制程品管检验作业规范

1、制程品管检验作业规范-23 A1 宜兴硅谷电子科技有限公司程序书 þ规范文件名称制程品管检验作业规范发 行 日 期 年 月 日编 号FPQC013002-A1有 效 日 期 年 月 日沿革版 序A1发行日期版 序发行日期新 增P变 更沿 用废 止总 页 数23页内容摘要说明项 次页 次项 次页 次1.目的32.适用范围33.权责单位34.参考文件35.内容说明36.附件4-5会签单位系统部制造一部制造二部制造三部制造工程部产品工程部工务部生产计划部会签会签单位品检部技术中心资材部品质管理部会签分发单位系统部制造一部制造二部制造三部制造工程部产品工程部工务部生产计划部签收分发单位品检部

2、技术中心资材部品质管理部签收制定部门品检部撰写及修定者陈波制定日期2012.11.28主管审核审核日期标准化检查检查日期核准核准日期传 阅SD032002-02A1背景沿革及修订一览表日期版序新增或修订背景及修订内容叙述修订者2012.11.28A1新建订定制程品质检验规范为依据，藉以预防品质异常之发生，确保各工序品质水平之稳定，满足品质要求。陈波SD032002-03A1制程品管检验作业规范1.目的1.1.检验与监控各制造单位品质异常之发生,确保各制程品质水平之稳定。2.适用范围2.1.厂内各制造单位如：内层、钻孔、压合、电镀、外层、防焊、成型及各表面处理流程。 3.职责3.1.品检部品管课

3、负责各制造单位生产之首板及出货时抽检；3.2.各制造单位负责生产中自主检验。4.参考文件4.1.产品标识与追溯作业程序书（FPQC012001）4.2.品质管制运作管理程序书（FPQC012002）4.3.不合格品管制程序书（FPQC012003）4.4.矫正和预防措施管制程序书（FPQC012004）4.5.Excursion运作管理程序书（FPQC012007）4.6.切片与背光检验规范（FPQC013004）5.定义5.1.IPQC(In process quality control):对生产过程中各项品质以AQL抽样准则对其进行检验并监控.以确保各站品质达到客户品质需求.6.操作系统

4、流程图6.1.IPQC作业系统流程图6.2.IPQC检验流程图7.内容说明7.1.外观检查:7.1.1.IPQC制中监控方式:具体见附件一:In-line Monitor & Station Monitor之检验项目及频率.另:附件一之检验项目及频率依据MIL-STD-105E抽样水平(具体见附件二). 7.1.2.如客户有特殊要求依客户规定.7.2.切片检查:7.2.1.各站切片确认依照切片与背光检验规范（FPQC013004）(如客户有特殊要求依客户规定).7.3.In-line Monitor & Station Monitor之检验项目及频率依附件一执行.7.4.使用设

5、备,仪器,工具：光桌、三次元测量仪、金相显微镜、冲床、X-RAY测厚仪、穿孔目镜、研磨机、离子污染测试机、可携带式表面粗度仪、量尺、卡尺、孔径规、分厘卡、15X/50X目镜,线宽量测仪,TDR阻抗测试仪,锡炉等.7.5.缺点分类：品质特性不合乎所规定的规格、图样、客户规格等相关要求者,称之为缺点.7.5.1.严重缺点(CRITICAL DEFECT,简称 C.R).影响产品的使用功能且无法挽救之报废性缺点.7.5.2.主要缺点(MAJOR DEFECT,简称 M.A).不影响产品的信赖度功能,但会对下制程品质造成修补或重工之缺点.7.5.3.次要缺点(MINOR DEFECT,简称 M.I).

6、不对下制程造成品质影响,且可修补挽救之缺点.7.6.不良品分析所用设备依检测用工具,具体参照7.9.3.7.7.实际运作后如所发现之缺点未入上述内容均为次要缺点并视实际需要增修本规范.7.8.针对厂内ECO变更资料纳入IPQC重点检验项目并回签确认单PASS制前审核.7.9.抽样及处置办法与停线时机：7.9.1.停线时机:7.9.1.1.设备故障立即停机/停线处理.7.9.1.2.当药水异常并且无法立即调整,且药水复验仍异常时立即停线.7.9.1.3.当单一批单一缺点超过20%并且未找到真因时,则立即停线查检.7.9.1.4.当单一批单一报废缺点超过10%并且未找到真因时,则立即停线查检.7.

