半导体设备国产化率持续提升

1、晶圆制造环节景气度较高，半导体设备需求有望维持较高水平台积电 Q2 业绩高增验证行业景气度，新能源需求持续快速放量受益新能源汽车、HPC、IoT 等行业需求旺盛，全球半导体销售额延续快速增长。1）全球：2022 年 1-5 月半导体销售额累计为 2541 亿美元，同比+23%；其中 2022 年 5月为 518 亿美元，同比+18%，延续高速增长。2）中国大陆：2022 年 1-5 月半导体销售额累计为 843 亿美元，同比+17%，其中 1 月-5 月分别同比+24%、+22%、+17%、+13%和+9%，3-5 月份增速有明显下降，我们判断主要系上海等地疫情短期拖累所致。图1：2022 年

2、 5 月全球半导体销售额同比+18%图2：2022 年 5 月中国大陆半导体销售额占比为 33%亚太/其他地区中国大陆日本欧洲美洲6050403020100亚太/其他地区中国大陆日本欧洲美洲100%90%80%70%60%50%40%30%20%10%0%东吴证券研究所数据来源：SIA，（单位：十亿美元）数据来源：SIA，台积电 Q2 业绩接近指引上限，再次验证全球半导体行业依旧较高的景气度。1）收入端：2022Q2 台积电实现营业收入 181.6 亿美元，同比+36.6%，接近指引值（176-182亿美元）上限。2）利润端：2022Q2 台积电实现净利润 80.6 亿美元，同比+67.9%（

3、“美元”口径），实现大幅增长，盈利水平明显提升。2022Q3 台积电营业收入指引为 198-206亿美元，将创单季度历史新高，足以反映出全球半导体行业较高的景气度。4 / 21图3：2022Q2 台积电营业收入同比+36.6%图4：2022Q2 台积电净利润同比+67.9% 净利润（亿美元）同比（%）908070605040302010080%70%60%50%40%30%20%10%0%营业收入（亿美元）同比（%）20018016014012010080604020040%35%30%25%20%15%10%5%0% 数据来源：台积电公告，（注：同比增速为“美元”计算口径）数据来源：台积电公

4、告，（注：同比增速为“美元”计算口径）全球范围内来看，智能手机、HPC 领域仍为半导体行业主要需求终端，汽车电子行业需求正在持续快速放量。微观层面来看，若以台积电收入构成为指引：1）2022Q2台积电对智能手机、HPC（高性能计算，包含 CPU、GPU 等）行业的收入占比分别为 38%和 43%，构成收入主体，仍是半导体行业主要需求来源。2）2020Q4 以来台积电对汽车电子行业收入持续增长，2020Q4-2022Q2 环比增速分别为+27%、+31%、+12%、+5%、+10%、+26%和+14%，市场需求持续旺盛，已经成为半导体行业增长重要驱动力。图5：2022Q1 台积电智能手机行业收入

5、占比约 40%图6：2020Q4 以来汽车电子行业收入环比持续增长100%90%80%70%60%50%40%30%20%10%0%其他DCE汽车电子IoTHPC智能手机30% 33% 37% 31% 35% 39% 37% 37% 41% 43%49% 47% 46% 51% 45% 42% 44% 44% 40% 38%20Q1 20Q2 20Q3 20Q4 21Q1 21Q2 21Q3 21Q4 22Q1 22Q250%40%30%20%10%0%-10%-20%-30%20Q120Q220Q320Q421Q121Q221Q321Q422Q122Q2数据来源：台积电公告，数据来源：台积电

6、公告，（注：纵轴为“QoQ”收入环比增速）对于中国大陆晶圆厂而言，智能手机（电子消费品）行业仍为主要收入来源。1）中芯国际：2022Q1 对智能手机行业收入占比约 28.7%，较 2020Q1（48.3%）明显下降； 2）华虹半导体：2022Q1 对电子消费品行业收入占比为 66.3%，占据过半份额。5 / 21图7：2022Q1 中芯国际智能手机行业收入占比约 29%图8：2022Q1 华虹半导体电子消费品行业收入占比 66%100%90%80%70%60%50%40%30%20%10%0%其他消费电子智能家居智能手机48.3% 46.7% 46.1%36.7% 35.2% 31.6% 31

