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文档简介

1、 电池制造质量控制点培训电池制造质量控制点培训 2目录一、清洗制绒岗位质量控制二、扩散岗位质量控制三、刻蚀岗位质量控制四、PECVD岗位质量控制五、丝网岗位质量控制33清洗岗位质量控制点(1)清洗间的质量控制点分为三个方面:来料检验,减薄量,绒面观察、表面状态。一、经常出现的不良现象有: 1、 装片人员拆开每一小盒不检查硅片外观直接装片,异常不能及时发现制止 2、 插片时候,手套长时间使用而不更换 3、 减薄量不测或随便写数值,减薄量异常不能及时发现,导致后续出现大量返工片或硅片偏薄。 4、 单晶制绒时候,只通过目视,不用显微镜看绒面,导致绒面不受 控制 5、吃饭时间交接不到位,槽体的化学品状

2、况不清楚,导致绒面不受控制 6 、清洗后的在制品暴露在空气中时间过长44清洗岗位质量控制点(2)二、上述现象中,工艺规程及相关规定中要求:1、按检验要求(检查硅片边缘缺口、表面有无异常斑点、裂纹、有无明显的切割线及划痕等),2、单晶每插好100片更换一次性手套一次。 3、减薄量范围为:单晶125S ( 0.3g -0.4g) 1)做单晶当制绒机刚换过液时,一般把减薄量控制在合格范围的下限。 2)减薄量超出范围,必须找当班工艺确认签字。 3)减薄量的抽查频次为2片/400片并将减薄量的数据写在减薄量记录对应记录格中,便于后道调整工艺要求。4、观察绒面必须用光学显微镜进行观察5、员工在吃饭、间歇的

3、时候必须了解制绒槽的化学液的配比浓度6、清洗后的在制品要求不要长时间的暴露在空气中防止污染55 清洗岗位质量控制点(3)三、对应措施: 1、要求工序长详细了解本道工序的所有质量控制点2、以身作则,在生产过程中对发现质量控制点的地方及时制止并更改3、对员工进行现场培训,做到记录的真实有效果,在后续进行培训效果跟踪。每个月至少进行一次切实的技能排查,针对问题进行培训,再排查4、及时对设备的状态进行确认,发现异常、故障要及时反馈5、主管不定时巡查产线异常。66扩散岗位质量控制点(1)扩散岗位的质量控制点分为三个方面:来料检验,扩散工艺,方块电阻确认一、经常出现的不良现象有:1、石英吸笔在使用前及过程

4、中不进行清洁,导致扩散后有吸笔印2、用手拿舟现象严重,石英舟受污染3、对扩散后的方块电阻不测,数据乱写,导致整体电性能严重不稳定4、不均匀度不及时登记5、员工在作业的时候着装不规范,袖子卷起,口罩下拉,扩散质量存在6、四探针测试仪器不进行清洁7、插片速度太快,导致硅晶脱落、报废超标77 扩散岗位质量控制点(2)二、上述现象中,工艺规程卡中规定:1、舟叉及石英吸笔在使用前必须经酒精擦洗干净2、戴好乳胶手套,用舟叉将石英舟移至净化操作台或碳化硅桨上3、执行力问题,方块电阻是体现扩散结面及整体电性能的重要因素。 在生产过程中,必须严格按照要求对方块电阻进行测量并记录,异常及时通知到工艺进行确认4、同

5、一炉的扩散方块电阻不均匀度要求为:7% 同一硅片扩散方块电阻不均匀度要求为:10% 超过范围时,必须及时通知到工艺5、接触硅片或工夹具的过程中,必须穿戴好工作服、口罩、乳胶手套,严禁将袖子卷起作业,员工的衣物确保不外露6、四探针的测试台每班以酒精进行擦洗,保持清洁7、要求:用真空吸笔每槽两片顺序、缓慢的将硅片插入石英舟,待硅片接触到石英舟的槽体内再将吸笔送开,一舟的插片时间控制为:14分钟。插片过程中检查硅片表面是否合格。8.操作装片过程中严格的挑选返工片,发现异常及时通知清洗间及相关人员。88二. 扩散岗位质量控制点(3)三、对应措施: 1、要求工序长详细了解本道工序的所有质量控制点2、以身

6、作则,在生产过程中对发现质量控制点的地方及时制止并更改3、对员工进行现场培训,做到记录的真实有效果,在后续进行培训效果跟踪。每个月至少进行一次切实的技能排查,针对问题进行培训,再排查4、及时对设备的状态进行确认,发现异常、故障要及时反馈5、主管不定时巡查一次产线。99刻蚀岗位质量控制点主要有:刻蚀效果确认(边缘导电类型等)一、经常发现的不良现象有:1、测量数据乱写,不及时记录,不能发现异常2、不按照要求进行冷热探针测试,导致Rsh异常3、装片人员没有按照要求佩带手套,导致镀膜后产生指纹印4、写好的流程卡放在硅片上,污染硅片5、交接班时候在制品控制不良,下料插好的硅片长时间放在桌子上6、下料吸笔

7、长时间不清洗,导致镀膜有吸盘印7、承载盒放反,插片时未分清扩散面,导致硅片J08、外观检测(刻蚀线、清洗后是否出现水纹印、脱水)9、刻蚀时工夹具的使用,300pcs一刻严禁数量增减。三. 刻蚀岗位质量控制点(1)1010 1、冷热探针电势检测 取刻蚀完的片子用冷热探针测硅片四边,确保四边测的数值均大于30mv才刻通。发现任何一边未大于30mv需通知工艺进行调整 检查频次1-5片/300片,按每刻蚀一张流程卡循环测试,测试硅片时必须佩带一次性手套严禁带乳胶手套进行测片。 2、整个生产过程要戴好口罩和PVC乳胶手套,甩干人员手外层必须佩带一次性手套 禁止不戴乳胶手套直接接触硅片及相关夹具。 3、禁

