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文档简介
1、单晶炉各动作电机及限位单晶炉各动作电机及限位认识学习认识学习 白永清晶升电机上炉升降电机上炉开闭电机中炉升降电机 晶转电机 埚转电机 埚升电机 阀芯开闭电机 籽晶头上炉筒隔离阀炉盖中炉筒机下炉筒架坩埚驱动机构 方立柱电机分布图籽晶升降电机籽晶升降电机电机编号:M4电源开关:CP6驱动器4# :DRV4(型号:BXD200A-C)驱动器电源:AC 220V电机型号:BX6200CM-5电机功率:200W谐波减速器:5:1 (BK2-电磁刹车 EC2-电磁离合器)谐波减速器接线:(51, 52 ,24N3)继电器CR9PLC输出控制模块:SL33A015-5EPLC模拟量模块: SL33A017-
2、2F籽晶旋转电机籽晶旋转电机电机编号:M3电源开关:CP5驱动器3# :DRV3(型号:BXD200A-C)驱动器电源:AC 220V电机型号:BX6200C-30电机功率:200W电机内部减速:30:1PLC输出控制模块:SL33A015-5FPLC模拟量模块: SL33A017-2P上炉体旋转电机上炉体旋转电机电机编号:M8电源开关:CP2变频器:INV2(型号:E2-2P2-H1 0.2KW)继电器:CR2 (正转)、CR3(反转)、CR4(复位)接触器:MC4电压:3相 AC 220V功率:0.2KW外壳:保护接地隔离阀转动电机隔离阀转动电机电机编号:M7电源开关:CP2继电器:CR5
3、电机型号:2RK6GN-C减速器:铝合金15:1电压:AC 220V功率:6W熔断器:F2外壳:保护接地中炉体旋转电机(选配)中炉体旋转电机(选配)电机编号:M9电源开关:CP2台安变频器:INV2(型号:E2-2P2-H1 0.2KW)小继电器:CR2 (正转)、CR3(反转)、CR4(复位)接触器:MC5电压:3相 AC 220V功率:0.2KW外壳:保护接地上炉体升降电机上炉体升降电机电机编号:M5电源开关:CP1变频器:INV1(型号:FR-S520S- 0.75KW)继电器:CR10(正转)CR11(反转)CR13(复位)接触器:MC2电压:3相 AC 220V功率:0.75KW电磁
4、刹车(B)型号:LPTB2000M4(失电抱死)中炉筒升降电机中炉筒升降电机电机编号:M6电源开关:CP1三菱变频器:INV1(型号:FR-S520S- 0.75KW)大继电器:CR10(正转)CR11(反转)CR13(复位)接触器:MC3电压:3相 AC 220V功率:0.75KW电磁刹车(B)型号:LPTB2000M4 (失电抱死)坩埚旋转电机坩埚旋转电机电机编号:M1电源开关:CP3驱动器1# :DRV1(型号:BXD200A-C)驱动器电源:AC 220V电机型号:BX6200C-50电机功率:200W电机内部减速:50:1PLC输出控制模块:SL33A015-5CPLC模拟量模块:
5、SL33A017-2F坩埚升降电机坩埚升降电机电机编号:M2电源开关:CP4驱动器2# :DRV2(型号:BXD200A-C)驱动器电源:AC 220V电机型号:BX6200C-50电机功率:200W谐波减速器:5:1 (BK1-电磁刹车 EC1-电磁离合器)谐波减速器接线:(57, 58 ,24N3)继电器CR8PLC输出控制模块:SL33A015-5CPLC模拟量模块: SL33A017-2F主泵电机型号:Y160M-4功率:11KW 电压:三相AC380V电流:22.6A转速:1460r/min效率:88.4%接法:“ ”单晶炉限位开关(18个)坩埚上限位 X0020 大红坩埚下限位 X0021 大红坩埚原点限位 X0022 大绿坩埚限位籽晶上限位 X0023 红外对射籽晶下限位 X0024 大红籽晶原点限位 X0025 大绿籽晶限位上炉体上限位 X0026 大红上炉体下限位 X0027 大红上炉体上升到位限位 X0028 大绿上炉体下降到位限位 X0029 大绿上炉打开到位限位 X002A 中红上炉打开到位限位 X002B 中红上炉体限位隔离阀、中炉体限位隔离
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