7、.5% 31.2% 28.7%20Q1 20Q2 20Q3 20Q4 21Q1 21Q2 21Q3 21Q4 22Q1100%90%80%70%60%50%40%30%20%10%0%计算机通讯工业及汽车电子消费品61.8% 59.3% 62.7% 63.0% 62.0% 63.7% 62.2% 66.1% 66.3%20Q1 20Q2 20Q3 20Q4 21Q1 21Q2 21Q3 21Q4 22Q1 数据来源：中芯国际公告，数据来源：华虹半导体公告，短期来看，对于电子消费品等半导体主要需求终端，本土市场增长略有承压。1）智能手机：2022 年 3-6 月份我国智能手机产量累计为 4.09

8、 亿台（1-2 月份无统计数据），同比-1.6%，略有下降；其中 6 月份产量为 1.05 亿台，同比-7%。2）平板电脑：2022 年1-5 月份我国平板电脑累计销量约 440 万件，同比+0.5%，其中 5 月份实现销售 85 万件，同比+2%，略有增长。3）笔记本电脑：2022 年 1-5 月份我国笔记本电脑累计销量约 540万件，同比-20%，其中 5 月份销量约 95 万件，同比-13%，降幅收窄。4）智能手表：2022 年 3-5 月份我国智能手表累计产量 1500 万个（1-2 月份无统计数据），同比+0.85%，其中 5 月份产量约 572 万个，同比+14%。图9：2022

9、年 6 月我国智能手机产量同比-7%图10：2022 年 5 月我国平板电脑销量同比+2% 180160140120100806040200产量:智能手机:当月值（百万台）同比（%）30%25%20%15%10%5%0%-5%-10%-15%250200150100500销售量:平板电脑/MID（万件）同比（%)100%80%60%40%20%0%-20%-40%-60%东吴证券研究所数据来源：Wind，数据来源：Wind，6 / 21图11：2022 年 5 月我国笔记本电脑销量同比-13%图12：2022 年 5 月我国智能手表产量同比+14%300250200150100500销售量:笔

10、记本电脑（万件）同比（%）100%80%60%40%20%0%-20%-40%10009008007006005004003002001000产量:智能手表:当月值（万个）同比（%）30%20%10%0%-10%-20%-30%东吴证券研究所数据来源：Wind，数据来源：Wind，然而，新能源等下游需求持续旺盛驱动下，我们判断短期中国大陆半导体市场需求仍有望稳健增长，2022 年行业景气度不必悲观。据中国汽车工业协会数据，2022 年 6月我国新能源汽车销量、产量分别为 59.6 和 59.0 万辆，分别同比+133%和+138%；2022年 1-6 月累计销量、产量分别为 259.1 和 2

11、65.3 万辆，分别同比+117%和+118%，依旧旺盛，对半导体需求持续大幅提升，是半导体行业持续增长的重要驱动力。图13：2022 年 6 月我国新能源汽车销量同比+133%图14：2022 年 6 月我国新能源汽车产量同比+138%销量:新能源汽车:当月值（万辆）706050403020100同比(%)800%700%600%500%400%300%200%100%0%-100%-200%产量:新能源汽车:当月值（万辆）同比（%）701400%601200%501000%40800%600%30400%20200%100%0-200%数据来源：中国汽车工业协会，数据来源：中国汽车工业协会

12、，晶圆厂资本开支仍处于高位，半导体设备需求维持在较高水平受益汽车电子&IoT 等行业高景气，2021 年全球半导体设备销售额达历史最高点，中国大陆半导体产业重心趋势愈发凸显。从行业增速来看，2021 年全球&中国大陆半导体设备销售额分别为 1026 和 296 亿美元，2012-2021 年 CAGR 分别为 12%和 32%； 2022Q1 中国大陆半导体设备销售额达到 75.7 亿美元，同比+27%，延续高速增长，明显7 / 21高于全球增速（+5%）；从全球占比来看，2012 年中国大陆半导体设备销售额全球占比仅为 7%，2022Q1 年快速上升至 30.6%，产业重心趋势越发明显。图1

13、5：2022Q1 全球半导体设备销售额同比+5%图16：2022Q1 中国大陆半导体设备销售额同比+27% 120010008006004002000全球半导体设备销售额（亿美元）yoy50%40%30%20%10%0%-10%-20%350300250200150100500中国大陆半导体设备销售额（亿美元）yoy70%60%50%40%30%20%10%0%数据来源：SEMI，数据来源：SEMI，高基数背景下，市场普遍担心半导体行业景气度拐点向下，下游客户资本开支下降，对半导体设备需求放缓。然而，我们认为，晶圆产能东移背景下，本土晶圆厂开工率依旧较高，封测厂稼动率存在分化趋势，先进封装、汽

