无尘室概念及管制说明_S03H0

1、1AUO Proprietary & ConfidentialAUO Proprietary & Confidential2AUO Proprietary & Confidential课课 程程 大大 纲纲一、洁净室的定义一、洁净室的定义二、洁净室的功能二、洁净室的功能三、洁净度的定义三、洁净度的定义四、洁净室环境要求四、洁净室环境要求五、洁净室的管理五、洁净室的管理3AUO Proprietary & Confidential 控制产品所接触大气的洁净度及温湿度：控制产品所接触大气的洁净度及温湿度： 不论室外空气条件如何变化，室内都还能维持原先设不论室外空气条

2、件如何变化，室内都还能维持原先设 定的空气条件定的空气条件.使产品能在一个良好的环境中生产制造使产品能在一个良好的环境中生产制造. . 如：如：TFT-LCD能在一个洁净度良好、温能在一个洁净度良好、温 湿度、压力稳定的环境中被生产制造湿度、压力稳定的环境中被生产制造.洁净室的定义洁净室的定义洁净室就是所谓的无尘室洁净室就是所谓的无尘室:4AUO Proprietary & Confidential 将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度与照度、将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度与照度、 噪音、振动、静电等条件控制在某一需求范围内噪音、振动、静电等条件控制在某一需求范围内.洁净室的

3、功能洁净室的功能温度温度湿度湿度风速风速照度照度噪音噪音2426270.5 m/s250700 LUX65 dB洁净室最主要功能洁净室最主要功能: 将一定范围内空气中的将一定范围内空气中的微尘粒子微尘粒子( particle ) 、 有害空气有害空气、细菌细菌等等污染物污染物排除排除.洁净室环境要求洁净室环境要求:5AUO Proprietary & Confidential洁净度的定义洁净度的定义FED-209洁净度等級洁净度等級 S03厂无尘室等级为厂无尘室等级为1000级级6AUO Proprietary & Confidential洁净度的定义洁净度的定义Particl

4、e来源来源:7AUO Proprietary & ConfidentialParticle 防制原则防制原则洁净室环境要求洁净室环境要求Particle测量仪测量仪不带入不带入排排 除除不堆积不堆积不产生不产生8AUO Proprietary & Confidential二、不可产生二、不可产生 particle . 无尘服穿着确实无尘服穿着确实 . 规划作业规划作业 . 避免内装会产生避免内装会产生particle 四、排除四、排除 particle . 维持排气畅通维持排气畅通 . 维持气流稳定维持气流稳定洁净室环境要求洁净室环境要求一、不可带入一、不可带入 particl

5、e . 穿着无尘服穿着无尘服 . 物品携入前，先清洁物品携入前，先清洁 . 环境压差确认环境压差确认 三、不可积累三、不可积累 particle . 选择易清洁之材质选择易清洁之材质 . 定期清洁定期清洁 . 防静电产生防静电产生,避免浮游避免浮游 粒子吸附粒子吸附Particle 防制原则防制原则:9AUO Proprietary & Confidential洁净室的管理洁净室的管理目目的的一、维持洁净室之等级一、维持洁净室之等级二、符合生产环境要求二、符合生产环境要求三、避免产品受到污染三、避免产品受到污染范范围围一、人员进出规定一、人员进出规定二、无尘服穿着顺序二、无尘服穿着顺序

6、三、物品设备相关规定三、物品设备相关规定四、人员秩序相关规定四、人员秩序相关规定五、五、Gowning room 管理管理10AUO Proprietary & Confidential人员进出规定：人员进出规定：一、进入洁净室须穿戴无尘服、网帽、口罩、静电手套一、进入洁净室须穿戴无尘服、网帽、口罩、静电手套.二、进入洁净室时必须依规定通行二、进入洁净室时必须依规定通行“风淋室风淋室”. 三、进入洁净室后三、进入洁净室后,必须量测静电手环是否必须量测静电手环是否OK.四、离开无尘室时四、离开无尘室时,必须依规定关闭必须依规定关闭“双向对开门双向对开门”.五、非紧急状况五、非紧急状况,不

