传感器_00绪论

1、传感器原理及应用机械与汽车工程学院机械与汽车工程学院 主主 讲：黄海鸿讲：黄海鸿 电电 邮：邮： 地地 址：机械楼址：机械楼417室室2014年4月15日Principles and Applications of Transducer1与传感器有关的几款产品n电动自行车“轮子转换器”n台湾的自行车生产商DK city推出了一款新型的自行车前轮，可以帮助人们更加便捷地将普通自行车转变为电动自行车。该轮子内置了马达、电池、控制器等装置，同时配有一只可安装在车把手上的小型无线控制手柄，方便用户随时查看电量和骑行信息。这款车轮有多种鲜艳的颜色可供选择，目前生产的型号为20英寸与26英寸，可适用于多种

2、款型的自行车。2与传感器有关的几款产品n激光摄像机可拍摄室内全角图 nMIT的研究人员最近展示了全球首款能看见全角的摄像机，人们能清晰地看到隐藏在墙后或者地震后被埋人的三维图像。n这台摄像机会朝墙后看不见的地方发射超快激光脉冲，捕捉到其三维反光，并计算光束反弹回其内置的传感器的时间，最终创建出一副三维立体图像，图像的精确范围能达到1厘米。新系统进行了多个实验，让光从墙上不同的点反射回来，这样，光能以不同的角度进入房间。摄像机内置的探测器也在不同角度测量了反射光。通过比较反射光“撞击”探测器不同部分的时间，该系统能精确拼出房间内的图像。n这套系统未来能被用来处理紧急情况。比如，消防员用来寻找起火

3、大楼中的幸存者；警察探测是否能安全地进入房间搜索疑犯；或者用于汽车的导航系统内，其能将光反射回地面上，以便司机看到盲区内的情况。 3与传感器有关的几款产品n人机互动控制系统 告别鼠标用手n双手控制这种人机互动控制系统被命名为G-Speak。使用这套系统的人不需要鼠标就可以向电脑传达指令。使用者只需戴上一副特制的手套，用双手就可以实现人机互动。英国每日邮报网站7月23日援引系统开发人员约翰昂德科夫勒的话说：“人类的双手是世界上最灵巧的控制工具（这套系统的）理念就是抛开鼠标，直接用双手来完成控制，可以描画、滑推、指戳或是拖动。”该系统工作时，使用者可以通过点击选中屏幕上的物体，把手向身体一边靠近就

4、可以拉近、放大物体，把手移向旁边则可以把物体移动到其他屏幕上；而且屏幕上的物体就像真实存在一样，能与人手互动。 4待回答问题n什么是传感器？n传感器在机电系统中的应用？n机械制造、汽车、家电n日常生活n如何更好地利用传感器？nBetter sensors, better life.5课程内容题目授课内容学时数第0章绪论传感器的定义、分类和在机电系统中应用2第一章传感器的一般特性传感器的静态特性、动态特性和选用原则2第二章应变式传感器金属应变片式、压阻式传感器2第三章电容式传感器电容式传感器的类型和应用2第四章电感式传感器自感式、电涡流式传感器和差动变压器2第五章压电式传感器石英晶体、压电陶瓷的

5、传感原理及应用2第六章数字式传感器码盘式、光栅式传感器原理及应用2第七章光电式传感器光电效应原理及应用2第八章磁电式传感器霍尔传感器和磁电感应式传感器2第九章光纤式传感器光导纤维式传感器原理及应用2实 验地点：机械楼南楼226室4总学时：总学时：20 + 4 + 12 20 + 4 + 12 6课时安排n第914周上课n周二下午7，8节、周五下午5，6节n4月15日，18日，22日，25日，28日n5月4日(调课)，6日，9日，13日，16日n第14周做实验n5月20日，23日n几点要求7课程考核办法n课程性质：专业基础课n课程成绩组成n平时成绩实验成绩考核成绩n考核方法n闭卷、开卷、考查n考

6、察：知识积累和总结、思考能力 8参考书籍n传感器原理及应用（第3版），王化祥 等编著，天津大学出版社，2007年n传感技术与应用教程（第2版），张洪润 等编著，清华大学出版社，2009年n传感器原理与应用，孟立凡 等编著，电子工业出版社，2007年n制造业传感器，屯肖夫 等编著，杨树人 等译，化学工业出版社，2005年nn传感器使用说明书9其他学习途径n上网（学习论坛、产品网站）n例如：上海交通大学物理实验中心开放式学习系统 n参观n科技馆、展览会n动手n参加实践项目n10传感器的引入n人体与机器系统的比较n人通过五官（视、听、嗅、味、触）接受外界的信息，经过大脑的思维（信息处理），作出相应的