14、车电子等领域依旧供不应求，2022年下游客户资本开支仍有保障，半导体设备的需求有望维持在较高水平。中国大陆晶圆厂开工率依旧较高，产能利用率超 100%。1）中芯国际：2022Q1 产能利用率达到 100.4%，同比+1.7pct，环比+1.0pct；2）华虹半导体：2022Q1 产能利用率达到 106%，同比+1.8pct，环比+0.6pct；其中 12 英寸和 8 英寸产能利用率分别为 103.9%和 107.7%，分别同比+0.1pct、+3.4pct，分别环比+1.4pct、+0.2pct。由此可见，晶圆产能东移背景下，中国大陆晶圆厂产能普遍吃紧，扩产动力依旧较为充足。图17：2022Q

15、1 中芯国际产能利用率达到 100.4%图18：2022Q1 华虹半导体产能利用率达到 106.0%100.4%100.3%100.4%98.8%98.5%98.6%98.7%99.4%97.8%95.5%102%产能利用率（%）120%200nm300nm总体110.9%120%100%98%96%94%92%90%100%80%60%40%20%0%82.4%93.4%109.5%95.8%99.0%104.2%105.4%106.0%100%80%60%40%20%0%数据来源：中芯国际公告，数据来源：华虹半导体公告，8 / 21在半导体行业需求景气度较高，晶圆产能吃紧的背景下，下游资本

16、开支仍处于高位。具体来看：1）台积电：2022Q2 资本性支出达到 73.4 亿美元，同比+23%；2022 年全年资本开支预计为 400-440 亿美元，同比+33%-+46%；2）中芯国际：2022Q1 资本性支出达到 8.69 亿美元，同比+63%。下游半导体企业持续性高资本开支，对半导体设备的需求度依旧较高，行业景气度有望延续。图19：2022Q2 台积电资本性支出同比+23%图20：2022Q1 中芯国际资本性支出同比+63%1009080706050403020100资本性支出（亿美元）同比200%25150%20100%1550%0%10-50%5-100%0资本性支出（亿美元）

17、同比1200%1000%800%600%400%200%0%-200%东吴证券研究所数据来源：台积电公告，数据来源：中芯国际公告，晶圆厂招标追踪：下游招标快速推进，1-6 月国产化率约 35%招标量：1-6 月份合计完成招标 588 台，积塔半导体贡献 6 月主要增量我们以 2022 年以来规模化公开招标的 5 家晶圆厂为统计标本，包括华虹半导体（无锡）、积塔半导体、福建晋华、华力集成和华虹宏力，统计口径为“最终中标公告时间”。据我们不完全统计：1）整体来看，2022 年 1-6 月份 5 家晶圆厂合计完成半导体设备招标 588 台，其中 1-6 月份分别完成招标 57、8、171、178、1

18、06 和 68 台，6 月份招标完成量有望放缓。2）细分设备来看，2022 年 1-6 月份薄膜沉积设备、刻蚀设备、检测/量测设备、炉管设备招标完成量较大，5 家晶圆厂分别合计完成招标 96、80、69 和 93 台，占比分别为 16%、14%、12%和 16%。3）细分晶圆厂来看，2022 年 1-6 月份华虹无锡、积塔半导体、福建晋华分别完成招标 334、225 和 23 台，招标力度较大。9 / 21东吴证券研究所图21：2022 年 1-6 月份 5 家晶圆厂合计完成招标 588 台设备1月2月3月4月5月6月1-6月合计占比光刻设备611140132%涂胶显影设备2011330193

19、%薄膜沉积设备2413372569616%刻蚀设备003033988014%CMP设备904151203%清洗设备22134210336%离子注入设备709529325%检测/量测设备0121361016912%测试设备0172267437%炉管设备502557429316%去胶机0127217295%剥离设备0010000102%刷片机00090092%其他设备21153147427%合计57817117810668588100%数据来源：中国国际招标网，（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台）华虹无锡：2022 年 1-6 月份合计完成招标 334 台，1-6 月份分别完成招标

20、 52、0、143、88、42 和 9 台，6 月份明显放缓。细分设备来看，薄膜沉积设备、刻蚀设备、检测/量测设备和炉管设备占比较高，1-6 月份合计分别完成招标 58、51、47 和 44 台。图22：2021 年 1-6 月份华虹半导体（无锡）共完成招标 334 台设备1月2月3月4月5月6月1-6月合计占比光刻设备6172%涂胶显影设备993%薄膜沉积设备2332215817%刻蚀设备2917415115%CMP设备941144%清洗设备121134%离子注入设备79165%检测/量测设备202344714%测试设备26268%炉管设备5102814413%去胶机271103%剥离设备1

