技术发展趋势ppt课件

1、四、HIT技术三、反面钝化技术二、选择性发射极SE一、准单晶技术概 述五、EWT技术六、激光转印技术(LTP) 七、反响离子刻蚀RIE .准单晶技术准单晶技术简介 在光伏行业迅速开展的今天，用于制造太阳能电池的晶体硅主要是采用直拉法的单晶硅及采用铸锭技术的多晶硅。多晶硅铸锭，投料量大、操作简单、工艺本钱低，但电池转换效率低、寿命短；直拉单晶硅转换效率高，但单次投料少，操作复杂，本钱高。因此，怎样将两者合二为一、扬长避短，就成了国内外光伏企业竞相研讨的热点和难点。在这种背景下，介于多晶硅和单晶硅之间的准单晶逐渐进入了人们的视野。 准单晶主要有两种铸锭技术：1无籽晶铸锭。无籽晶引导铸锭工艺对晶核初

2、期生长控制过程要求很高。一种方法是运用底部开槽的坩埚。这种方式的要点是精细控制定向凝固时的温度梯度和晶体生长速度来提高多晶晶粒的尺寸大小，槽的尺寸以及冷却速度决议了晶粒的尺寸，凹槽有助于增大晶粒。由于需求控制的参数太多，无籽晶铸锭工艺显得尤为困难。2有籽晶铸锭。当下量产的准单晶技术大部分为有籽晶铸锭。这种技术先把籽晶、硅料掺杂元素放置在坩埚中，籽晶普通位于坩埚底部，再加热融化硅料，并坚持籽晶不被完全融掉，最后控制降温，调理固液相的温度梯度，确保单晶从籽晶位置开场生长。 .准单晶技术2. 国内准单晶技术开展现状2021年3月28日，晶龙集团宣布其旗下的东海晶澳太阳能科技消费的“准单晶铸锭量产一号

3、锭顺利下线，投资1.5亿元的试量产一期工程曾经有12台准单晶铸锭炉投产，估计将实现年产65MW准单晶硅锭，年销售收入3亿元。同时，投资4亿元的二期200MW准单晶硅铸锭工程也正在实施中，2021年底达产后还将添加32台准单晶硅铸锭炉，估计将实现年销售收入10亿元。2021年6月8日，晶澳公司在德国Intersolar展会上宣布其所研发的高效多晶电池“晶枫Maple正式启动规模性量产。量产后的转换效率平均可达17.5%，最高可到达18.2%。 近期中国最大的硅片企业保利协鑫也曾经试用准单晶技术胜利，估计待其准单晶技术成熟后将大规模推行。 昱辉阳光于2021年1月14日报道：公司近日宣布已胜利研发

4、出一种名叫“Virtus Wafer的新型多晶硅硅片，该产品可以提高太阳能电池转换效率至17.5%，较行业规范高出1%。硅片光致衰减率在0.1%左右，比单晶硅4%的衰减率低了一个数量级。 2021年7月8日，无锡尚品太阳能宣布其准单晶消费工艺实验胜利，其转换效率在18%以上，利用率超越65%。 .准单晶技术技术研发要点温度梯度改良。针对热场研发以改良温度梯度，同时还要留意热场维护；晶种制备。研讨发现，准单晶晶种制备方向将朝着超大超薄的方向开展；第三，准确熔化控制。这一环节非常难以控制，它决议准单晶能否可以稳定生 产，因此需求一个与之对应的精准熔化控制设备。位错密度。在很多消费过程中，效率衰减总

5、是不可防止，为此把位错密度控制到最低，是此项工艺的关键；边角多晶控制，即合理有效控制边角多晶的比例；铸锭良率提升。目前良率大约在40%60%之间，还有待提高。准单晶技术的前景 准单晶术集合了单晶硅和多晶硅的优点，将有助于降低太阳能发电本钱，促进太阳能发电实现平价上网。因此，准单晶技术正引领着光伏行业的新的风向标，其前景将非常宽广。 .选择性发射极SESE电池实现方案印刷磷桨云南师范 腐蚀出分散掩膜层南京中电直接印刷掩膜层schmid，centrotherm湿法腐蚀重分散层/等离子体刻蚀重扩LDSE新南威尔士硅墨技术Innovalingt,OTB 其中， schmid直接印刷掩膜层再清洗的SE实

6、现方法技术成熟，目前在国内曾经被许多公司采用，包括尚德、英利等。.选择性发射极SE 2. 直接印刷掩膜层技术.选择性发射极SE 喷掩膜机清洗机.反面钝化技术 反面钝化技术就是在电池片的反面堆积钝化膜，经过添加少子寿命、减少复合，来提高电池片的效率。常见的钝化膜有：氮化硅膜、氧化硅膜和氧化铝膜，其中氧化铝膜的反面钝化效果最好。氧化铝膜的制备方法有ALD、溅射和 PECVD 。其中PECVD由于高产能及广泛运用于市场，将是主要的氧化铝制备方法。.HIT技术HIT电池构造HIT 电池性能开路电压： 729mV短路电流： 3.968A 电流密度：39.5mA/cm2填充因子：80.0%效率：23.0%

7、 电池尺寸：100.4cm22021年 三洋公司. HIT技术2. HIT电池制造流程. HIT技术2. HIT电池制备主要设备本征层及参杂层的制备TCO层的制备溅射法：磁控溅射、离子束溅射等；蒸发法：热蒸发、离子束蒸发等；溅射法的工艺稳定性好，制备薄膜的质量也较好。. HIT技术ECRCVD HIT 堆积系统.EWT技术EWT电池简介 硅太阳电池是一种前结背接触电池。它的 结依然位于电池的正面，以有利于提高载流子的搜集效率，经过重分散或者镀有金属的孔目前用的最多的是激光打孔把电池正面发射区和反面部分发射区衔接在一同，将前外表发射区引入反面，实现把前后外表搜集的电子传导到反面电极上，正负电极细

8、栅全部交叉陈列在电池反面，主栅陈列在电池反面的两侧。EWT电池的优点添加了有效受光面积，故可以获得较高的效率；可简化光伏组件的封装，使自动化消费更容易实现；降低了反面的外表复合，因此可更好地提高电池性能；可实现从电池的前结和背结共同搜集电荷，故有很高的电荷搜集率。.EWT技术. EWT技术.激光转印技术(LTP) 技术简介 激光转印技术，是相对于传统丝网印刷技术，开展起来的一种新型印刷技术。不同于丝网印刷工艺，完全采用普通的浆料Ag或者Al浆在激光的作用下，将浆料均匀、准确的按设计图形高效地喷印在硅片外表，完成印刷工艺过程。 2. 设备外观.激光转印技术(LTP) 3. 任务原理 当硅片到达激

9、光转印位置时，在激光束的作用于不停转动的带有浆料的薄片上，受激光感应的区域的浆料将喷印到硅片外表实现相应图案的印刷；可以更加高效地、延续的实现无接触硅片的浆料印刷。 .激光转印技术(LTP) 工艺优点： 可以取代传统的丝网印刷，不再频繁地改换网板； 运用普通的印刷浆料； 实现正面及反面的印刷，而且不用经过烘干就可以实现背电极及铝背场的延续印刷； 延续的链式操作，无接触高效率消费，1500片/小时； 相比于传统丝网印刷，非常低的消费破损率。 .反响离子刻蚀RIE 1.技术简介 RIE是干蚀刻的一种，这种蚀刻的原理是，当在平板电极之间施加10100MHZ的高频电压RF，radio frequency时会产生数百微米厚的离子层ion sheath，在其中放入试样，离