XPS分析元素的含量的方法

1、XPS数据分析纵坐标：Intensity(cps)横坐标：bindingenergy(eV)除了氢氦元素，其他的元素都可以进行分析；先进行宽扫，确定样品有何种元素，再对该元素进行窄扫。该元素的不同键接方式都对应不同的峰，所以对元素窄扫的峰要进行分峰(分峰之前要进行调整基线)。如何分峰，不同的键接方式会对应不同的结合能。第一步：先把元素的窄扫峰用origin画出来；纵坐标：Intensity(cps)横坐标：bindingenergy(eV)第二步：调整基线：nrr-junMUI3widi,inTaalni1Frtfanpgnal*”：!IPO&濟存选择CeateBaselinenextnext

2、add/modify添加(双击)或去除(delete)基点，保证基线水平Finish最小化图，会出现调整基线后的坐标。插入一列，单机右键选择setcolumnvalues输入col(b)-col(d)：即开始纵坐标减去调整基线后的纵坐标。再用横坐标与刚开始得到的纵坐标作图-调整基线后的XPS窄扫图。第三步：对峰求积分面积；Ddli/i汨士訂!icm1*1*；CMiticmCi400003500030000-250003)000-1&000-10000-WOO-S2452652S530532S34S36539Ftflcdcdtata*bMkn.liadandoEiiHJiiepwokrGm磺IM

3、gn曲Fe曲CCmt&EI涸幔QRkIFfd-.iSin=ui&nilBET,sEssLHLL-50Qnt选择integratepeaksnext狂点元成即area为峰的面积。第四步：分峰较难（有专门的分峰软件，origin也能分峰）第五步：求组分元素比：元素比等于：窄扫峰面积/XPS灵敏度因子（每一个元素的灵敏度因子不一致）表3原子灵戦度阂子袅2元翥配tH本丈VOPHI；MgKa)呂ft立VGPHIMgKaAiZIaMg皿AlKa314u0-0170,M0*0121：503d5/E3.7S3.TO4,80S204為uO.OtiS0-05HDJ0,俪51BdS/a4,OT4.010-7035!

4、；5B1Btj.wr仇200加333dS/34.374.315.1J406GIs。罰52E皿00+2135段IM5/24.6ti4.朋5.01447NIf0屈Q.4710P410.3E54y斂炉8&004：.EMiQ.504師0R5MM5Z3筑船谿I5500.720.71O.fll0.633613d5/35-045.C4ff,83C19F女1.001.W1,001.0057MS/2&.CO5矽6.35打710XsIf1,351.91.501-M如1.A31.J512211Nsi.fld12.5153Ob3d10.9lD.fl旧5訪0.13曲1.572.0BO.M129MgLj0.1J&甜iJr3dU.d11.21402p0.U0.10Q,OT4ds.u2.21-13呂1JAJ2pD.I30.1GO.JO0.11閃Nd3rf12.4U.S15714朗2p0.27030.170.17钿3.332.3814615F即0.380.35t,SB0.25Pm3d15L012.fl176川Ep0.530-490闕讥铝4d5.3；乱閃J5717m3?0r7DtLifl0”他购6mfkiIB.320313Ar朗3/20.600,5?O.BB罠曲4dS.512,71J備19K2j)9/20.7D.7S.H50祐63Bn3fiM.S23B0a2pS/30.93O.f