7、9.1.5.当在线品质异常达到7.9.1.3或7.9.1.4时,由当站IPQC立即开出品质异常停线通知单（QC013002-01）并通知品管领班或当站品管工程师(PQE)进行审核,由品管部课级(含以上)主管核准后将品质异常停线通知单（QC013002-01）送至责任单位领班级以上人员确认,责任单位领班接收到品质异常停线通知单（QC013002-01）后立即对该设备进行停线动作并追踪品质及通知四功能人员协助查找原因.品质异常恢复后(经品管工程师级以上人员确认OK后)方可开机作业.在设备正常生产一个工作日(24小时)以内由责任单位及品管工程师共同将品质异常停线通知单（QC013002-01）填写完

8、整后送至品管部课级(含以上)主管核准.由品管及责任单位各一份进行存档以便进行追溯.7.9.2.制程品管在品质抽样检验过程中若发现品质异常,则立即通知当站主管及当站品管工程师实时进行处置.依品质管制运作管理程序（FPQC012002）之规定发出品质异常处理通知单（QC012002-01）,并依异常的等级判定异常是否为重大异常还是一般异常，以及异常板的管制方式.IPQC需将所发现之缺点记录于各站检验日报表上以便进行追踪及作为生产品质之指针.7.9.3.相关制程站别、缺点分类、等级、规格及使用工具如下:站别项次缺点名称缺点等级判定标准检测工具各站使用表单说明CRMAMI钻孔1多钻V不可有标准板机械钻

9、孔检验日报表（QC013002-08）槽孔尺寸记录表（QC013002-09）钻孔切片量测报表（QC013004-05）2漏钻V不可有标准板3孔大V依工单标准板4孔小V依工单标准板5孔变形V不可有标准板6孔未钻透V不可有标准板7孔偏V±3MIL,依试钻板或内层PAD不可破出HOLE CHECK,标准板,X-ray8毛头V可刷磨清除,刷磨后无见底材目视9孔塞V可高压水洗清除目视10刮伤见底材V不可见底板目视11断针V不可有目视/标准板12爆孔V不可有目视13孔壁粗糙度V<1.0mil切片/金相显微镜14钉头V铜箔为HOZ规格为<150%,铜箔为1OZ和 2OZ以上规格为&l

10、t;120%切片/金相显微镜15槽孔尺寸V依工单三次元压合1棕化露铜V不可有目视压合检验日报表(QC013002-06)压合棕化线重工IPQC监控报表(QC013002-07)铜厚量测记录报表(QC013002-12)2刮伤露铜V不可有目视3棕化色差V不可有目视4刮伤见底材V不可有目视5皱折V不可有目视6凹陷V不可有目视7板面汽泡V不可有目视及切片观察8板面异物V不可有蚀刻后目视9分层V不可有目视及切片观察10层偏V偏移量4 mil切片观察/照X-RAY11压合空洞V不可有目视12靶孔孔内毛刺V不可有目视13靶孔孔偏V不可有X-RAY减铜1铜厚偏厚/薄V依工单面铜量测仪铜厚量测记录报表(QC0

11、13002-12)LDD棕化1棕化色差V不可有目视铜厚量测记录报表(QC013002-12)压合检验日报表(QC013002-06)2铜厚偏厚/薄V依工单面铜量测仪3棕化刮伤V不可有目视LDD钻孔1盲孔漏打V不可有目视/AOI测试/电测雷射钻孔检验日报表（QC013002-10）激光钻孔切片记录报表（QC013004-04）2盲孔残胶V不可有孔深量测仪/目视/AOI测试3介层厚度V依工单规格切片/金相显微镜4上下孔径比V70%-100%切片/金相显微镜5内层铜打伤V不可打至下一层目视/切片/金相显微镜8刮伤见底材V不可有目视9盲孔漏接V不可有目视10真圆度V>85%切片/金相显微镜11孔

12、变形V不可有目视12Over headV<0.6MIL切片/金相显微镜13盲孔粗糙度V<0.8MIL切片/金相显微镜电镀1孔内结瘤V满足孔铜要求且不可影响孔径切片/金相显微镜/AOI测试电镀研磨检验日报表(QC013002-11)层间对准度量测数据统计(QC013004-09)电镀站切片检验日报表(QC013004-01)热应力试验切片检验报表(QC013004-03)电镀课背光检验日报表（QC013004-07）2孔塞V不可有目视3研磨不净V不可有目视/AOI测试4铜厚不均V依工单切片、面铜量测仪5孔破V不可有目视/切片/金相显微镜/电测6对准度V3 mil切片、金相显微镜7孔璧

