静电防护管理规范

1、NANJING CEC PANDA FPD P.1 / 9DSM业 务 程 序 书发行部门【XXXXX】静电防护管理规范体系推进小组批准审核编制 1、目的通过对静电的基准化管理，减小ESD对产品品质的影响。2、适用范围此规范适用于南京中电熊猫平板显示科技有限公司（以下简称“公司”）第二工厂对工程环境中静电的规范。3、安全注意事项 无4、定义4.1静电：在物体相互间接触或摩擦及分离中，一侧失电子，另一侧接受电子，失电子侧具有Plus(+)， 接受电子侧具有Minus (-)的现象。4.2静电放电 (Electro-static Discharge简称ESD)：为了使已形成静电，即已成为不平衡原子

2、的再结合变为平衡状态的过程，与此相同的现象与静电发生过程相同，也是在物体相互间摩擦和分离等过程中形成。4.3衰减时间：从± 1,000 V衰减到± 100 V所用的时间。4.4离子平衡：离子风机/扇带电量。4.5 EOS(Electrical overstress):静电过载，过度电性应力。4.6HBM(Human Body Model)：人体放电模式。4.7 MM(Machine Model)：机器放电模式。4.8 CDM(Charged Drive Model)：元件充电模式5、静电的管理5.1 管理分类表表1 管理分类表类别管理对象管理方法管理标准管理周期管理部门人员

3、及作业方法防尘鞋使用防尘服使用防静电手套使用作业员进入工程时按照无尘室管理规定执行进行自检无尘室管理规定每天生产记事编制2015年 3月 5日改订 年 月 日编号DSM-MF-Q006BXXXXXXXXXXXX有限公司NANJING CEC PANDA FPD P.8 / 9DSM业 务 程 序 书 设备装置设备离子风机/扇离子平衡测试衰减时间：2 S离子平衡：±50 V每月QC风量最大风量管控（特殊要求的站别，适合风量管控）注：只管控，不记录每日巡检确认QC使用距离除静电风机固定在对象物品30cm 距离以内处（某些场所、条件下，要基于实际的作业环境、装置差异等调整、确定适当的使用距

4、离）注：只管控，不记录每日巡检确认QC使用角度根据对象品与固定点的位置关系选定最佳吹风角度(为了避免角度在实际使用过程中被有意或无意的改变，要明确的标识角度) 注：只管控，不记录每日巡检确认QC设备接地设备接地阻抗106109每半年QC5.2 测试仪器表2 仪器用途表No仪器名称用途1离子平衡测定器测量离子风机/扇 静电消除结果2阻抗计测量机台接地阻抗3人体ESD装备综合测试仪测试每日进入洁净室人员穿着防静电服装后的状态6.人体ESD装备综合测试仪使用方法6.1人体ESD装备综合测试仪操作说明： LO：低于设定值，PASS:设定值范围内，HI:高于设定值，有报警功能，参数表如下：指示灯电阻值L

5、OR<750KPASS750KR100MHIR>100M6.2人体综合测试仪测试方法静电环的佩戴方式：必须与皮肤紧密接触，不得松弛，不得隔衣物，必须将金属片戴在手腕上侧，如下图所示 人员穿着无尘服装完毕后，在进工程作业前在人体静电综合测试仪上进行人体ESD状态测试,测量方法如下所示a.双脚站在测试仪金属板上，双脚完全接触金属板，静电环连接在仪器上；b.用手腕处的皮肤按压静电测试仪器的检测按钮,三个指示灯都亮绿灯即合格（OK），有一个指示灯亮红灯则为不合格（NG），并且蜂鸣器会长鸣。如下图： 6.2.1测量频率：2次/班6.2.2测量仪器矫正频率：1次/年，仪器必须在有效的矫正期内才

6、能够使用6.2.3测试对象:所有产线作业人员6.2.4静电环的作用：人体所带的静电量及人体所产生静电的变化时，静电荷能够瞬间导出6.2.5记录方法：人体综合测试结果记录在点检表（DSM-MF-Q006A-01）进入更衣室6.3人体综合测试异常处理流程： 人员穿着无尘服与佩戴静电环着装检查、静电环佩戴检查，是否符合要求否 禁止进入，按照要求进行改善是 重复测量3次确认是否符合要求人体ESD综合测试是否符合要求否 否 是 是 进入工程作业无尘衣、无尘鞋、静电环更换7.设备接地设备接地方法：将接地电缆外皮剥离，内部铜线缠绕在设备接地脚上，全部链接后统一接地工厂内等电位端子箱。设备接地的作用：将设备作

