9 红外线烘干机(IR):后的玻璃经吹干后表面仍有水分,利用红外线将玻璃烘干,保证玻璃与所涂感光胶层的粘附性。6.10 缓冲及冷却:用于传送玻璃,改变玻璃方向,并且生产线出故障时可暂时玻璃的装置,另外红外线烘干后的玻璃温度较高,采用其带有的冷却板将玻璃降至室温。6.11 玻璃机:将玻璃基板上的部分区域感光胶,改变区域胶层的化学性质。区域的化学性

4、质不同,经显影液作用而6.12 显影机:喷洒显影液在后的玻璃上,因区域与未形成所要的图案。UV:将玻璃上的感光胶初步硬化,及让尚未完全反应的感光胶完全反应而变硬。6.136.146.156.166.17T TBAKE(CF):将玻璃上初步硬化的感光胶在此高温烘炉中完全反应、变硬。预终机:将最脏的来料玻璃,去除表面粉尘后再进入净化车间及正式的生产线,以免污染。机 CSG-4210R-FIN:镀完各种膜后的玻璃因要进行全检,有可能弄脏,进行后包装出货。光罩(MASK)机:用于机处形成图案的光罩的,以免因光罩脏而造成到玻璃上的图案有缺陷。机(CASSETTE):玻璃在装填或送出时与基片架摩擦,产生粉

5、尘,造成基片框架脏,在6.18基片框架此机器上基片框架,保证其清洁。:旋转涂胶机(SLIT 到 EBR)玻璃冷却后,被刮涂上一层感光胶 ,后经高速旋转将感光胶均匀地涂满整个玻璃表面,形成一层厚度均匀的膜。:玻璃镀膜机在各种颜色膜完成后,再在玻璃表面镀上二氧化硅膜和导电的氧化铟锡膜,最终得到色滤光片。所要的彩6.21:彩色滤光片机在各种颜色膜完成后,为防止污染,在镀二氧化硅膜和氧化铟锡膜前再次避免在最后工序形成废品。6.22 高温试验炉(PVHC-231),保证玻璃绝对干净,用于彩色滤光片玻璃高温烘烤试验,验证其高温时各种膜层与玻璃或各层膜间粘附的可靠性,保证其在高温工作时的可靠性。6.23 冷

6、热冲击试验炉(TSE-11-A)用于检测彩色滤光片玻璃的各种膜层与玻璃或各层膜间耐冷热温度冲击时的粘附性能,保证其在高低温工作时的可靠性。6.24 高低温交变湿热试验炉(PL-2KPH)用于在温度和湿度不断变化的情况下对彩色滤光片玻璃的各种膜层与玻璃或各膜层间粘附性能的检查,保证其在高低温,高低湿度及他们不断变化时工作的可靠性。6.25 光学膜厚测试仪(FP-20A)因玻璃上所加的各种膜的厚度要严格控制,其用于生产过程中测量玻璃上镀膜的厚度。分光色度仪(LCF2100)测量颜色在 NTSC 坐标系中的色度坐标值(x , y , Y )及铝膜的反射率。检查用高压 灯(绿灯)、低压钠灯(黄灯)、白色荧光灯在各种灯下易于检查到彩色滤光片的缺陷,挑出废品。二的生产流程(用图说明)1 全透产品(使用无铝膜的玻璃)涂 BM 胶显影t UVt bake涂 R 胶TBAKE全面型OCITO 镀膜显影G、B 、OC(显

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