沸石转轮技术综述

1、WORD格式可编辑沸石转轮技术综述一、VOCS台理技术现今处理有害空气污染物技术分为五项：焚化、吸收处理、吸附处理、 生物处理及冷凝（回收）处理。焚化是利用燃料产生的热量直接破坏排放的废气，对污染物进行高温迅速的氧化反应，可将 VOC啾变为二氧化碳及水等无害物质，吸收是利用吸收液和气体接触时， 气流中之污染物扩散至气液接触面，排气中可溶解之污染物会因溶入吸收液而移除，最后再将气液分离即可达到清净空气的目的；吸附是藉由流体和高表面积的多空性固体粒子（吸附剂）之表面接触，产生物理性吸附有机物或其他物质；生物处理是VOC些微生物吸收氧化后，分解成二氧化碳及水等最终代谢产物；冷凝则是藉由冷水冷凝方式，

2、 将VOC般凝下来,各种处理技术的优缺点说明如下：专业知识整理分享牝件空n排放至注，囱 H燃式,恢很式蓄熟式崎外式 Prc-f i I ter，扁石I翰 不布灌H化床 不 吸附制圉2-22光重圭案OCs费氟之常邑哀理段崎（宣料来源：蛛浩作，2008）表21冬程心土军衣箜二装7期)能怎叵收 效率(%) OQ去里求下泵录效率知遭用言要(CMM)妾变黄宫i；固定七W.物吸附见k更IfXKSfW5-noo里M洗淮1001k5Mo60-5000需至以r.主盍理一7b8010-20050700020-40一就遍漕65如安1-6002300常超700+焚化直芈三50-7U9a%ICW30-1400650-1

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5、鼻生100,00010.0001,000100庵求圆收（I <t»X）1001,00010,000100,000费氟''口C澧度（mg nil$ 2-H OCs依敏量茸演受退摄运用污染防制世卷圈麦2.5川 荏寻性有槐空鼠汴染物控制方法之俺碓毡“婚僵岩新魅冷凝法k可回收高地度物霄2 .皆图低且操作容易3 . #高;浪至姿然之意理效里 敕住L 一英塞理败意不佳，称符合排放襟避L K遇用於低:浪魔蜜鼠之窿理3.如分冷凄酎精格品青吸收法L至力降莪低2 .榇草化之FRP裂品附腐性佳3 .高胃停效率4 .可加塔高或坂轮以埴机电 理效率5,割毁筮低6 .哉:信估用空尚小7 .

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9、It址生青害 前差暮景物可乾麻生有害氟股、立肆亮理不看糊嶷脏破再生编号意寻海魁 理或再生A弟二、沸石转轮系统简介该系统系结合吸附、脱附及浓缩焚化三项操作单元为一体，是目前提供防治VOC0较完善设备，但造价及操作维护成本偏高，并不适用于直接处理高沸点挥发性有机物是其限制 所在。O!>7Zx(0XIDiZER)(D89直接燃烧装但清净空虹 ，一八二一夕一.蓄然式燃燎装置回 IR"“(RECOVERY)八二一夕一.较适合每分钟600立方公尺（CMM高风量以上、VOCs之总碳氢化合物浓度介于500-1000Ppm之废气特性厂家应用。但若废气中含有较多量之高沸点物质，则并不适合单独、直接

10、使用此系统处理之。高沸点VOC组容易吸附于沸石转轮上，但由于系统设计之安全考量，使得脱附高沸点 VOCs温度不足，所以往往造成脱附不易，且高沸点VOCs各蓄积其上、占据吸附位置，影响系统整体效能。若VOCs废气中含有较多量之高沸点物质，欲应用沸石吸附浓缩系统控制， 建议于进入系统前端加装冷凝器、活性碳网栅及除雾器等设备，如此将可有效处理高沸点 VOCs而若是废气中含有高浓度之颗粒，则必须以微粒处理装置设置于沸石转轮之前端，以避免这些颗粒于沸石之蜂巢结构中沉积，其中最简单的微粒过滤装置为单层涂布，但其仅针对较大颗粒之过滤效果较佳，无法有效处理较小粒径之颗粒，因此适用于既设、无空间之工厂， 其对沸