7、动作。n机器用计算机控制的自动化装置代替人的劳动。可以说，电子计算机相当于人的大脑（一般俗称电脑），而传感器则相当于人的五官部分（“电五官” ）。11传感器的引入n人体与机器系统的比较12课程地位和作用课程地位和作用 传感器的引入先修课程先修课程 高等数学、大学物理、测试技术、高等数学、大学物理、测试技术、电工技术、电子技术、控制工程电工技术、电子技术、控制工程13第0章 绪论n第一节 传感器的作用和重要性n第二节 传感器的定义和组成n第三节 传感器的分类n第四节 传感器在机电系统中的应用140.1 传感器的作用和重要性n传感器的作用n传感器实际上是一种功能块，其作用是将来自外界的各种信号转换

8、成电信号。n它是将外界的输入信号变换为电信号的一类元件。n传感器是获取环境中信息的主要途径与手段。传感器来自外界的信号电信号传感器功用：一感二传,即感受被测信息,并传送出去。15n现代信息技术的三大支柱之一 n传感器技术（信息采集） - “感官”n通信技术 （信息传输） - “神经”n计算机技术（信息处理） - “大脑”n现代测量与自动控制的首要环节n传感器是信息采集系统首要部件：计算机“五官”。 n没有传感器对原始信息进行精确、可靠的捕获和转换，一切测量和控制都是不可能实现的。n“没有传感器就没有现代科学技术”的观点已为全世界所公认。0.1 传感器的作用和重要性16n 衡量国家综合实力的重要

9、标志 传感器与传感器技术的发展水平是衡量一个国家综合实力的重要标志，也是判断一个国家科学技术现代化程度与生产水平高低的重要依据。 日本：日本：传感器技术列为计算机、通讯、激光、半导体、超导和传传感器技术列为计算机、通讯、激光、半导体、超导和传感器等六大核心技术之一。在感器等六大核心技术之一。在2121世纪技术预测中将传感器列为首位。世纪技术预测中将传感器列为首位。 美国：美国：传感器及信号处理列为对国家安全和经济发展有重要影响传感器及信号处理列为对国家安全和经济发展有重要影响的关键技术之一。的关键技术之一。 欧洲：欧洲：传感器技术作为优先发展的重点技术。传感器技术作为优先发展的重点技术。 中国

10、：中国：在国家重点科技项目中，传感器也列在重要位置。在国家重点科技项目中，传感器也列在重要位置。0.1 传感器的作用和重要性170.1 传感器的作用和重要性n传感器的作用n近年来，传感器所检测的信号逐渐增加，其种类也很多。传感器已渗透到诸如工业生产、宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源调查、医学诊断、生物工程、甚至文物保护等等极其广泛的领域。n毫不夸张地说：几乎每一个现代化工程系统，都离不开各种各样的传感器。n为了对各种各样的信号进行检测、控制，就必须获得尽量简单、易于处理的信号，这样的要求只有电信号能够满足。电信号能较容易地进行放大、反馈、滤波、微分、存贮、远距离操作等。180.2 传感器的定

11、义和组成n传感器的定义n传感器（transducer，sensor）是将某种非电量（包括物理量、化学量、生物量等）按一定规律转换成便于处理和传输的另一种物理量（一般为电量）的装置。n“传感器是测量系统中的一种前置部件，它将输入变量转换成可供测量的信号。” 国际电工委员会 (International Electrotechnical Committee， IEC)190.2 传感器的定义和组成n传感器的定义n传感器是能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。n传感器是一种以一定的精确度把被测量转换为与之有确定对应关系的、便于应用的某种物理量的测量装置。200.2 传感器

12、的定义和组成n传感器的定义n传感器是测量装置，能完成检测任务。n输入量是某一被测量，可能是物理量，也可能是化学量、生物量等。n输出量是某种物理量，这种量要便于传输、转换、处理、显示等，这种量可以是气、光、电，但主要是电量。n输入、输出有对应关系，且应有一定的精确度。210.2 传感器的定义和组成n传感器的组成n传感器一般由敏感元件、转换元件、转换电路三部分组成电信号被测量 敏感元件转换元件转换电路辅助电源220.2 传感器的定义和组成n传感器的组成n敏感元件（Sensitive element）：直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的某一物理量的元件。n转换元件（Transduction