21、0103%刷片机441%其他设备21463257%合计52014388429334100%数据来源：中国国际招标网，（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台）积塔半导体：2022 年 1-6 月份合计完成招标 225 台，1-6 月份分别完成招标 1、6、25、81、57 和 55 台，4 月份以来招标力度明显加大。细分来看，薄膜沉积设备、刻蚀设备和炉管设备招标占比较高，1-6 月份合计分别完成招标 34、27 和 46 台。10 / 21东吴证券研究所图23：2022 年 1-6 月份积塔半导体共完成招标 225 台设备1月2月3月4月5月6月1-6月合计占比光刻设备11463%涂

22、胶显影设备13373%薄膜沉积设备172243415%刻蚀设备114572712%CMP设备1563%清洗设备11429178%离子注入设备49136%检测/量测设备1841146%测试设备1727178%炉管设备152924620%去胶机1214178%剥离设备00%刷片机552%其他设备1384167%合计1625815755225100%数据来源：中国国际招标网，（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台）福建晋华：2022 年 1-6 月份合计完成招标 23 台，其中 1-6 月份分别完成招标 2、1、3、8、6 和 3 台，小批量招标持续。细分设备类型来看，检测/量测设备、涂

23、胶显影设备、薄膜沉积设备招标完成量较大，1-6 月份合计分别完成招标 8、3 和 3 台。图24：2022 年 1-6 月份福建晋华共完成招标 23 台设备1月2月3月4月5月6月1-6月合计占比光刻设备00%涂胶显影设备21313%薄膜沉积设备111313%刻蚀设备114%CMP设备00%清洗设备00%离子注入设备1129%检测/量测设备152835%测试设备00%炉管设备21313%去胶机229%剥离设备00%刷片机00%其他设备114%合计21386323100%数据来源：中国国际招标网，（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台）11 / 21东吴证券研究所国产化率：1-6 月

24、份达到 35%，涂胶显影&刻蚀等环节表现优异国产化率方面，2022 年 1-6 月份 5 家晶圆厂合计完成国产设备招标 205 台，国产化率约 35%；其中 1-6 月份分别合计完成国产设备招标 4、5、36、66、52 和 45 台，国产化率分别为 7%、63%、21%、37%、49%和 66%。细分设备来看，涂胶显影设备、刻蚀设备、CMP 设备、炉管设备、去胶机、剥离设备、刷片机国产化率较高，1-6 月份合计国产化率分别为 37%、50%、45%、35%、86%、60%和 56%。（注：在详细统计中，我们将二手、翻新&外贸业务厂商的中标结果也记入“国产设备”，故理论上本文的国产化率统计值偏

25、高）图25：2022 年 1-6 月份 5 家晶圆厂完成招标设备国产化率为 35%1月2月3月4月5月6月1-6月合计光刻设备国产中标数量000011国产化率0%0%0%0%25%8%涂胶显影设备国产中标数量20237国产化率100%0%15%100%37%薄膜沉积设备国产中标数量016119330国产化率0%100%18%14%76%50%31%刻蚀设备国产中标数量4253840国产化率13%76%33%100%50%CMP设备国产中标数量040509国产化率0%100%0%100%0%45%清洗设备国产中标数量22301914国产化率100%100%23%0%50%90%42%离子注入设备

26、国产中标数量011103国产化率0%11%20%50%0%9%检测/量测设备国产中标数量021418国产化率0%10%3%40%100%12%测试设备国产中标数量000044国产化率0%0%0%0%57%9%炉管设备国产中标数量08222133国产化率0%32%39%50%50%35%去胶机国产中标数量10721525国产化率100%0%100%100%88%86%剥离设备国产中标数量66国产化率60%60%刷片机国产中标数量55国产化率56%56%其他设备国产中标数量012211420国产化率0%100%13%67%79%57%48%合计国产中标数量4536665245205国产化率7%63

27、%21%37%49%66%35%数据来源：中国国际招标网，（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台）华虹无锡：2022 年 1-6 月份合计完成国产设备招标 61 台，国产化率为 18%；其中 3-6 月份分别完成国产设备招标 35、20、4、2 台，国产化率分别为 24%、23%、10%、22%。细分设备来看，刻蚀设备、CMP 设备、清洗设备、炉管设备、去胶机、剥离设备国产化率较高，1-6 月份合计国产化率分别为 33%、29%、15%、20%、80%和 60%。12 / 21东吴证券研究所图26：2022 年 1-6 月份华虹半导体（无锡）完成招标设备国产化率为 18%1月2月3