13、分离V不可有切片、金相显微镜8填孔饱满度V>85%切片、金相显微镜9镀层分离V不可有切片、金相显微镜10孔壁粗糙度V<1.2 mil切片、金相显微镜11裂痕V依客户要求切片、金相显微镜12背光不良V垂直线8级,水平线7级切片、金相显微镜13灯芯V3 mil且不可短路切片、金相显微镜14孔铜不足V依工单要求切片、金相显微镜15凹陷V不可有目视16胶渣V不可有切片、金相显微镜17研磨见底材V不可有目视内/外层1线细V剩下线路80%原稿AOI测试/线宽量测仪内/外层线宽间距监控日报表（QC013002-02）特性/差动线宽量测记录表（QC013002-03）特性/差动阻抗值量测记录表（Q

14、C013002-04）2间距不足V依工单AOI测试/线宽量测仪3曝反V不可有AOI测试/目视4同心圆偏V<2milAOI测试/目视吸气不良V不可有AOI测试/目视渗透V不可有AOI测试/目视显影不洁V不可有AOI测试/目视蚀刻过度V不可有AOI测试/目视显影过度V不可有AOI测试/目视防焊1漏塞孔V依工单目视防焊检验日报表(QC013002-13)生产线监控日报表(QC013002-15)拉力测试记录表(QC013002-14)防焊塞孔深度切片报表（QC013004-13）2多塞V依工单目视3积墨V不可凸出板面目视4孔塞V不可有目视5粘板露铜V不可有目视6防焊不均V不可为整面性问题目视7

15、假性露铜V不可为全面性/不可露铜目视/25X或50X高脚镜8防焊曝偏V不可ON PAD/原稿+/-2MIL目视/25X或50X高脚镜9吸气不良V不可ON PAD/原稿+/-2MIL目视/25X或50X高脚镜10显影不洁V不可有目视11孔内绿漆V不可有目视12PAD沾漆V不可有目视13刮伤露铜V不可有目视14板面氧化V不可于成型内目视15刮伤发白V不可Peeling3M Tape Test16板黄V不可有目视17SMT间距发白脱落V不可有目视/3M拉力18文字印反V不可有目视19文字漏印V不可有目视20文字印偏V不可 ON SMD PAD目视/10X或15X目镜21固定文字脏点V不可有目视22文

16、字不清V可辨识,不可双影目视23文字ON PADV不可有目视24文字剥落V以3M胶带试剥不可剥落目视25埋塞深度V依工单切片/金相显微镜/目视26防焊under cutV1.5mil切片/25X或50X高脚镜二次干膜1干膜破损V不可有目视二次干膜检验日报表（QC013002-26）2干膜刮伤V不可有目视3干膜气泡V不可有目视4干膜显影不洁V不可有目视5干膜曝偏V不可上pad目视/50X目镜6去膜不洁V不可有目视7曝偏V<3mil目视8漏曝V不可有目视9干膜显影过度V不可有目视化金1漏镀/渗镀V不可有目视化金检验日报表（QC013002-16）金镍厚度记录表（QC013002-17）拉力测

17、试记录表（QC013002-14）2金面凹陷V依客户要求或<5mil50X目镜/切片/金相显微镜3渗镀V不可有目视4刮伤V不可有目视5铜面氧化V不可有目视6掉金V不可有目视/3M拉力7金面露铜V不可有目视8金面污染V不可有目视9金镍厚度不足V依工单x-ray10金面粗糙V不可有目视11金面刮伤V不可有目视12金面色差V不可有目视镀金1金手指发白V不可有目视金镍厚度记录表（QC013002-17）拉力测试记录表（QC013002-14）镀金检验日报表（QC013002-18）2金手指粗糙V不可有目视3金手指凹陷V依客户要求或<5mil50X目镜/切片/金相显微镜4渗镀V依客户要求或不

18、可有10X或15X目镜5金面色差V不可有目视6掉金镍V不可有3M胶带剥离/10X或15X目镜7金手指刮伤V不可有目镜8漏镀V不可有目视9金手指露铜V不可有目视10金镍厚不足V依工单x-ray喷锡1板面沾锡V不可有目视喷锡检验日报表（QC013002-19）喷锡厚度记录表（QC013002-20）喷锡站切片检验日报表（QC013004-08）Press Fit Hole IPQC 监控日报表（QC013002-21）2锡桥V不可有目视3PAD,SMD露铜V不可有目视4锡厚不均V不可有目视5刮伤/刮伤露铜沾锡V不可有目视6锡厚/薄V100-1000uX-RAY7PAD脱落V不可有目视8孔小/孔大V