13、element）：以敏感元件的输出为输入，把输入转换成电路参数。n转换电路（Transduction circuit）：将转换电路参数接入转换电路，便可转换成电量输出。23测量压力的电测量压力的电位器式压力传位器式压力传感器的组成感器的组成 0.2 传感器的定义和组成被测非电量：被测非电量：外界压力外界压力敏敏 感感 元元 件：件：弹性体弹性体有用非电量：有用非电量：极板间距变化极板间距变化传传 感感 元元 件：件：平行板电容器平行板电容器有有 用用 电电 量：量：电容量电容量C240.2 传感器的定义和组成n传感器的组成n有些传感器很简单，仅由一个敏感元件（兼作转换元件）组成，它感受被测量时

14、直接输出电量。如热电偶。n有些传感器由敏感元件和转换元件组成，没有转换电路。n有些传感器，转换元件不止一个，要经过若干次转换。250.2 传感器的定义和组成n传感器的组成n例：超声波传感器n压电式超声波发生器利用压电晶体的谐振来工作的。超声波发生器有两个压电晶片和一个共振板。当它的两极外加脉冲信号，其频率等于压电晶片的固有振荡频率时，压电晶片将会发生共振，并带动共振板振动，便产生超声波。反之，如果两电极间未外加电压，当共振板接收到超声波时，将压迫压电晶片作振动，将机械能转换为电信号，这时它作为超声波接收器。 探头换能原理测距电路板26国标国标GB/T14479-93规定传感器图用图形符号表示方

15、法：规定传感器图用图形符号表示方法：传感器的图形符号传感器的图形符号 0.2 传感器的定义和组成270.3 传感器的分类n传感器的分类n按被测量来分n按物理原理来分n按构成原理来分（结构型和物性型）n按能量转换情况来分（能量控制型和能量转换型）n按输出信号来分（模拟信号和数字信号）280.3 传感器的分类n传感器的分类n按被测量来分被测量类别输 入 量 （用 途）机械量 位移（线位移、角位移），尺寸、形状；力、力矩、应力；重量、质量；转速、线速度；振动幅度、频率、加速度、噪声热工量 温度、热量、比热；压力、压差、真空度；流量、流速、风速状态量 颜色、透明度、磨损量、材料内部裂缝或缺陷、气体泄漏

16、、表面质量 物性和成分量 气体化学成分、液体化学成分；酸碱度（PH值）、盐度、浓度、粘度；密度、比重290.3 传感器的分类n传感器的分类n按物理原理来分n电参量式传感器：电阻式、电感式、电容式等； n压电式传感器： 声波传感器、超声波传感器； n光电式传感器： 一般光电式、光栅式、激光式、光电码盘式、光导纤维式、红外式、摄像式等；n磁电式传感器： 磁电感应式、霍尔式、磁栅式等；300.3 传感器的分类n传感器的分类n按物理原理来分n热电式传感器： 热电偶、热电阻； n波式传感器： 超声波式、微波式等；n射线式传感器： 热辐射式、射线式；n半导体式传感器： 霍尔器件、热敏电阻；n其他原理的传感

17、器：差动变压器、振弦式等。310.3 传感器的分类n传感器的分类n按构成原理来分n结构型传感器n利用物理学中场的定律构成的，包括动力场的运动定律，电磁场的电磁定律等。n以传感器中元件相对位置变化引起场的变化为基础。n物性型传感器n利用物质定律，如虎克定律、欧姆定律等。物质定律是表示物质某种客观性质的法则，大多数是以物质本身的常数形式给出。n传感器的性能随材料的不同而异。如：光电管利用外光电效应，其特性与涂覆在电极上的材料有关。又如，所有半导体传感器，以及所有利用各种环境变化而引起的金属、半导体、陶瓷、合金等性能变化的传感器，都属于物性型传感器。 320.3 传感器的分类n传感器的分类n按能量转

