溅镀机常见的故障及排除

1、以下是?檄常Ji的故障及排除:故障幸艮警可能原因排除建HPA not in 0 7180 position1。0 7180珊鹰器整不良或损塌2。PA手臂offset位直小准1。检查，整或更换感鹰器2。较准(Teach)PA H勤器PA: lift sensor error at handling side1。PA手掌氧缸损塌2。PA氧缸感鹰器整不良或损壤3。碟片卡住1。更换氧缸2。检查，整或更换感鹰器3。拿走碟片，手勤操作检查氧缸咖乍PA: lift not up at handling side1。 PA氧缸感鹰器整不良或损壤2。屋缩凰波供鹰或屋力不足3。霜磁1。检查，整或更换感鹰器2。检查

2、屋缩蜀供鹰3。检查或更换雷磁PA: lift not down at handling side1。 PA氧缸感鹰器整不良或损壤2。屋缩凰波供鹰或屋力不足3。霜磁1。检查，整或更换感鹰器2。检查屋缩蜀供鹰3。检查或更换雷磁PA: lift not up at load lock side1。 PA氧缸感鹰器整不良或损壤2。屋缩凰波供鹰或屋力不足3。霜磁1。检查，整或更换感鹰器2。检查屋缩蜀供鹰3。检查或更换雷磁PA: lift not down at load lock side1。 PA氧缸感鹰器整不良或损壤2。屋缩凰波供鹰或屋力不足3。霜磁1。检查，整或更换感鹰器2。检查屋缩蜀供鹰3。检查

3、或更换雷磁PA handling side: disk not loaded1。吸坐损：1或弄麟2。吸碟感鹰器没好或损壤3。没有碟片4。吸碟真空管路不聚5。吸碟真空K波油或故障1。检查，清瀑或更换吸篮2。检查，敕或更换感鹰器3。重放碟片4。检查真空管路波漏5。检查真空ttPA handling side: disk not unloaded1。吸坐损：1或弄麟2。吸碟感鹰器没好或损壤3。没有碟片4。吸碟真空管路不聚5。吸碟真空K波油或故障1。检查，清瀑或更换吸篮2。检查，敕或更换感鹰器3。重放碟片4。检查真空管路波漏5。检查真空ttDisk lost at handling side1。吸坐损

4、：1或弄麟2。吸碟感鹰器没好或损壤3。没有碟片4。吸碟真空管路不聚5。吸碟真空K波油或故障1。检查，清瀑或更换吸篮2。检查，敕或更换感鹰器3。重放碟片4。检查真空管路波漏5。检查真空ttDisk lost at load lock side1。吸坐损：1或弄麟2。吸碟感鹰器没好或损壤3。没有碟片4。吸碟真空管路不聚5。吸碟真空K波油或故障1。检查，清瀑或更换吸篮2。检查，敕或更换感鹰器3。重放碟片4。检查真空管路波漏5。检查真空ttError I/O addressPLC信虢事入/出模故障更换模Power supply : start-up not ok1。事俞入雷源IW取2。PLC及AE ?

5、!艘雷源之的通没起勤3。PROFIBUS 寄霓故障4。PROFIBUS 0冬端定1。检查霜源IW日2。逗择PUMP,再逗择PROD模式3。检查雷及接Ml4。检查余冬端定PS： time out data receive1。ae源没碓定资料接收2。PLC典AE雷源速接中断3。PROFIBUS 通中断1。打K AE凝ini源事俞出Ki!2。检查 PROFIBUS3。检查PLC上BUSF指示燎故障幸艮警可能原因排除建HCathode short circuit1。物料优 mask或靶材掉迤重2。AE艘雷源故障1。清理?源2。更换AE源Plasma voltage too low1。氟氧供鹰不稳定2。

6、虱福流里遛L同3。系统真空波漏1。检查虱氟供鹰2。第氨氟流量3。真空横漏Plasma voltage too high1。氟氧供鹰不稳定2。氨氟流里谩低3。系统真空波漏1。检查虱氟供鹰2。第氨氟流量3。真空横漏排除Pinnacle： output enable missingAE源上高重屋输出没促亵检查AE源上OUTPUT指示燎（在本俞出畴必须亮）Pinnacle： Joules not reached1。系统波漏（空氟或水）2。Mask没放好3。靶材用完4。氨奋流量太局或太低1。横漏排除2。检查mask3。更换靶材4。第氟氧流量Arc alarm1。物料优 mask或靶材掉迤H 趣中2。氟氧

7、流量太高或太低3。系统波漏（空氟或水）1。清理?源2。第氟氧流量3。横漏排除Presputtering not ok1。IWiig波於定畴W内完成2。靶材表卸氧化，不良3。系统波漏（空氟或水）1。重逗PROD模式2。检查靶材3。横漏排除Cathode open信敬邦麋艘源Transportation stop主生上安全力没好好安全咒Disk lost in load lock1。碟片掉进1 load lock2。碟片感鹰器没好或损壤1。查看她拿走碟片2。敕或更换感鹰器SA lift not down comp. air missing1。屋缩凰波供鹰或屋力谩低2。屋力感鹰器没好或损壤1。检查屋