19、不可有目视/孔径规9跳锡V不可有目视10锡面发白V不可有目视11锡厚压扁V不可有目视12G/F沾锡V不可有目视13G/F残胶/氧化V不可有目视14G/F刮伤V不可有目视15锡凸V不可有目视16假性露铜沾锡V不可有目视17板面/锡面污染V不可有目视18板黄V不可有目视19锡面氧化V不可有目视20锡粗V不可有目视21板面/角撞伤V不可有目视22孔塞/卡锡V不可有目视成型1毛边V不可有目视检验/成检目视全检成型检验日报表（QC013002-22）成型尺寸记录表（QC013002-23）斜边记录报表（QC013002-24）2PP粉尘V不可有目视检验/成检目视全检3成型尺寸不良V依工单卡尺/3D4板损

20、V不可有目视检验/成检目视全检5PIN孔受损V不可有目视检验/成检目视全检6板边露铜V不可有目视检验/成检目视全检7斜边不良V依工单目视/啧哩目镜8卡铜皮V不可有目视检验/成检目视全检9漏捞V不可有目视检验/成检目视全检10V-CUT不良V残厚依工单深度计11刮伤露铜V不可有目视检验/成检目视全检12未捞透V不可有目视检验/成检目视全检7.10.制程品质监控,具体检验作业流程及检验注意事项均依照IPQC检验作业流程8.附件8.1.附件一.In-Line Monitor & Station Monitor之检验项目及频率8.2.附件二:抽样水平8.3.品质异常停线通知单（QC013002

21、-01）8.4.内/外层线宽间距监控日报表（QC013002-02）8.5.特性/差动线宽量测记录表（QC013002-03）8.6.特性/差动阻抗值量测记录表（QC013002-04）8.7.微影重工板IPQC记录报表（QC013002-05）8.8.压合检验日报表（QC013002-06）8.9.压合棕化线重工IPQC监控报表（QC013002-07）8.10.机械钻孔检验日报表（QC013002-08）8.11.槽孔尺寸记录表（QC013002-09）8.12.雷射钻孔检验日报表（QC013002-10）8.13.电镀研磨检验日报表（QC013002-11）8.14.铜厚量测记录报表（Q

22、C013002-12）8.15.防焊检验日报表（QC013002-13）8.16.拉力测试记录表（QC013002-14）8.17.生产线监控日报表（QC013002-15）8.18.化金检验日报表（QC013002-16）8.19.金镍厚度记录表（QC013002-17）8.20.镀金检验日报表（QC013002-18）8.21.喷锡检验日报表（QC013002-19）8.22.喷锡厚度记录表（QC013002-20）8.23.Press Fit Hole IPQC 监控日报表（QC013002-21）8.24.成型检验日报表（QC013002-22）8.25.成型尺寸记录表（QC01300

23、2-23）8.26.斜边记录报表（QC013002-24）8.27.防焊粗糙度监控日报表（QC013002-25）8.28.二次干膜检验日报表（QC013002-26）附件一 In-line Monitor&Station Monitor之检验项目及频率 In-line Monitor&Station Monitor之检验项目及频率1.内/外层站内/外层使用报表说明专案监控项目线宽/间距阻抗线宽阻抗蚀刻因子In-line Monitor频率1. 样品:首件1片,出料1片2. 量产:首件1片/每料号3. 重工板:首件1片,出料1片1. 样品:首件1片,内层出料3片,外层出料1片2

24、. 量产:首件1片/每料号1. 样品:首件1片,出料3片2. 量产:首件1片/同料号连续生产,出料2片/同料号连续生产.1次/周/线别特性/差动阻抗值量测记录表(QC013002-04) 内/外层线宽间距监控日报表（QC013002-02）蚀刻因子记录报表（QC013004-10）特性/差动线宽量测记录表(QC013002-03)热应力试验切片检验报表(QC013004-03)量测点去膜后(以工程图)去膜后去膜后去膜后方法线宽量测仪线宽量测仪阻抗量测仪切片作业者IPQCIPQCIPQCIPQC备注:线宽测量位置依各料号工程图. 2.压合站压合使用报表说明专案监控项目减铜铜厚量测LDD铜厚量测层