18、换情况来分n能量控制型传感器n传感器将从被测对象获取的信息能量用于调制或控制外部激励源，使外部激励源的部分能量载运信息而形成输出信号，这类传感器必须由外部提供激励源。如电阻、电感、电容等电路参量传感器，以及基于应变电阻效应、磁阻效应、热阻效应、光电效应、霍尔效应等的传感器。n能量转换型传感器n又称有源型或发生器型。传感器将从被测对象获取的信息能量直接转换成输出信号能量，主要由能量变换元件构成，它不需要外电源。如基于压电效应、热电效应、光电动势效应等的传感器。 330.3 传感器的分类n传感器的分类n按输出信号来分n模拟式传感器n输出在宏观层面上以连续方式改变。信息一般由幅度获得，在时域中具有输

19、出的传感器通常被认为是模拟传感器。如电位器。n数字式传感器n输出采取离散步距或离散态的形式。数字传感器不需要模/数转换器（ADC），它的输出比模拟传感器的输出更容易传输。数字输出不仅重复性好、可靠性高，而且往往更加精确。但令人遗憾的是，数字传感器却不能测量许多物理量。典型的数字传感器有位置编码器。 340.4 传感器在机电系统中的应用n传感器的应用领域350.4 传感器在机电系统中的应用n传感器在机电系统中的功能36n自动检测与自动控制系统n石油、化工、电力、钢铁、机械等加工工业。 造纸造纸木材烘干木材烘干烟草加工烟草加工芯片生产芯片生产化工化工纺织纺织0.4 传感器在机电系统中的应用370.

20、4 传感器在机电系统中的应用n机器人n电场预接触传感器（英特尔IDF 2008）n机器人被设置后，通过手上的电场预接触来控制物体，这是一种鱼类而非人类使用的新奇感知方式，所以机器人可以在接触到物体之前就能“感知”物体。380.4 传感器在机电系统中的应用n家电390.4 传感器在机电系统中的应用n汽车400.4 传感器在机电系统中的应用n汽车n可变光形前照灯(Adaptive Front-lighting System, AFS)随动转向功能自动调光功能 410.4 传感器在机电系统中的应用n教学、娱乐n汽车、飞行器驾驶模拟器42n传感器在军事技术领域的应用n“改变那种认为军事力量主要是军舰、

21、坦克和飞机的概念，把我们的注意力放在思考信息和电信技术所能提供的军事力量上来。这场军事革命标志着一种转变，即从重视军舰、坦克和飞机，转为重视诸如传感器这类东西的作用。”n“信息时代的军事革命”美国参联会副主席欧文斯上将0.4 传感器在机电系统中的应用43n 传感器在医疗及人体医学上的应用n医用传感器：人体内部温度、血液、呼吸流量、 肿瘤、心音、腔内压力、心脑电波。 n 传感器与航空及航天n飞行器：控制在预定轨道上。n速度、加速度、飞行距离测量：陀螺仪、阳光传感器、星光传感器、地磁传感器。n周围环境、内部设备监控、本身状态。 0.4 传感器在机电系统中的应用44n在在“阿波罗阿波罗10”10”的

22、运载火箭部分，检测加速度、的运载火箭部分，检测加速度、声学、温度、压力、振动、流量、应变等等参数声学、温度、压力、振动、流量、应变等等参数的传感器共有的传感器共有20772077个，宇宙飞船部分共有各种传个，宇宙飞船部分共有各种传感器感器12181218个。个。n在飞行器的研制过程中，同样也要用到各种传感在飞行器的研制过程中，同样也要用到各种传感器对样机进行大量的地面测试和空中测试，使其器对样机进行大量的地面测试和空中测试，使其符合各项技术性能指标。符合各项技术性能指标。0.4 传感器在机电系统中的应用45n传感技术的发展分为两个方面：提高与改善传感器的技术性能；寻找新原理、新材料、新工艺及新

23、功能等。 一、改善传感器的性能的技术途径一、改善传感器的性能的技术途径1 1、差动技术、差动技术 差动技术是传感器中普遍采用的差动技术是传感器中普遍采用的技术。它的应用可显著地减小温度变技术。它的应用可显著地减小温度变化、电源波动、外界干扰等对传感器化、电源波动、外界干扰等对传感器精度的影响，抵消了共模误差，减小精度的影响，抵消了共模误差，减小非线性误差等。不少传感器由于采用非线性误差等。不少传感器由于采用了差动技术，还可使灵敏度增大。了差动技术，还可使灵敏度增大。0.5 传感器技术的发展趋势46 2 2、平均技术、平均技术 作用：作用： 在传感器中普遍采用平均在传感器中普遍采用平均技术可产生