7、业产生的电荷导入大地，以免电荷累计，导致静电破坏，造成对人员、设备、产品的损害。测量记录方法：设备接地阻抗测量的结果记录在点检表（DSM-MF-Q006A-03）设备接地注意事项：设备接地线与人员接地线分开。8. 装备（设备内静电Bar、离子风机/扇）8.1静电测量方式：用离子平衡测试仪测量8.2静电规格： ± 100 V（产品）；2秒内± 1000 V ± 100 V平衡电压± 50 V以内，不良标准：a. 衰减时间超过2 秒情况；b. 平衡电压时超过±50 V的情况。8.3测量距离在30 cm之间，测量异常时立即清洁或者更换，直至测试通过。

8、8.4点检使用装置：离子平衡测试仪8.5测量方法：8.5.1离子平衡测试仪线路连接最后将Pomona插口与ELEGTRONIGS插口连接将 ELEGTRONIGS电线插在GROUND插口将HCK电线插在COLLETING插口上 8.5.2测量方法打开仪器电源按下TEST/RESET键。看PLATE VOLTAGE所显示的数值为1000时，将接受端平板靠近离子风机距离出风口20至30cm左右（手握静电接受平板时不能触碰到平板，否则测量值不准确。） 将NODE按钮调节到+DECAY档将MDE按钮调节到FLOAT档将MDE按钮调节到-DECAY档，重复步骤 观察PLATE VOLTAGE所显示的数值

9、从1000降至100以内时所需的衰减时间DECAY TIME所显示的数值（显示值在2s内则说明该离子风机正常） 按下TEST/RESET键，观察PLATE VOLTAGE所显示的数值是多少。如下图所示（显示数值在±50以内则该离子风机无异常）测量结束关闭电源 8.6测量记录方法：测量的结果记录在点检表（DSM-MF-Q006A-02）8.7测量仪器矫正频率：1次/年，仪器必须在有效的矫正期内才能够使用8.9静电风扇、静电Bar清洁管控8.9.1静电风扇清洁方式：滤网清洁方式：取出滤网，水洗并充分干燥之后，方可放回原处静电风扇内部清洁方式：无尘布蘸酒精清洁（注：不可伤及静电针）8.9.

10、2静电Bar清洁方式：无尘布蘸酒精清洁（注：不可伤及静电针） 9. 台车使用管控方式： 正确使用方法：禁止快速移动；所有的移动台车要和铁链连在一起，与台车连接的铁链要与地面的接触，接触地面的铁链的长度要大于5cm。非金属材质组装式台车，在放置产品的地方设置静电台垫。不良标准：铁链接地长度小于5 cm铁链即使有连接，但接地阻抗必须在允许范围之外。10.ESD异常处理流程10.1管理规格出现异常时，必须联系QC或技术担当进行处理。 QC或生产点检ESD发现异常QC或生产发现产品不良异常 异常处理流程如下：QC解析是否是有有ESD破坏造成技术、QC确认产线制品状况否 其它原因调查是 停线调查ESD状

11、况并追溯不良检查设备静电系统是否正常检查其它静电装置系统是否异常检查人员静电系统是否正常否 否 否 是 是 是 静电装置修复后测量，并确认作业的产品状况确认部材来料是否异常否 是 提出异常说明及后续的改善与预防措施，恢复生产11.2ESD异常时制品处理方式： 通知质量部门协助按照线别、时间等相关信息对涉及的制品进行Hold，并与质量部门协商对制品进行信赖性测试，信赖性OK后，质量部门决定是否可以解除HOLD正常后流。11.附件11.1 附件一静电Bar与静电风扇编码原则编码方式MXXXXXXXXXX(举例：MCVV206F011，第二工厂,皮带线外观站,6线的第一个11个静电风扇)编码说明位数

12、位数代表内容命名方式第1位第二工厂M第2位到第4位工程别采用QIC系统机台编号的前三位第5楼层别1,2,3第6位到第7位线别0099第8位静电风扇或静电Bar静电风扇：F、静电Bar：B第9位到11位静电设备的流水码0009993.2 附件二附表名称表单编号表单保管部门人体综合测量仪测量点检记录表DSM-MF-QXXXX-01工程-QC静电风扇与静电BAR点检表DSM-MF-QXXXX-02工程-QC设备接地阻抗点检表DSM-MF-QXXXX-03工程-QC静电防护管理规范编号DSM-MF-XXXXXXXXXXXXXXXX有限公司XXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXXX P.1 / 1业务程序书制定（改订）履历表业务程序书名称：静电防护管理规范 编号：DSM-MF-XXXXX No 年 月 日改订版本号改 订 内 容批 准1A合议部门及签字:No 年 月 日改订版本号改 订 内 容批 准2B1.P2增