11、石转轮之寿命延长仍然有限。而拟新设置之工厂，若能预留空间给较有效之微粒处理装置（如袋式集尘装置），方可使沸石转轮之寿命有效延长之。若无法确认VOCsft气中是否有其他废气混入或含有较多量之高沸点物质，欲应用沸石 吸附浓缩系统控制，建议：（1） 设置颗粒物过滤设备。n 3 AB VOCs渡籍将输焚化余貌之前遇漆器（2） 定期以清洁水保养清洗。能承受水洗程序处理之转轮，可依厂内所处理之废气所含高沸点VOCs物质浓度状况，适时以洁净水清洗沸石吸附转轮。唯清洗时须特别注意水质状况，若其中含有大量钙、镁等离子，将可能会在沸石内生成碳酸盐或碳酸氢盐，阻塞沸石之蜂巢状孔隙； 而水中之氯仿可能占据沸石内吸附位

12、置，阻碍处理废气内所含VOC配吸附性能，此外水中所含微量之重金属物质亦会毒化沸石，这将随着清洗次数及水质水量状况而有不同之影响；为克服沸石吸附转轮之蜂巢状孔道及其结构使得一般清洗水无法深入转轮内部，有研究采用如下的清洗程序。利用高压喷嘴将清洗水形成微细雾滴状，并以系统冷却端之干净空气为载流，先将微细雾滴状之清水携入沸石孔道内实施逆洗程序后，再从另一边之吸附端吸入干净空气汇流，除可将附着于沸石内部之水气携出视为第二道清洗外，亦可完成沸石干燥之程序，如此两阶段之清洗转轮，其耗水量经统计可为以往传统方式之20瘫30%能大幅降低废水量，故可在成本考量下顺利、有效进行沸石转轮之清洗。Liquid Fa&

13、gt;j(3) 于操作程序中提高脱附热容量。除于系统前增设预处理系统、定期实施水洗保养程序外，亦可藉由提升脱附热容量之日常操作参数改善高沸点 VOCsX寸系统所造成之影响，其施行之方法可利用提高再生温度及提 高再生风量来达成。系统操作运转时，即给予足够之热容量贯穿整个沸石吸附区，使距再生端较远处依然有充分之热量将吸附其上之高沸点VOC抛质脱附下来，减少其产生蓄积聚合、占据吸附位置影响效能。表3.2直建足右势必舆点石裨心暗台令俄招盍统女设及裁件雅建觊品余析"Table 3.2 Animaized inscaU&ti0n nnd operating costs of zeoEii

14、e concentriior and the int2raLi?J jiie-in of上亡nine joiientriiLDrInstatlaliniiOoliteliitgraied S iietn af Condinisrs Zeolite conceTHratLirCapifdl co«t(XIDS)氏000/)00CondensersZeolite cone eritra tor2,000,000-I36,00U:(NX)I Kehl I life (yrj57M hiimutn ruTt of retm . .i10,Ajiiiuattzcd presenf coi>

15、;r of rl c i：i %”口1必工川*1 ZD&g5Xr：00】,MO：OO0a&xi cu4i(M ns :(excluding the Incluerttlon c甲Unn )SOO:DOOI ulal iiiH>dized nel pi tu (NTD&jr>!w2,440,000三、沸石转轮系统的组成沸石吸附浓缩转轮焚化系统系利用吸附-脱附-浓缩焚化等三项连续程序，其设备特性适合处理高流量、低污染物浓度及含多物种之VOCs废气，其主要应用于排放较稀薄且接近周界温度之污染物工业，典型应用如影印、涂装制程及半导体工厂等相关产业。Figure 4-

