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文档简介

1、1会计学传感器用薄膜材料与技术传感器用薄膜材料与技术半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体表面接触时， 产生的电导率等物理性质变化来检测气体的。按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导体表面或深入到半导体内部，可分为表面控制型和体控制型，前者半导体表面吸附的气体与半导体间发生电子接受，结果使半导体的电导率等物理性质发生变化，但内部化学组成不变；后者半导体与气体的反应，使半导体内部组成发生变化，而使电导率变化。按照半导体变化的物理特性，又可分为电阻型和非电阻型，电阻型半导体气敏元件是利用敏感材料接触气体时，其阻值变化来检测气体的成分或浓度； 非电阻型半导体气敏元件是利用其它参数，如二极管伏

2、安特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体的。表11-1为半导体气敏元件的分类。气敏电阻的温度特性如图所示，图中纵坐标为灵敏度，既由于电导率的变化所引起在负载上所得到的值号电压。由曲线可以看出，SNO2在室温下虽然能吸附气体，但其电导率变化不大。当温度增加后，电导率就发生较大的变化，因此气敏元件在使用时需要加温。薄膜型SnO2器件是在绝缘衬底上采用蒸发、溅射或化学气相淀积等方法制作SnO2敏感膜的。具有很高的灵敏度和响应速度。敏感体的薄膜化有利于器件的低功耗、小型化，以及与集成电路制造技术兼容。0RH(%)R()20104060101080100120103465图2.5.5 高分子膜湿敏电阻的结构与特性三氧化二铁-聚乙二醇高分子膜湿敏电阻的结构与特性。MgO基板上形成PLT薄膜，然后涂布聚酰亚胺，开导体连接用通孔，形成NiCr电极，再涂涂布聚酰亚胺膜，将试件上下反转蘑菇顶在陶瓷基板上，去除MgO基板，再形成NiCr电极，由此完成线性阵列传感器制作。与PbTiO3传感器

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