24、平均效应。技术可产生平均效应。 原理：原理：利用若干个传感单元同时利用若干个传感单元同时感受被测量，输出则是这些单元输出感受被测量，输出则是这些单元输出的平均值，若将每个单元可能带来的的平均值，若将每个单元可能带来的误差均可看作随机误差且服从正态分误差均可看作随机误差且服从正态分布，根据误差理论，布，根据误差理论，n个传感单元数总个传感单元数总的误差将减小为的误差将减小为在传感器中利用平均在传感器中利用平均技术不仅可使传感器误差减技术不仅可使传感器误差减小，且可增大信号量，即增小，且可增大信号量，即增大传感器灵敏度。大传感器灵敏度。nX00 xxxx1y2y3ynyniiyY1123n00n0

25、0.5 传感器技术的发展趋势473 3、补偿与修正技术、补偿与修正技术 补偿与修正技术的运用大致针对两种情况：补偿与修正技术的运用大致针对两种情况： 针对传感器本身特性针对传感器本身特性 针对传感器的工作条件或外界环境针对传感器的工作条件或外界环境 对于传感器特性，找出误差的变化规律，或者测出其大小和方向，采对于传感器特性，找出误差的变化规律，或者测出其大小和方向，采用适当的方法加以补偿或修正。用适当的方法加以补偿或修正。 针对传感器工作条件或外界环境进行误差补偿，也是提高传感器精度的针对传感器工作条件或外界环境进行误差补偿，也是提高传感器精度的有力技术措施。不少传感器对温度敏感，由于温度变化

26、引起的误差十分可观。有力技术措施。不少传感器对温度敏感，由于温度变化引起的误差十分可观。为了解决这个问题，必要时可控制温度，用恒温装置，但往往费用太高，或为了解决这个问题，必要时可控制温度，用恒温装置，但往往费用太高，或使用现场不允许。而在传感器内引入温度误差补偿又常常是可行的。这时应使用现场不允许。而在传感器内引入温度误差补偿又常常是可行的。这时应找出温度对测量值影响的规律，然后引入温度补偿措施。找出温度对测量值影响的规律，然后引入温度补偿措施。补偿与修正，可以利用电子线路（硬件）来解决，也可以采用微补偿与修正，可以利用电子线路（硬件）来解决，也可以采用微型计算机通过软件来实现。型计算机通过

27、软件来实现。0.5 传感器技术的发展趋势484 4、屏蔽、隔离与干扰抑制、屏蔽、隔离与干扰抑制 传感器大都要在现场工作，现场的条件往往是难以充分预料的，传感器大都要在现场工作，现场的条件往往是难以充分预料的，有时是极其恶劣的。各种外界因素要影响传感器的精度与各有关性能。有时是极其恶劣的。各种外界因素要影响传感器的精度与各有关性能。为了减小测量误差，保证其原有性能，就应设法削弱或消除外界因素为了减小测量误差，保证其原有性能，就应设法削弱或消除外界因素对传感器的影响。对传感器的影响。基本方法有：基本方法有：u 减小传感器对影响因素的灵敏度减小传感器对影响因素的灵敏度u 降低外界因素对传感器实际作用

28、的程度降低外界因素对传感器实际作用的程度对于电磁干扰，可以采用对于电磁干扰，可以采用屏蔽屏蔽、隔离隔离措施，也可用措施，也可用滤波滤波等方法等方法抑制。对于如温度、湿度、机械振动、气压、声压、辐射、甚至气抑制。对于如温度、湿度、机械振动、气压、声压、辐射、甚至气流等，可采用相应的隔离措施，如隔热、密封、隔振等，或者在变流等，可采用相应的隔离措施，如隔热、密封、隔振等，或者在变换成为电量后对干扰信号进行分离或抑制，减小其影响。换成为电量后对干扰信号进行分离或抑制，减小其影响。 0.5 传感器技术的发展趋势49在使用传感器时，若测量要求较高，必要时也应对附加的调整元在使用传感器时，若测量要求较高，

29、必要时也应对附加的调整元件、后续电路的关键元器件进行老化处理。件、后续电路的关键元器件进行老化处理。提高传感器性能的稳定性措施：提高传感器性能的稳定性措施：对材料、元器件或传感器整体进行必要的稳定性处理对材料、元器件或传感器整体进行必要的稳定性处理。如永磁。如永磁材料的时间老化、温度老化、机械老化及交流稳磁处理、电气元件材料的时间老化、温度老化、机械老化及交流稳磁处理、电气元件的老化筛选等。的老化筛选等。造成传感器性能不稳定的原因：造成传感器性能不稳定的原因：随着时间的推移和环境条件的变化，构成传感器的各种材料与随着时间的推移和环境条件的变化，构成传感器的各种材料与元器件性能将发生变化。元器件