16、12. Rotanr wheel zeolite adsorber沸石渡缩辅翰焚化系统3t A - B，C、D 篇 CEMs浏黠-*5K 1 A A VOG J»氟沸石漫崎樽翰庵直系皖口ElIluiiI Sub*jiiiin Dullll：Kik»ii| dunEsh.ml SiUt>miia Durt> ll,r).：Md(Hid唇r Fmn0PtlDIQpi££til II UJI I diJCllBurnerOxidizetm MWA COMMt AWWTKM MD OqMTEM A«AIALYSt (OPVinMAT)eii

17、iAMEXHAUST，ffl 2-12沸石薄豁&燃境爆VOCs虞理系胱（资料来源：2005）flaw drf Aov inlet沸石吸附转轮组合(Cassette)为一中心轴承与轴承周围之支撑圆形框架支撑着转体，转体由沸石吸附介质与陶瓷纤维制成。转轮上包含用以分开处理废气及处理后释出干净气体之 密封垫，其材质为需能承受VOCS腐蚀性及高操作温度之柔软材料制成(一般为硅)。密封垫将蜂巢状沸石吸附转轮组合隔离成基本之吸附区(Adsorption zone)及再生脱附区 (Regeneration zone; desorption zone),但为提升转轮之吸附处理能力，则常见于前二区 间加

18、一隔离冷却区(Cooling zone or Purge zone)。通常吸附区为较大，而脱附区及冷却区 则为两个较小且面积相等之处理侧。有时为特殊需求亦可分成更多串联区；而吸附转轮由一组电动驱动设备用以旋转转轮，故转轮处理时为可变速、且可控制每小时旋转2至6转之能力。M2-3沸F蚓的示意置工厂所排放出之 VOCS废气进入系统后，第一阶段系经过疏水性沸石所组成之转轮，VOCS污染物质首先于转轮上进行吸附；第二阶段之脱附程序是由与后端焚化系统热交换后预热之经冷却区处理后废气 （约180至250 C）,使其通入转轮内利用高温将有机物脱附下来，此时出流污染物浓度大约可控制为入流废气之5至20倍左右，

19、而脱附下来之有机物则可于第三阶段进行温度于如此可以减少700 c以上之焚化或进行冷凝回收再利用等程序，后续之废气处理单元尺寸、操作经费及设备初设费用。VOC ConccfYrtftorSeibu Giker逑3.二”3改蛉:艮噂自搭兜攫式焚化地示意第沸石转轮之处理单元如下：（i）沸石转轮的机体是由一些特定的固体基材涂布上一层吸附剂粉末组成，基材是以陶瓷或玻璃或活性碳纤维经烧结所做成，其中陶瓷纤维因具备耐高温、热稳定性高、可水洗、不可燃及耐酸碱的特性而最受广泛使用，吸附剂的种类则视欲处理的气体成分而有所不同，一般可采用活性炭、沸石等。转轮厚度一般为25cm-45cnin 5 耄子题微分析沸石表面

20、陶觉城雉及沸石粉末之分布状悲圄彝生盟燃前彼例情檄品表面比较直(L=揉品晨度400mn1)(2)沸石转轮之基质为陶瓷纤维表面涂布一层吸附剂，一般为活性炭或疏水性沸石，制成蜂巢状圆形转轮，再分为两个区域，分别为吸附处理区及再生脱附区，但为提升转轮之吸附能力，有时会设计于两区之间多一个冷却区，通常吸附区较大， 脱附区与冷却区为两个较小且面积相等之处理区域。£ 2-匚逐石“*V淹2-14筑水性濡石转将检测沸石檬品（P : 50mm、d ： 400mmA Jk VOCs沸石醇输取极表面（左）及假品中右）Cleaned airladen airFigure 4*13a. Rotor tbr ca