8、缩蜀供鹰2。敕或更换感鹰器SA 0 0position after origin not ok1。0 7180强U!器整不良或损壤2。SA手臂offset位直小准1。检查，整或更换感鹰器2。较准（Teach）SA H勤器SA 0 position not ok0力80强O器整不良或损壤检查，整或更换感鹰器SA 180 口position not ok0力80强O器整不良或损壤检查，整或更换感鹰器PA 0 n position after origin not ok1。0 7180基U!器整不良或损壤2。PA手臂offset位直小准1。检查，整或更换感鹰器2。较准（Teach）PA H勤器PA

9、0 0 position not ok0力80冕O器整不良或损塌检查，整或更换感鹰器PA 180 position not ok0力80鬼O器整不良或损壤检查，整或更换感鹰器PA： coated disk lost during transport1。吸坐损：1或弄麟2。吸碟感鹰器没好或损壤3。吸碟真空管路不聚4。吸碟真空没油或故障1。检查，清瀑或更换吸篮2。检查，敕或更换感鹰器3。检查真空管路波漏4。检查真空ttPA: non-sputtered disk lost during transport1。吸坐损：1或弄麟2。吸碟感鹰器没好或损壤3。吸碟真空管路不聚4。吸碟真空没油或故障1。检查

10、，清瀑或更换吸篮2。检查，敕或更换感鹰器3。检查真空管路波漏4。检查真空ttError handling identification1。主生handling 信虢 2。Handling信虢接。蜀不良1。检查信虢2。检查信虢接H故障幸艮警可能原因排除建HHandling not ready1。空白碟片送至 PA低下但檄 津倩卸碟2。没有 handling at load/unload position ”信虢1。拿走空白片2。检查信虢Disk load executed missing1。没有disk load executed “信虢2。碟片没被PA拿起1。检查信虢2。检查?舆主生崖的定 位

11、Disk unload executed missing1。没有 disk unload executed “信虢2。碟片没被主生卸走1。检查信虢2。检查?舆主生崖的定 位Disk confirmed executed missing1。没有主生至?及的回信虢2。吸篮或弄麟3。吸碟感鹰器没好或损壤1。检查信虢2。检查，清瀑或更换吸篮3。检查，敕或更换感鹰器Error power turbo pump1。分子源中断2。分子UtSfll器促彝1。检查甯源2。重器Turbo speed not ok1。真空波漏2。分子故障3。前置WT故障1。真空横漏2。更换分子3。换油或更换前置No turbo w

12、ater1。分子没冷郤水2。冷郤水流量言十1。检查冷郤水供鹰2。检查堵塞，清瀑或更换流量言十Cathode water not ok1。源没冷郤水2。冷郤水流量言十3。霜磁故障1。检查冷郤水供鹰2。检查堵塞，清瀑或更换流量言十3。清瀑或更换重磁Water leak in cathode凝腔冷谷睡同片漏水更换片M_CH setpoint SP1 not reached1。真空波漏2。真空黑占SP1 定3。真空不止常1。真空横漏2。检查黑占3。检查或更换真空Fore vacuum not ok1。檄械1ft/、，作2。TPR真空探故障1。检查或更黑械2。检查，清瀑及较准探Leak in load

13、lock chamber1。抽氟或排氟雷磁漏2。PA手掌密封圈不良3。真空管路波漏1。检查加清瀑雷磁2。更换密封圈3。检查或更换真空管路Leak in main chamber1。Bypass2。SA手掌密封圈不良3。SA波触管波漏4。SA事由封损壤1。手勤操作检查Bypass 功能2。更换密封圈3。更换波触管4。更换事由封Argon flow not ok氧氟流量谩高或谩低氧氟流量Disk lost in main chamber1。碟片掉迤主真空腔2。碟片感鹰器没好或损壤1。W OFF模式，查看她拿走碟 片2。敕或更换感鹰器Cathode： water not switched off雷磁

14、漏清瀑雷磁Leak in cathode or sputter chamber1。源没好2。PKR真空探故障3。抽氟或排氯雷磁漏1。信敬邦麋艘源2。检查，清瀑及较准探3。检查或清瀑雷磁注：跟掳（不同的?img檄型虢，源型虢，故障幸艮警曾有所不同。以上列表只供II考，用户 须查看随檄使用手册以掩得更辞翥及合逾资料（如具tt检修步n聚等）。4。常J1金腐反射唇缺陷，崖生原因和解决方法缺陷可能原因解泱方法懵太薄1。逗籍靶材最定（target table）2。真空波漏3。系统波漏（空氟或水）4。氟氧流量谩高或谩低5。磁金戴系统损壤1。重遑I止碓 target table2。真空横漏3。横漏排除4。第氟氧流量5。更换磁金戴系统偏心1。SA手掌上碟片固定珠波封中2。Inner mask 燮形3。Inner mask冷谷口水管建形1。校津固定珠2。更