8、止容易带有粉尘、杂质颗粒的纸制品和木制品直接接触硅片。 4、目测刻蚀后硅片表面的干燥情况,有无水迹或其他污点,禁止硅片长时间暴露在空气中 5、上料硅片间距要求为156S/M5cm 6、装片真空吸笔每使用200400次后用沾有无水乙醇的脱脂棉擦洗吸笔头三. 刻蚀岗位质量控制点(2)1111三. 刻蚀岗位质量控制点(3)三、对应措施: 1、要求工序长详细了解本道工序的所有质量控制点2、以身作则,在生产过程中对发现质量控制点的地方及时制止并更改3、对员工进行现场培训,做到记录的真实有效果,在后续进行培训效果跟踪。每个月至少进行一次切实的技能排查,针对问题进行培训,再排查4、及时对设备的状态进行确认,

9、发现异常、故障要及时反馈5、主管不定时巡查一次产线。1212四. PECVD 岗位质量控制点(1)PECVD岗位主要质量控制点:镀膜质量及不良品的管控一、经常出现的不良现象有: 1、卸片时候不用卸片盒 2、插片或卸片不用吸笔垫,导致有吸盘印 3、小车内的硅片没有及时放入洁净柜 4、袖子卷起,头套不带,口罩未戴好,唾液溅到硅片表面 5、 硅片漏插导致双面镀膜 6、承载盒放反,导致一盒扩散面插反JO 7、插片速度过快,导致边缘甭边或缺角 8、对镀膜质量控制不严,不良品流入下道工序 9、石墨舟使用混乱1313四. PECVD 岗位质量控制点(1)二、工艺规程中规定: 1、在整个生产过程中,要求戴好口

10、罩和乳胶手套,作业时候严禁将袖子卷起 2、PECVD等待装片的片子需放入指定的洁净柜中,插片的时候注意分清扩散面。 3、石英吸笔保持干净, 4、膜后检测(规定) 1)镀膜颜色: 跨越三种颜色的跳色(淡蓝、蓝色、深蓝、淡红、红片)不良,红片不良。 2)镀膜颜色:色斑、背面膜不良。 3)边缘脱晶:不可脱穿 5)工艺点:深度1.5mm 必须停止使用该舟 检查频次:上班生产的各编号第一舟用模版确认。 6)异物残留:亮斑,不论大小和数量绝不允许有。1414 5、石墨舟管控石墨舟管控(规定) 1)石墨舟刻蚀质量控制:使用过程中发现有大量红片立刻通知石墨舟管理员进行拆洗。 2)石墨舟后拆洗后仍有红片的立刻通

11、知石墨舟管理员。PECVD 岗位质量控制点(2)1515PECVD 岗位质量控制点(3)三、对应措施1、首先要求工序长详细了解本道工序的所有质量控制点2、以身作则,在生产过程中对发现质量控制点的地方及时制止并更改3、在生产间歇时对员工进行现场操作培训,对新员工可以利用报废的硅片让新员工进行练习,并在过程中纠正不规范动作4、加强对设备的状态进行确认,发现异常、故障要及时反馈1616丝网岗位质量控制点(1)丝网岗位主要质量控制点:印刷质量一、目前存在的不良现象有:1、着装不规范,袖子卷起,头发外露,不带手套操作等2、浆料搅拌时间不足就开始使用3、台面清理不及时4、真空吸头不擦拭,导致有吸盘印5、首

12、检不全面,导致印刷不良6、印刷超重,浪费成本及烧结异常7、对漏浆、断线、虚印等质量异常不能及时发现或对轻微的 现象不做处理1717二、工艺规程及相关要求中规定: 1、整个印刷生产过程中,要戴好头套,口罩和乳胶手套,不允许头发外露 2、银浆使用前采用卧式搅拌机搅拌24小时,转速20 r/min(主传动) 铝浆必须内嵌搅拌3545分钟 电流设置0.5A1A,30分钟以上。 3、真空吸头每天以酒精擦洗 4、台面、行走带要经常清理,如有碎片现象更要及时清理干净,保证无浆料残留台面 5、印刷前确认 1)物料的确认:检查配料单与物料信息的匹配情况 2)首检:试做5-10片,直到分检检测,包括印刷质量,电性

13、能测试,拉力测试等无异常方可大批量生产。 3)称重:五. 丝网岗位质量控制点(2)1818五. 丝网岗位质量控制点(3)6 6、印刷时控制印刷时控制(规定)(规定) 1)漏浆:正面不得有铝浆脏污。正面印刷图形外的漏浆无。正面印刷图形上的漏浆:无 2)断线:副栅线断线:尺寸1mm,数量2根。 3)虚印:主副栅线无。背电场允许5%对应面积的缺失。 4)变色:主副栅线不允许有变色(烧焦,发黄)现象。背电极不允许变色和背电场允许15%变色。 5)粗线:无 6)正负电极:顺序一致,绝不允许出现正反电极。 7)铝苞:发现第一时间通知相关人员。 8)刮条印明显立即更换刮条。 9)根据丝印的浆料单耗管控进行称重,发现异常第一时间通知相关人员。1919 分检岗位质量控制点分检岗位质量控制主要有:分档方式、包装及标签、入库单打印等分

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