21、rbon-fiber systcnKClean pros晤 aifFigure 4*13b. Rotor system. (Reprinted courtesv uf Dufr Industries Inc.; Plvmoutht MichicanJ使用沸石转轮反应器之规格资料直径（mm320高（mm400、3王体号度（kg/m ）250区域比率（吸附/脱附/冷却）10:1:1孔道形状蜂巢状每平方厘米微孔数42比表面积241吸附剂占基材比重（为36.66吸附剂类型ZSM-5吸附剂硅铝比166吸附剂孔隙（cm/g ）0.321（3）热回收设备：将 VOCS然烧或氧化后之干净空气其温度高达500-

22、700 C,将此部分空气经由热交换器将热能加以回收，同时将干净空气温度降低后将其导至转轮脱附区为转轮进行脱附作用；若温度太高则转轮可能发生燃烧，因此进入转轮之温度不可太高，一般会设置两段热回收设备并增设一鼓风机导入新鲜空气与燃烧后之空气混合，以控制脱附温度在180-220 C之范围内。为处理VOCs废气，除了沸石吸附浓缩转轮焚化系统外，并可在制程端如光阻涂布机台或去光阻制程废气出口端加装冷凝器，预先分流处理高沸点VOCs （如MEABDG DMSO。Xe3 -n憾温*&00 7000100&003070!XXInMm J mnDCFH覃峥泉遗二一夕一发 工片口打K青生“梨造n一

23、夕一坦Mm3 mnMM 七四、沸石转轮制备工艺4.1 活性炭吸附剂简介般在选用活性炭时，除须考虑使用类别外,例如：气象或液相之应用，尚须针对处理对象之性质等作特性之考虑。般而言，在气象应用中，活性炭洗脱附处理以较适合中等分 子量中低沸点且疏水性（低极性）化合物，例如：碳氢化合物、醇类（甲醇例外）、有机氯化物、脂肪酸类、酚类、酮类、脂类等活性炭均有很强的吸附能力；但对于硫化氢、二氧化硫、氯、甲醛、氨基酸类等化合物活性炭之吸附能力很差,除非含浸酸或碱级金属盐加以改质,值、碘值、含水率等方可达到较好之效果。通常活性炭之参考规格有：比表面积、孔洞体积、四氯化碳吸附（一）粒状活性炭粒状活性炭依形状不同又

24、可分为破碎状、圆柱状及球状等三种，一般来说其吸附能力较粉末活性炭小，但因颗粒尺寸较大较无压力下降之问题，而且具有可以再生的优势， 所以一 直是使用较为广泛的一种。（二）纤维活性炭纤维活性炭系利用酚系、丙烯氟系等原料合成，主要目的是揉和粉末活性炭高表面积、通常其吸附能力也颇好。一般高吸附能力及压降小、可再生之优点，而且具有独特的强度, 应用上有固定床式和转轮或转环式，一般来说纤维活性碳的填充重量只有粒状活性碳的1-10%左右，间接减少了碳床累积之着火之危险。活性碳再生一般以水蒸气脱附再生，若吸附质为含氯VOCS寸，采用水蒸气可能会发生水解反应，而使回收之含氯VOCs发生改变，影响脱附产物之纯度及

25、再生活性碳之吸附效能。表2-3 毛一对，之基一£ i汇吉F、 « 1996)活生性否生蒙匕品矽落沸石分子第4A5A耳X堆萼密塞20gb0。75gl000XOO加0川町800(kg in'操作基堂4237736?3873S73873上限1 五沟丸空1525187(224n(A)再生激嚏373-413473-523393-423473-57347373473-573(K)上表回鹏600-16002EO-36O硝。(ml'g)注：4 A及5 A分子跳在育希二二舞隔藤子力引雪N贰技Ca”；，军分子州的矽箝士震106 ： 86 73 K型的葡雏于焉C- 表2-4 蝴吸