28、月4月5月6月1-6月合计光刻设备国产中标数量000国产化率0%0%0%涂胶显影设备国产中标数量00国产化率0%0%薄膜沉积设备国产中标数量06006国产化率0%19%0%0%10%刻蚀设备国产中标数量4120117国产化率14%71%0%100%33%CMP设备国产中标数量0404国产化率0%100%0%29%清洗设备国产中标数量202国产化率17%0%15%离子注入设备国产中标数量011国产化率0%11%6%检测/量测设备国产中标数量2002国产化率10%0%0%4%测试设备国产中标数量00国产化率0%0%炉管设备国产中标数量08109国产化率0%80%4%0%20%去胶机国产中标数量07

29、18国产化率0%100%100%80%剥离设备国产中标数量66国产化率60%60%刷片机国产中标数量00国产化率0%0%其他设备国产中标数量02406国产化率0%14%67%0%24%合计国产中标数量035204261国产化率0%24%23%10%22%18%数据来源：中国国际招标网，（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台）积塔半导体：2022 年 1-6 月份合计完成国产设备招标 135 台，国产化率高达 60%；其中 4-6 月份分别完成国产设备招标 42、47 和 42 台，国产化率分别为 52%、82%和76%。细分设备来看，薄膜沉积设备、刻蚀设备、清洗设备、CMP 设备、

30、去胶机、刷片机国产化率较高，1-6 月份合计国产化率分别为 68%、81%、71%、83%、100%和 100%。特别地，6 月份积塔半导体完成 9 台清洗设备招标，全部来自创微微电子（常州）（捷佳伟创的间接全资子公司）。13 / 21东吴证券研究所图27：2022 年 1-6 月份积塔半导体完成招标设备国产化率为 60%1月2月3月4月5月6月1-6月合计光刻设备国产中标数量0011国产化率0%0%25%17%涂胶显影设备国产中标数量0134国产化率0%33%100%57%薄膜沉积设备国产中标数量0119323国产化率0%14%86%75%68%刻蚀设备国产中标数量0123722国产化率0%

31、86%60%100%81%CMP设备国产中标数量055国产化率0%100%83%清洗设备国产中标数量1101912国产化率100%100%0%50%100%71%离子注入设备国产中标数量000国产化率0%0%0%检测/量测设备国产中标数量00415国产化率0%0%100%100%36%测试设备国产中标数量00044国产化率0%0%0%57%24%炉管设备国产中标数量021223国产化率0%72%100%50%去胶机国产中标数量121417国产化率100%100%100%100%剥离设备国产中标数量国产化率刷片机国产中标数量55国产化率100%100%其他设备国产中标数量127414国产化率10

32、0%67%88%100%88%合计国产中标数量031424742135国产化率0%50%4%52%82%76%60%数据来源：中国国际招标网，（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台）福建晋华：2022 年 1-6 月份合计完成国产设备招标 9 台，国产化率约 39%；其中 1-6 月份分别完成国产设备招标 2、1、0、4、1、1 台，国产化率分别为 100%、100%、 0%、50%、17%和 33%。细分设备来看，2022 年 1-6 月份涂胶显影设备和刻蚀设备分别合计完成招标 3、1 台，国产化率均为 100%。14 / 21东吴证券研究所图28：2022 年 1-6 月份福建

33、晋华完成招标设备国产化率为 39%1月2月3月4月5月6月1-6月合计光刻设备国产中标数量国产化率涂胶显影设备国产中标数量213国产化率100%100%100%薄膜沉积设备国产中标数量1001国产化率100%0%0%33%刻蚀设备国产中标数量11国产化率100%100%CMP设备国产中标数量国产化率清洗设备国产中标数量国产化率离子注入设备国产中标数量112国产化率100%100%100%检测/量测设备国产中标数量0101国产化率0%20%0%13%测试设备国产中标数量国产化率炉管设备国产中标数量011国产化率0%100%33%去胶机国产中标数量00国产化率0%0%剥离设备国产中标数量国产化率刷

