SU8200场发射扫描电镜技术说明文件

1、SU8200SU8200场发射扫描电镜技术说明文件场发射扫描电镜技术说明文件一、二次电子分辨率：一、二次电子分辨率： 0.8 nm (加速电压 15 kV，工作距离4 mm)1.1 nm (着陆电压 1 kV，工作距离1.5 mm)(减速模式) 以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品）二、放大倍率：二、放大倍率：低倍模式： 20 到 2k高倍模式： 100 到 1000k三、电子光学：三、电子光学：1.电子枪：冷场发射电子枪（带有柔性flash功能）2.加速电压: 0.5 到 30 kV 着陆电压: 0.01到 2 kV3.透镜系统三级电磁透镜系统4.物镜光

2、阑四孔可调光阑(内置加热自清洁功能)5.扫描线圈二级电磁式偏转线圈（高倍模式）一级电磁式偏转线圈（低倍模式）6.消像散器 八级电磁系统（X，Y）7.探测器：低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）三种探测器进行二次电子/背散射电子的接收能谱系统 (选配)8.束闸 电磁型9.电位移： 12 m (工作距离8 mm) 注意：工作距离改变时，电位移范围会改变四、样品室和样品台：四、样品室和样品台： 1. 样品台控制： 五轴马达台2. 可移动范围和样品尺寸：SU8220SU8220SU8230SU8230SU8240SU8240X0 50 mm0 110 mm0 110 mmY0 50

3、 mm0 110 mm0 80 mmZ1.5 30 mm1.5 40 mm1.5 40 mmT-5 70R0 360样品尺寸最大样品尺寸（直径）150 mm3.可安装样品高度SU8220SU8220SU8230/SU8240SU8230/SU8240样品最大直径样品最大高度样品最大直径样品最大高度26 mm17 mm 26 mm24 mm75 mm8 mm75 mm15 mm100 mm6 mm125 mm12 mm150 mm2 mm150 mm8 mm4.换样 预抽室5.样品台控制：图形界面控制自动样品更换位置定位功能样品台移动轨迹存储功能优中心旋转功能图片导航功能五、显示系统五、显示系统

4、1.用户界面电脑显示器上的图形用户界面2.电脑操作系统：微软Windows 7 专业版（32位）操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法（标配轨迹球，或选配操纵杆）3.显示器24.1寸液晶显示器或同等配置的显示器（屏幕：1,9201,200像素）4.扫描模式： 二维图像显示 选区模式 点分析模式平均浓度分析模式图像显示模式大屏显示模式 (1280 960)单屏显示模式 (800 600)双屏同时显示模式 (800 600)四屏同时显示模式 (640 480)选区显示模式（图像调整时使用）5.电子光学对中： 电子束对中光阑对中像散对中低倍对中6.扫描模式积分扫描快扫慢扫 缩小区域扫 高清捕图

5、积分捕图 荷电抑制扫描(CS扫描)7.扫描速度TV：两级扫描速度（Rapid1Rapid2）快扫：两级扫描速度（Fast1Fast2）慢扫：七级扫描速度（Slow1Slow7）CS扫描：七级扫描速度（CSS1CSS7）选区扫描8.自动调节功能：ABCC (自动亮度/对比度调节)，自动聚焦9.信号和图像处理功能： 通过积分，图像的信噪比提高桢积分（最大积分数量：1,024）（TV和快扫模式）彩色图像显示两种颜色混合图像显示（实时）伪彩图像显示（保存图像）存储图像处理渐变转换Gamma 调节多重滤波处理10. 图像存储：图像存储尺寸：640 480，800 600，1,280 960，2,560

6、1,920，5,120 3,840像素保存格式：BMP,TIFF(8位),JPEG11. 图像打印自由布局打印功能12. 保存数据图像的处理图像管理和处理(SEM Data Manager) ：图片数据库管理 缩略图显示多种图片处理功能 13. 其他功能：束闸功能（图像冻结时）光栅旋转/倾斜补偿测量功能 (实时图像或存储图像) 参数显示 (照片号、加速电压、放大倍率、微标尺、工作距离、日期、时间)参数条被底：透明、黑色数据输入和标注（圆，矩形，箭头，尺寸线）14. 外部设备接口：USB 接口网卡接口15.X射线分析功能扫描模式： 点扫描 面扫描 DBC接口（选配）六、真空系统六、真空系统1.真

7、空控制：完全自动气动阀系统2.真空泵：离子泵： 60 L/s 1, 20 L/s 2磁悬浮分子泵： 300 L/min 1（主抽气）机械泵 为减轻污染，推荐使用干泵3.真空量规：全量程量规，皮拉宁规两个（控制真空系统），潘宁规一个4.真空度：电子枪： 10-8 Pa样品室： 10-4 Pa5.样品交换室：六寸预抽室七、保护措施七、保护措施断电保护、断水保护、漏气保护八、循环水八、循环水冷却水循环流速：1.01.5 L/min （冷却物镜）水压：50100 kPa 水温：10 to 20 C （10分钟内最大可变化0.5度）九、防污染措施九、防污染措施 液氮冷阱十、十、SU8200SU8200系

8、列扫描电镜（系列扫描电镜（SU8220,SU8230,SU8240SU8220,SU8230,SU8240）主机.1显示单元.1机械泵.1空压机.1标配专用工具.1 套耗材及配件.1 套操作手册.1 套十一、尺寸及重量十一、尺寸及重量长宽高重量主机（SU8220） 9908501,710 mm665 kg主机（SU8230）9908501,745 mm740 kg主机（SU8240） 9908501,745 mm 745 kg显示单元 1,120 1,100 1,200mm 275 Kg空压机 210420520 mm16 kg减震器 200180 160 mm 40 kg 十二、主要选项附件十二、主要选项附件探测器：顶探头过滤器YAG型BSE探测器（SU8220/ SU8230/SU8240）扫透探测器（SU8220/ SU8230/SU8240）半导体型BSE探测器（SU8220/ SU82