26、附也之卷&比政(郑家序、花渡混，1998)物性活生流活,生氧化45矽缪合度沸石康植摸宜*学，熟安定'生而水生*$水份吸附容量高分屋)©水份吸灯容量喳工pr«iM'1s x.z.物物之吸附容量Qc.大分子化合物之吸灯萋捧生©鲍文，K胞和之吸p：叁遑士*'c.照生分子之吸附避建法A*非因囊良 $爨良C菩道较差表2二天然沸石的遇用34鹿用圭品性吸附副乾燥®JI吸温性除臭刑吸附性吸附性雌子交换制屣水点理赛水虑理群子交换性岸子交换性和吸附性土壤改良高尉夫球塌保肥性,保水性和透水性晨祷保肥性 ' 保水性和透水性保肥性保水性和透

27、水性肥料添加制吸附性及雅子交换性的料添加吸附性及辇子交换性技3,L6-I满石（分孑捐）祇孔尺寸分藕表（3ing a】-1985）Ib5niT g'57胃1上脂1Kizi£ g七ryt-n '丽»归灯仃山¥心IT1, 1WlVERE Jf *1 111 rgvlcvsrre231 5：ik. JZJPf-202。）如h若IPI-5用，24 "；*T)43, T9-U 旷由土皆ix120,7425,73刷T212工行女前妗IT耳10：L 53 «3. 552SM-510工工箝W5Sfl3 -pcrcs.X4修耳0.4?耳0,43Cj

28、l心2For=p.k<r：«,bo: 1广丫-1Li CsllW C39回三二j3C'jrra1DfannTfA)Ap?l.fcZ3：IO'ri、*，口:"3：" GO： i；2»JjMid-二 CChTiTi.ill 6mn H-W hhACtJ7： V* i： >rh =.% 丁3£哈包/14 W -A 4*喙L .，二-um： .川曲KVLMfMOmllCh* 如叫匚丁try 4 ncudfu eonimcf CjH k-*% X. WQa $j山卜显*工1七试_: 一£-.XCt1金.、事U）：,，

29、£心；1.由ioKzixnai 口1 f=什qf1 pt士山"士:出:：钛上 *!,1通：i-m*县RIe，欠;WKiiiio工V、*、和*武8:卜Um.:-f D*g：工：川-2*士KKti- S；!n &心:；川i。K/Ltj !« vai，*E入土.,上）；二F工fO1 r,二 K-:-ot -;xk: 1r 口二二4:，± HHH.2 *，”1玄:你ClOft 值句$：-.1 !:r -7 = -ZSU、工、出：温门次与川-r&u*)11m4.2 沸石吸附剂的优势相较于传统活性炭吸附剂，疏水性沸石具有以下优点： （1）不具可燃性：

30、沸石为无机化合物二氧化硅等所组成，故不会发生反应性吸附质于吸附过程中着火之事；（2）可处理不同种类的溶剂，包高沸点物质；（3）有效吸附程度可在较宽长的吸附质进流浓度范围内达成；（4）不会引发溶剂聚合或反应：疏水性沸石含有之金属微量杂质相当少，不会使一些高反应溶剂发生氧化或聚合反应。传统上沸石为一亲水性（hydrophilic ）吸附剂，此主要是 Si/Al比值通常为1-5 ;换言之，沸石的特性与其 Si/Al比或SiO2/Al 2Q比有重大关联性。沸石从亲水性转变为疏水性之Si/Al比值至少需8-10以上，所以含高硅含量之沸石疏水性愈高。4.3 中空状沸石制备方式吸附剂之制备方式分为五大步骤：

31、（1）沸石（zeolite ）与粘合剂（binder ）均匀混合；（2）胶化（gelling ） ; （3）成型（forming ） ; （4）干燥（drying ） ; （5）煨烧（calcine ）。首先利用二氧化硅为粘合剂，将沸石与二氧化硅均匀混合，再慢慢加入调制好之碱性溶液（NaOH ,此时会慢慢形成胶状体，再经由搅拌机搅拌、揉合成面团状，最后放入挤压成型机中制成中空圆柱状之沸石吸附剂。制作出的吸附剂先放入烘箱中去除水份，再以450c煨烧4小时，此时沸石吸附剂便制作完成。1一 费允入 1:. j典崇手H君型T4辕I/琦水生、急3-5剖之梨,亍式折点 I 4-3中空柱土疏水性¥