34、片机国产中标数量国产化率其他设备国产中标数量00国产化率0%0%合计国产中标数量2104119国产化率100%100%0%50%17%33%39%数据来源：中国国际招标网，（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台）部分本土半导体设备企业中标明细汇总国产替代浪潮下，本土半导体设备龙头表现突出。据我们不完全统计，在上述 5 家晶圆厂招标中，本土部分主要半导体设备企业的中标情况如下所示：1）北方华创：2022 年 1-6 月份完成中标 55 台，其中 3 月份中标华虹无锡 13 台，4-5 月份中标积塔半导体 42 台，以薄膜沉积设备、炉管设备、刻蚀设备等为主。2）中微公司：2022 年

35、1-6 月份完成中标 21 台，包括 4 月份华虹无锡 12 台，5 月份积塔半导体 1 台，6 月份华虹无锡 1 台、积塔半导体 7 台，全部为刻蚀设备。3）芯源微：2022 年1-6 月份完成中标 12 台，包括 5 台涂胶显影设备，5 台刷片机和 2 台清洗设备；4）拓荆科技：2022 年 1-6 月份完成中标 14 台薄膜沉积设备，其中 3 月份中标华虹无锡 3 台，5 月份中标积塔半导体 11 台；5）华海清科：2022 年 1-6 月份完成中标 8 台 CMP 设备，其中 3 月份中标华虹无锡 3 台，5 月份中标积塔半导体 5 台。（注：中标公告统计范围均仅限上述 5 家晶圆厂，

36、公开信息汇总更新不及时可能存在误差）15 / 21东吴证券研究所图29：2022 年 1-6 月份本土部分半导体设备企业中标情况汇总客户名称中标公告时间项目编号制造公司设备种类详细设备数量北方华创华虹（无锡）2022/3/160613-214022126196/02北京北方华创微电子装备有限公司薄膜沉积设备物理气相薄膜沉积设备（钛、氮化钛、氮化钽和铝铜）12022/3/160613-214022126353/04北京北方华创微电子装备有限公司薄膜沉积设备金属氮化钛溅射掩膜层设备22022/3/160613-214022216458/01北京北方华创微电子装备有限公司炉管设备合金退火炉（前道）2

37、2022/3/160613-214022216458/01北京北方华创微电子装备有限公司炉管设备合金退火炉（后道）42022/3/160613-214022126356/03北京北方华创微电子装备有限公司刻蚀设备多晶栅等离子体刻蚀机22022/3/160613-214022126356/03北京北方华创微电子装备有限公司刻蚀设备有源区等离子体刻蚀机2积塔半导体2022/4/254197-2140SHJT0001/104北京北方华创微电子装备有限公司刻蚀设备金属等离子刻蚀机72022/4/254197-2140SHJT0001/104北京北方华创微电子装备有限公司刻蚀设备多晶硅刻蚀机52022/

38、4/264197-2140SHJT0001/105北京北方华创微电子装备有限公司炉管设备高温推进氧化膜立式炉管12022/4/264197-2140SHJT0001/105北京北方华创微电子装备有限公司炉管设备场氧化立式炉管112022/4/264197-2140SHJT0001/105北京北方华创微电子装备有限公司炉管设备退火工艺立式炉管32022/4/264197-2140SHJT0001/105北京北方华创微电子装备有限公司炉管设备合金工艺常压立式炉管42022/4/264197-2140SHJT0001/105北京北方华创微电子装备有限公司炉管设备Polyimide curing工艺立

39、式常压炉管22022/5/104197-2140SHJT0001/106北京北方华创微电子装备有限公司薄膜沉积设备铝铜金属溅射设备22022/5/104197-2140SHJT0001/106北京北方华创微电子装备有限公司薄膜沉积设备厚铝铜金属溅射设备22022/5/104197-2140SHJT0001/331北京北方华创微电子装备有限公司炉管设备合金化工艺低压立式炉管12022/5/104197-2140SHJT0001/331北京北方华创微电子装备有限公司炉管设备缓冲层氧化膜炉管12022/5/104197-2140SHJT0001/331北京北方华创微电子装备有限公司刻蚀设备铝刻蚀机1

40、2022/5/104197-2140SHJT0001/331北京北方华创微电子装备有限公司清洗设备晶圆回收单片清洗机（铜）12022/5/104197-2140SHJT0001/331北京北方华创微电子装备有限公司薄膜沉积设备铝金属物理气相沉积机1合计55中微公司华虹（无锡）2022/4/70613-214022126356/04中微半导体设备（上海）股份有限公司刻蚀设备钝化膜等离子体刻蚀机12022/4/70613-214022126356/04中微半导体设备（上海）股份有限公司刻蚀设备钝化膜等离子体刻蚀机22022/4/70613-214022126356/04中微半导体设备（上海）股份有