7、得使用安全门不得使用安全门.六、设备商进厂及来宾参访六、设备商进厂及来宾参访,须提出申请须提出申请, 并了解洁净室规并了解洁净室规洁净室的管理洁净室的管理（一一）11AUO Proprietary & Confidential1.1.进风淋室时进风淋室时, ,双脚必须在粘尘垫上踩过双脚必须在粘尘垫上踩过. .2.2.在风淋室内不可靠墙在风淋室内不可靠墙. .3.3.所有进入无尘室的原材料或治具、工具、零配件等所有进入无尘室的原材料或治具、工具、零配件等 均需擦拭干净后经风淋室洗尘，方可进入无尘室均需擦拭干净后经风淋室洗尘，方可进入无尘室. .4.4.出双向对开门时出双向对开门时, ,两

8、边门不可同时打开两边门不可同时打开. .5.5.在双向对开门内不可脱手套、口罩等在双向对开门内不可脱手套、口罩等. .风淋室风淋室&双向对开门注意事项双向对开门注意事项:洁净室的管理洁净室的管理（一一）12AUO Proprietary & Confidential1.进入进入3F-FI产线的人员统一从产线的人员统一从 通道进入后按指定的路标走通道进入后按指定的路标走. 三人以上必须排队三人以上必须排队,且排整齐且排整齐 不可打闹不可打闹,严禁嘻戏严禁嘻戏.2.进入进入2F-FI产线的人员由产线的人员由2F Carton check 1线进入线进入.洁净室的管理洁净室的管理（一

9、一）13AUO Proprietary & Confidential1.将所有头发整理塞进工帽将所有头发整理塞进工帽.2.耳朵可外露耳朵可外露,头发不可外露头发不可外露.3.工帽戴正不可歪斜工帽戴正不可歪斜,有带子有带子 的戴到后方的戴到后方.4.后段为非无尘环境后段为非无尘环境,清洗由清洗由 同仁自行负责同仁自行负责.洁净室的管理洁净室的管理（一一）FI段戴工帽注意事项段戴工帽注意事项:14AUO Proprietary & Confidential洁净室的管理洁净室的管理（二二）穿无尘服规范穿无尘服规范1.扎好头发扎好头发,带好网帽带好网帽,(如图一如图一). 穿无尘服穿无

10、尘服.MPG 注注:在戴网帽时要把头发全部放到网帽里去在戴网帽时要把头发全部放到网帽里去,不可漏出来不可漏出来.2.带上无尘帽带上无尘帽,检查头发是否露出检查头发是否露出(如图二如图二).3.带上口罩带上口罩.(如图三如图三).图一图一图二图二图三图三15AUO Proprietary & Confidential4.穿无尘服拉上拉链穿无尘服拉上拉链.(如图四如图四)5.穿上无尘鞋套穿上无尘鞋套,贴好魔鬼贴贴好魔鬼贴.6.穿上无尘鞋穿上无尘鞋, 穿无尘鞋时脚禁止搭在鞋柜上穿无尘鞋时脚禁止搭在鞋柜上.(如图五如图五).7.带上静电环及静电手套带上静电环及静电手套,在整装镜前整理在整装镜前

11、整理OK后进入无尘室后进入无尘室. 注注:手套和无尘衣接口处皮肤不可以露出手套和无尘衣接口处皮肤不可以露出(如图六如图六)洁净室的管理（二）洁净室的管理（二）16AUO Proprietary & Confidential脱无尘服规范脱无尘服规范:脱去无尘鞋套脱去无尘鞋套. 洁净室的管理（二）洁净室的管理（二）脱无尘服脱无尘服脱无尘帽脱无尘帽挂无尘服挂无尘服脱去无尘鞋脱去无尘鞋脱去静电手套脱去静电手套脱静电环脱静电环17AUO Proprietary & Confidential 将头发扎好不可披发将头发扎好不可披发(男生不可留长发男生不可留长发).戴上网帽将戴上网帽将所有头发