30、性能将发生变化。5稳定性处理稳定性处理传感器作为长期测量或反复使用的器件，稳定性显得特别重要。传感器作为长期测量或反复使用的器件，稳定性显得特别重要。在那些很难或无法定期标定的场合，稳定性胜过精度指标。在那些很难或无法定期标定的场合，稳定性胜过精度指标。0.5 传感器技术的发展趋势50v 开发新型传感器开发新型传感器 v 开发新材料开发新材料 v 新工艺的采用新工艺的采用 v 集成化、多功能化集成化、多功能化v 智能化智能化 n传感器的发展动向n开展基础研究，发现新现象，开发传感器的新材料和新工艺；实现传感器的集成化与智能化0.5 传感器技术的发展趋势51研发新型传感器的重要途径：研发新型传感

31、器的重要途径：传感器的工作机理是基于各种效应和定律，因此进一步探索具传感器的工作机理是基于各种效应和定律，因此进一步探索具有新效应的敏感功能材料，并以此研制出具有新原理的新型物性型有新效应的敏感功能材料，并以此研制出具有新原理的新型物性型传感器件，这是发展高性能、多功能、低成本和小型化传感器的重传感器件，这是发展高性能、多功能、低成本和小型化传感器的重要途径。要途径。结构型传感器：结构型传感器：发展较早，目前日趋成熟。结构型传感器，一发展较早，目前日趋成熟。结构型传感器，一般说它的结构复杂，体积偏大，价格偏高。般说它的结构复杂，体积偏大，价格偏高。物性型传感器：物性型传感器：大致与之相反，具有

32、不少诱人的优点，加之过大致与之相反，具有不少诱人的优点，加之过去发展也不够。世界各国都在物性型传感器方面投入大量人力、物去发展也不够。世界各国都在物性型传感器方面投入大量人力、物力加强研究，从而成为一个值得注意的发展动向。力加强研究，从而成为一个值得注意的发展动向。 1、开发新型传感器、开发新型传感器新型传感器主要三个方面：新型传感器主要三个方面：采用新原理；填补传感器空白；采用新原理；填补传感器空白；仿生传感器仿生传感器。0.5 传感器技术的发展趋势522、开发新材料、开发新材料传感器材料是传感器技术的重要基础。材料科学的进步，人们可传感器材料是传感器技术的重要基础。材料科学的进步，人们可任

33、意控制成分，设计制造出用于各种传感器的功能材料。任意控制成分，设计制造出用于各种传感器的功能材料。用复杂材料用复杂材料来制造性能更加良好的传感器是今后的发展方向之一。来制造性能更加良好的传感器是今后的发展方向之一。（1）半导体敏感材料）半导体敏感材料（2）陶瓷材料）陶瓷材料 （3）磁性材料）磁性材料 （4）智能材料）智能材料半导体氧化物可制造各种气体传感器，而陶瓷传感器工作温度远半导体氧化物可制造各种气体传感器，而陶瓷传感器工作温度远高于半导体，光导纤维的应用是传感器材料的重大突破，用它研制的高于半导体，光导纤维的应用是传感器材料的重大突破，用它研制的传感器与传统的相比有突出的特点。有机材料作

34、为传感器材料的研究，传感器与传统的相比有突出的特点。有机材料作为传感器材料的研究，引起国内外学者的极大兴趣。引起国内外学者的极大兴趣。0.5 传感器技术的发展趋势533、新工艺的采用、新工艺的采用在发展新型传感器中，离不开新工艺的采用。新工艺的含义范在发展新型传感器中，离不开新工艺的采用。新工艺的含义范围很广，这里主要指与发展新型传感器联系特别密切的微细加工围很广，这里主要指与发展新型传感器联系特别密切的微细加工技术。技术。微机械加工技术：微机械加工技术：近年来随着集成电路工艺发展起来的，它近年来随着集成电路工艺发展起来的，它是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技术，目前已越来越多地用于传感器领域。工的技术，目前已越来越多地用于传感器领域。例如：利用半导体技术制造出压阻式传感器，利用薄膜工艺例如：利用半导体技术制造出压阻式传感器，利用薄膜工艺制造出快速响应