平板显示技术：Color Filter基础培训资料

1、Color Filter基础培训资料第一章 CF的基本原理和结构 CF（Color Filter）是用来实现彩色显示的主要器件，在色光中存在三种最基本的色光，它们的颜色分别为红色、绿色和蓝色。这三种色光以不同比例混合，几乎可以得到自然界中的一切色光；而且这三种色光具有独立性，其中一种原色不能由另外的原色光混合而成，由此，我们称红、绿、蓝为色光三原色。在TFT-LCD中， ARRAY基板上每个TFT控制一个亚像素（也叫子像素，Sub-pixel)上方的液晶分子的扭曲程度，以此来调整亚像素的透光量；每三个亚像素分别透过红光、绿光和蓝光，并合成一个显示像素（Pixel)。由于每个像素透过的红光、绿光

2、和蓝光的比例都是不同的，因此合成的颜色也是不同的，从而形成彩色显示。液晶盒的基本结构见下图所示：其中CF的基本构成为BM层，RGB色层，Over Coat层，ITO导电层及支撑盒厚的隔垫物。玻璃基板配向膜偏光片玻璃基板偏光片液晶层彩色层薄膜晶体管黑矩阵保护层ITO导电膜第一章 CF的基本原理和结构第二章 CF制法分类和工艺流程 彩膜的制造工艺一般有染色法、电沉积法、印刷法、喷墨法和颜料 分散法。各工艺的简单流程如下图所示：染色法电沉积法印刷法颜料分散法GelatinhITOResisth感光性color Resisth喷墨法比较项目染色法电沉积法印刷法喷墨法颜料分散法着色剂染料颜料颜料染料/颜

3、料颜料成膜膜厚1.0 2.5 1.5 2.5 1.0 3.0 1.0 2.5 1.5 2.5 分辨率1020 1020 5080 1020 1020 色 特性非常优秀普通优秀优秀优秀耐热性普通优秀优秀普通优秀耐光性普通非常优秀非常优秀普通非常优秀耐化学性 不好优秀优秀优秀优秀平坦性优秀非常优秀不好普通优秀大型化的可能性优秀普通不好不好优秀第二章 CF制法分类和工艺流程 各种制法的特点比较见下表。 现在国际上被广泛使用的是颜料分散法。依据不同显示模式颜料分散法的工艺流程也有所区别，见下表所示：第二章 CF制法分类和工艺流程ModeProcess Flow ChartTNMVAPVAIPSFFSB

4、MRGBITOPSBMRGBITOPSRibBMRGBOCPSITO EtchingRearITO BMRGBOCPSRearITO BMRGBOCPS第二章 CF制法分类和工艺流程第二章 CF制法分类和工艺流程 TN模式的制造工艺是最基础的，下面详细介绍其工艺流程：第二章 CF制法分类和工艺流程曝光PW玻璃清洗显影R光阻涂布RPR+PRBM光阻涂布显影G光阻涂布GPR曝光曝光显影B光阻涂布BPR曝光显影O/CO/CSputteringITOPS光阻涂布PS PR曝光显影CF成品第二章 CF制法分类和工艺流程ITEMMain Process ConditionControl ItemClean

5、ingType: Brush， CJ，UV；Flow；Pressure；Particle NumberCoatingCoating Type: Spin or Spin/Slit or Slit； Coating Speed ；Film Thickness& UniformityPre BakeTemperature；Time；PR StiffnessExposureGap；Dose；Temperature；Accuracy, Total PitchDeveloperChemical Type& Concentration: KOH, Na2CO3 ； Temperature；Time；PR

6、residualPost BakeTemperature；Time；Adhesive Force Between Glass and PRSputteringTemperature；Pressure；Power；Vacuum levelFilm Thickness; Transmittance; ResistanceNo设备中文名称1Coater涂布机2Exposure曝光机3Sputter溅射机4 Cleaner清洗机5Developer显影机6Developer Concentration Adjust Unit显影液浓度调整装置7HP/CP热盘/冷盘(前烘设备)8Post Bake后烘设

7、备9Repair维修机10Pattern Repair图形修正机11Rework再加工设备12 Rework Marking再加工记数器13Titler打标机14UV Asher紫外灰化设备15 Eximer UV紫外清洗设备16Glass Corner Cut玻璃加工机17Cassette Cleaner玻璃载盒清洗机18Mask Cleaner掩膜板清洗机第三章 CF主要设备介绍:Process装置No设备中文名称19Thin film Difference Measurement薄膜段差計20Film Thickness Conveyor膜厚检查传送机21CD&TP精密测长机22AOI全

8、数检查机23Review, Micro外观检查机 24Mask Inspection掩膜板检查机25MCPD/OD显微分光光度计26PS Inspection隔垫物高度检查机27Sheet Resistance方块电阻测量器28Macro, Visual Inspection目视检查机29Orientation Flat Inspection方向别平坦度检查机30Glass Crack Inspection玻璃裂痕检查机31Stocker, loader, Unloader, AGV玻璃载荷搬送系统32Unpack (Dens Pack)拆包机33Conveyor, Robot玻璃搬送系统34

9、Cassette MGV玻璃载荷手动搬送车35Sheet MGV玻璃手动搬送车36Cassette, Wire Cassette玻璃载荷第三章 CF主要设备介绍:检测和物流装置No设备No设备37AFM(原子力显微镜)55SCRATCH TESTER38FE-SEM(场发射扫描电镜）56光学显微镜39FIB-SEM(聚焦粒子束扫描电镜)57実体燎微鏡40EDX (x荧光光谱仪 )58实验用表面粗糙器41恒温恒湿器59实验用膜厚测定器42低温试验器60Small MCPD43热处理器61顕微44热处理器(N2)62电子天平45熱衝擊实验机63Heater PHH-20146Xe weater meter64接触角测定器47UV Lamp(254nm)65MULTI HOT PLATE48曝光机66Xenon Fade Meter49DYNAMIC硬度计67Refrige