12、包住所有头发包住,头发不可外漏头发不可外漏.戴上口罩需戴上口罩需遮住口鼻遮住口鼻,口罩上的铁丝要捏一下卡住鼻子口罩上的铁丝要捏一下卡住鼻子, 防止口罩掉下来防止口罩掉下来.戴上无尘帽戴上无尘帽,网帽不可外漏网帽不可外漏.穿上无尘服穿上无尘服,无尘帽领需没于无尘衣内无尘帽领需没于无尘衣内(不可坐在地上穿不可坐在地上穿). 穿上无尘鞋穿上无尘鞋(不可以踩踏鞋柜、隔板不可以踩踏鞋柜、隔板 ),裤管需扎入鞋套里裤管需扎入鞋套里. 在戴上静电环和静电手套在戴上静电环和静电手套.洁净室的管理（二）洁净室的管理（二）18AUO Proprietary & Confidential洁净室的管理（三）洁

13、净室的管理（三）物品相关规定物品相关规定 1）进入洁净室之物品进入洁净室之物品,一律均须洁净后方可携入一律均须洁净后方可携入. 2）文件、纸张及手册文件、纸张及手册,必须使用洁净室专用必须使用洁净室专用之长纤维之长纤维. 3）洁净室内仅可使用洁净室内仅可使用圆珠笔圆珠笔、油性签字笔油性签字笔(投影笔投影笔). 4）搬入洁净室之重物搬入洁净室之重物,必须使用专用推车运送必须使用专用推车运送,以免刮伤地板以免刮伤地板. 5）过重设备之搬运过重设备之搬运,需先铺设钢板后需先铺设钢板后,方可进行搬运方可进行搬运. 6）挥发性化学品于搬入洁净室挥发性化学品于搬入洁净室,必须放置于化学防爆柜必须放置于化学

14、防爆柜(酒精酒精). 7）厂商所携带之物品须由相关人员检查是否洁净厂商所携带之物品须由相关人员检查是否洁净,方可携入方可携入 .19AUO Proprietary & Confidential洁净室的管理（四）洁净室的管理（四）人员秩序规定人员秩序规定:必须依规定必须依规定穿戴整齐穿戴整齐,不能穿不能穿丝袜、毛衣丝袜、毛衣.为控制发尘量为控制发尘量,禁止高声呼喊禁止高声呼喊,严禁嘻戏严禁嘻戏.无尘室内无尘室内严禁睡觉严禁睡觉,步行必须步行必须慢速缓行慢速缓行,不可奔跑不可奔跑,.须常洗手、须常洗手、剪指甲剪指甲保持个人整洁保持个人整洁,不可戴手饰不可戴手饰.禁止带禁止带饮料、食品饮料、

15、食品进入无尘室进入无尘室.严禁在无尘服上写字及绘图严禁在无尘服上写字及绘图,不可不可化妆、涂指甲油化妆、涂指甲油.无尘室内所使用的工具器材无尘室内所使用的工具器材,如桌椅、推车、吸尘器如桌椅、推车、吸尘器均需符合洁净规定均需符合洁净规定. 20AUO Proprietary & ConfidentialGowning room 相关管理相关管理:一、无尘服须依规定送洗一、无尘服须依规定送洗(1 次次/周周)鞋鞋(1次次/2周周)二、未经许可二、未经许可,严禁摄影、拍照及录音严禁摄影、拍照及录音.三、网帽及口罩用毕三、网帽及口罩用毕,须确实丢入垃圾桶须确实丢入垃圾桶.四、更换无尘服时严禁

16、嘻戏、大声喧哗，无尘服、无尘鞋用毕四、更换无尘服时严禁嘻戏、大声喧哗，无尘服、无尘鞋用毕 后按规定摆放好后按规定摆放好.五、静电环挂于衣服架上；无尘服按同一方向五、静电环挂于衣服架上；无尘服按同一方向(左袖统一外侧左袖统一外侧) 拉链拉好拉链拉好,魔鬼贴粘好魔鬼贴粘好.六、无尘鞋鞋跟朝外摆放整齐六、无尘鞋鞋跟朝外摆放整齐,鞋柜里不可以放任何垃圾鞋柜里不可以放任何垃圾.七、各部门之耗材需求均须登记后七、各部门之耗材需求均须登记后,方可领取使用方可领取使用.洁净室的管理（五）洁净室的管理（五）21AUO Proprietary & Confidential袖章辩识袖章辩识: :洁净室的管理（六）洁净室的管理（六）线长线长领班领班带线工程师带线工程师训练员训练员物料员物料员IPQCIPQC22AUO Proprietary