25、偏棕化拉力介厚热应力铜厚量测记录表(QC013002-12)压合介层厚度记录表(QC013004-02)压合站检验日报表(QC013002-06)热应力试验切片检验报表(QC013004-03)生产线监控日报表( QC013002-15)In-line Monitor频率1. 样品:1片/料号2. 量产:1片/料号(连续生产)1. 样品:首件1片/料号2. 量产:1片/料号(连续生产)3. 外观:2片/料号(连续生产)PCB:8片/LOT1次/周1片/A级样品1片/A级客户样品量测点减铜后棕化减铜后后处理棕化后压合后压合后方法面铜量测仪面铜量测仪照X-RAY电脑剥离强度测试机测试方法可参考可靠

26、度实验管理程序(FPQC012008)单PCS打9个点,多PCS在1个STRIP上打6个点.阻抗条优先打.浸锡1-8次，测试条件288度,10S作业者IPQCIPQCIPQCIPQCIPQCIPQC3.钻孔站机械钻孔激光钻孔机械钻孔机械钻孔/激光使用报表说明专案监控项目孔壁粗糙度/钉头底铜无损伤/Over head /孔壁粗糙度/上下孔径比/真圆度槽孔外观检验钻孔切片量测报表(QC013004-05)激光钻孔切片记录报表(QC013004-04) 槽孔尺寸记录表(QC013002-09)机械钻孔检验日报表(QC013002-08)镭射钻孔检验日报表(QC013002-10)In-line Mo

27、nitor频率满足以下条件之一:首件1片/每料号1.层次:样品大于或等于10L;量产大于或等于12L2.最小孔径为0.25mm3.内层铜箔为2OZ 样品:首件1片/每料号量产:1片/每机台/每天样品:首件1片/每料号机械钻孔:样品:10片/每料号量产: 8片/LOT激光:样品:10片/每料号量产:8片/ LOT量测点钻孔后激光后切片钻孔后机械钻孔后/激光后方法切片切片三次元目视作业者IPQCIPQCIPQCIPQC4.电镀站电镀使用报表说明专案监控项目背光孔/面铜厚度/灌孔率/孔壁粗糙度/灯芯/钉头对准度热应力GAP电镀层铜厚填孔电镀灌孔率研磨后外观检验电镀课背光检验日报表( QC013004

28、-07)电镀站切片检验日报表( QC013004-01)热应力实验切片检验日报表( QC013004-03)层间对准度测量数据统计( QC013004-09)电镀研磨外观检验日报表( QC013002-11)In-line Monitor频率1次/2小时1. 样品:1片/料号,每次确认成型区直接切片3个.2. 量产:HDI埋镀板及PCB非无铅喷锡料号:3片/2小时,无铅喷锡板料号及HDI外层板:1片/LOT8层以上(含8层):3片/每班样品:1片/料号,每批确认热应力切片2个.1. 样品:1片/料号2. 量产:1片/料号/每班制中1片/LOT样品:10片/每料号量测点PTH后电镀后电镀后电镀后

29、电镀后电镀后研磨后方法背光切片切片浸锡1-6次，测试条件288度，10S切片切片切片作业者IPQCIPQCIPQCIPQCIPQCIPQCIPQC5.防焊站防焊使用报表说明专案监控项目板面粗糙度油墨厚度塞孔深度离子污染度拉力测试出货检验防焊生产线监控日报表(QC013004-06)生产线监控日报表(QC013002-15)拉力测试记录表(QC013002-14)防焊塞孔深度切片报表（QC013004-13）防焊粗糙度监控日报表（QC013002-25）In-line Monitor频率1次/周网印:1次/周喷涂:1次/周样品/量产:1片/每料号1次/班3片/料号样品:10片/每料号量产: 8片/LOT量测点前处理后防焊后塞孔后绿漆前防焊后防焊后方法表面粗度仪切片切片离子污染测试机3M胶带目视作业者IPQCIPQCIPQCIPQCIPQCIPQC6.镀/化金站镀/化金使用报表说明专案监控项目金镍厚度拉力测试外观检验金镍厚度记录表(QC013002-17)拉力测试记录表(QC013002-14)化金检验日报表(QC013002-16)镀金检验日报表(QC013002-18)In-line Monitor频率首件:1片/每料号3片/每料号样品:10片/每料号量产:化金板8片/LOT量测点镀/化金后镀/化金后镀/化金后方法X-RAY3M胶带目视作业者IPQCIPQCIPQC7.噴錫站喷锡