41、限公司刻蚀设备氧化膜等离子体刻蚀机22022/4/70613-214022126356/04中微半导体设备（上海）股份有限公司刻蚀设备氧化膜等离子体刻蚀机32022/4/70613-214022126356/04中微半导体设备（上海）股份有限公司刻蚀设备氧化膜等离子体刻蚀机22022/4/70613-214022126356/04中微半导体设备（上海）股份有限公司刻蚀设备氮化硅等离子体刻蚀机22022/6/300613-224022120817/03中微半导体设备（上海）股份有限公司刻蚀设备氧化膜离子刻蚀设备1积塔半导体2022/5/304197-2140SHJT0001/332南昌中微半导体

42、设备有限公司刻蚀设备通孔/深隔离槽/钝化层介质层刻蚀机12022/6/214197-2140SHJT0001/128南昌中微半导体设备有限公司刻蚀设备钝化层等离子刻蚀机7合计21芯源微积塔半导体2022/4/194197-2140SHJT0001/100沈阳芯源微电子设备股份有限公司刷片机刷片机52022/4/194197-2140SHJT0001/100沈阳芯源微电子设备股份有限公司涂胶显影设备抗反射层涂胶机12022/5/104197-2140SHJT0001/109沈阳芯源微电子设备股份有限公司涂胶显影设备聚合物涂胶显影机1福建晋华2022/1/254197-2140JHICC001/1

43、5沈阳芯源微电子设备股份有限公司涂胶显影设备黄光涂胶显影机22022/4/184197-2140JHICC001/32沈阳芯源微电子设备股份有限公司涂胶显影设备12吋黄光涂胶显影机1华力集成2022/1/50705-214020603476沈阳芯源微电子设备股份有限公司清洗设备HK段刷片清洗设备12022/1/50705-214020603476沈阳芯源微电子设备股份有限公司清洗设备前段刷片清洗设备1合计12拓荆科技华虹（无锡）2022/3/10613-214022126353/02拓荆科技股份有限公司薄膜沉积设备化学气相薄膜沉积设备22022/3/10613-214022126353/02拓

44、荆科技股份有限公司薄膜沉积设备等离子体增强方式化学气相薄膜沉积设备1积塔半导体2022/5/104197-2140SHJT0001/116拓荆科技股份有限公司薄膜沉积设备二氧化硅等离子薄膜沉积设备32022/5/104197-2140SHJT0001/116拓荆科技股份有限公司薄膜沉积设备二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积设备8合计14华海清科华虹（无锡）2022/3/90613-214022126189/02华海清科股份有限公司CMP设备化学机械抛光设备（铜）22022/3/90613-214022126189/04华海清科股份有限公司CMP设备化学机械抛光设备（钨）1积塔半导体20

45、22/5/174197-2140SHJT0001/117华海清科股份有限公司CMP设备二氧化硅研磨机12022/5/174197-2140SHJT0001/117华海清科股份有限公司CMP设备钨金属机化学机械研磨4合计8盛美上海华虹（无锡）2022/3/40613-214022216352/04盛美半导体设备（上海）股份有限公司清洗设备铝线及通孔清洗设备（后段工艺）12022/3/40613-214022216352/05盛美半导体设备（上海）股份有限公司剥离设备铜线聚合体剥离设备(后段工艺)32022/3/40613-214022216192/02盛美半导体设备（上海）股份有限公司清洗设备扩

46、散炉前清洗设备（栅氧前标准版）12022/3/40613-214022216192/04盛美半导体设备（上海）股份有限公司剥离设备光刻胶剥离设备(标准版)22022/3/40613-214022216192/08盛美半导体设备（上海）股份有限公司剥离设备前段光刻胶剥离单片设备12022/3/40613-214022216192/09盛美半导体设备（上海）股份有限公司其他设备铜硅片再生设备（铜后段工艺）12022/3/40613-214022216192/09盛美半导体设备（上海）股份有限公司其他设备多晶硅硅片再生设备1福建晋华2022/2/154197-2140JHICC001/16盛美半导体

47、设备（上海）股份有限公司薄膜沉积设备电镀铜金属沉积工艺机台12022/4/254197-2140JHICC001/29盛美半导体设备（上海）股份有限公司刻蚀设备12吋晶圆厂金属晶边湿法蚀刻工艺机台12022/6/284197-2140JHICC001/48盛美半导体设备（上海）股份有限公司炉管设备炉管设备1合计13北京屹唐华虹（无锡）2022/4/70613-214022126356/06北京屹唐半导体科技股份有限公司去胶机等离子去胶机72022/4/70613-214022126195/03北京屹唐半导体科技股份有限公司炉管设备快速热退火设备(高温)12022/6/170613-224022

48、120817/04北京屹唐半导体科技股份有限公司去胶机等离子去胶机1积塔半导体2022/4/264197-2140SHJT0001/317北京屹唐半导体科技股份有限公司其他设备灰化机2合计11精测电子福建晋华2022/4/264197-2140JHICC001/39上海精测半导体技术有限公司检测/量测设备12吋扫描式电子显微镜1积塔半导体2022/6/134197-2140SHJT0001/126上海精测半导体技术有限公司检测/量测设备厚度测量设备1合计2捷佳伟创积塔半导体2022/6/134197-2140SHJT0001/122创微微电子（常州）有限公司清洗设备半自动清洗设备(8寸/12兼

49、容)12022/6/134197-2140SHJT0001/122创微微电子（常州）有限公司清洗设备金属钛去除机12022/6/134197-2140SHJT0001/122创微微电子（常州）有限公司去胶机湿法去胶机22022/6/134197-2140SHJT0001/122创微微电子（常州）有限公司清洗设备氧化物去除酸槽22022/6/134197-2140SHJT0001/122创微微电子（常州）有限公司清洗设备控片清洗机12022/6/134197-2140SHJT0001/122创微微电子（常州）有限公司清洗设备氮化硅去除酸槽12022/6/134197-2140SHJT0001/1

50、22创微微电子（常州）有限公司清洗设备聚合物去除酸槽22022/6/134197-2140SHJT0001/122创微微电子（常州）有限公司清洗设备铝刻蚀酸槽1合计11中科飞测福建晋华2022/5/244197-2140JHICC001/44深圳中科飞测科技股份有限公司检测/量测设备膜厚量测机台3合计3数据来源：中国国际招标网，（注：公开信息汇总更新不及时可能存在误差；单位：台）16 / 21行业进入业绩兑现期，国产替代长期存在&空间广阔Q2 业绩延续高速增长，存货&合同负债支撑全年业绩高增下游大规模扩产&国产替代逻辑双轮驱动下，半导体设备行业已进入业绩兑现期。 2021 年和 2022Q1

51、十家半导体设备企业营业收入分别为 237 和 60 亿元，分别同比+56%和+57%，持续大幅增长。2022 年上半年来看，中微公司和北方华创率先发布中报业绩预告，均超出市场预期，我们判断 Q2 半导体设备板块业绩有望延续高速增长。1）中微公司：2022H1 营业收入约 19.7 亿元，同比约+47%；实现归母净利润为 4.2-4.8 亿元，同比+6%-21%；实现扣非归母净利润 4.1-4.5 亿元，同比+565%-630%，扣非归母净利润实现大幅增长，真实盈利水平明显提升。我们判断主要系高毛利水平刻蚀设备收入占比提升，以及规模效应下公司期间费用率下降所致。2）北方华创：2022H1 实现营

52、收 50.5-57.7 亿元，同比+40%-60%；实现归母净利润7.1-8.1 亿元，同比+130%-160%；实现扣非归母净利润 6.0-6.9 亿元，同比+165%-205%，超过市场预期，真实盈利水平明显提升。我们推测一方面系产品结构优化，整体毛利率有所提升；另一方面系规模效应下期间费用率有一定下降。图30：2021/2022Q1 十家半导体设备企业合计营业收入同比+56%/+57%北方华创中微公司华峰测控至纯科技盛美上海长川科技精测电子芯源微拓荆科技华海清科25020015010050020182019202020212022Q1东吴证券研究所数据来源：Wind，（单位：亿元）截至

53、2022Q1 末，十家半导体设备企业存货和合同负债合计分别达到 208 和 95 亿元，均达到历史最高值，在手订单普遍充足，将保障 2022 年业绩延续高速增长。17 / 21图31：2022Q1 十家半导体设备企业存货合计 208 亿元图32：2022Q1 十家半导体设备企业合同负债共 95 亿元250200150100500华海清科拓荆科技芯源微精测电子长川科技盛美上海至纯科技华峰测控中微公司北方华创 20182019202020212022Q1120100806040200华海清科拓荆科技芯源微精测电子长川科技盛美上海至纯科技华峰测控中微公司北方华创20182019202020212022Q1数据来源：Wind