32、型洪石4.4 沸石吸附剂的选取沸石是具有分子大小孔洞通道的多空性结晶固体，又称分子筛，其主要结构是以硅八面体（SiO4）所构成之三维空间晶体。在沸石结构中，有些硅可被三价铝同构置换，于是整个结构由SiO4和A1O4配合碱金属、碱土金属或稀土金属组成之硅铝酸盐之晶体结构。该结构之基本单元为以硅或铝为中心， 其中SiO4和A1O4是以各种则之排列方式， 共有氧原子为 四角而结合在一起之四面体， 由于其堆积方式之不同，因而形成各种不同沸石。硅在被三价 铝取代时，不平衡的电价可由一价或二价的阳离子平衡，主要是钙、镁、钾、钠。d一酎 * H（l.nu -堇3. L6T 洒石（分子新）营舞脑磅慎里云有堇围

33、3.1. 6-2 ZSM-5潘石骨架,结播模型示意圜ZSM-5 ZeoliteFX- n Zeolite照片4JJ不同;电石之外起® 4-1-1 Y-typc 满石 SEM4-1-2 ZSM-5 海石 SEMS 4-1-31 灌石 SEM圈与14 FX-U沸石SEM表4-1-1不同沸石之BET比表面稹沸石BET比表面稹 (m2/g)平均孔洞半 (A)Si/AlY-type423.313.6085ZSM-5303.431.73430FX- I335.016.66025-500FX-n401.715.834>500沸石的硅铝比不可小于 1,但没有上线。高硅铝比沸石具有疏水性，其吸附

34、性质与一般 含富铝沸石大不相同，它对水和其他极性分子亲和力很低。因此选择适当硅铝比，孔隙架构和阳离子形式，可制造出各种吸附性质大不相同的沸石。从结构来看，ZSM-5的硅铝比可由12改变至纯硅的silicalite。硅铝比从1变至热稳定性随之增加，表面性质从亲水性变成疏水性，酸性中心的强度会增加但酸量会减少。与其它吸附剂比较，沸石因具有晶体结构呈现均一整齐的孔洞直径，且这些孔洞具有很大的内表面积，可大量吸附和储存分子。 沸石亦属于一种离子型吸附剂， 可根据分子大小和 极性不同做选择性吸附。ZSM 型沸石系由一系列含丰富硅质沸石所组成，其结构是以；两个五元环单元形成之单层结构，单层再以不同顺序堆叠

35、，可以得到不同的孔道结构：(1) ZSM-5和(2) ZSM-11.其孔道特征为10个氧环，其自由直径约为 6?的沸石。其典型的硅铝比约为30,但可能大幅变化，特征为具有高热稳定性及水热稳定性，并具有许多的触媒特性，另其亦可用来吸附废气或废水中的有机物。Mobil公司在1972年所开发命名为 ZSM-5的人工沸石，一为 5.4 X 5.6 ?,另一为5.4X5.6?，其硅铝比为10-5000。ZSM-5沸石不仅拥有一般高硅铝比沸石所拥有的特质，还具有亲脂而疏水的特性，这种特质使得ZSM-5沸石比较喜欢吸附非极性的分子物质。沸石孔径单一均匀，如ZSM-5分子筛孔径约为 6 ?,则孔径只能吸附直径

36、6 ?以下的分子，较大分子无法进入孔隙，只能依赖表面吸附，故表现出形状选择性；另一方面，活性 炭的孔径相对于沸石而言分布较广，故孔隙内可吸附直径大的分子和直径小的分子以新沸石浓缩转轮原有组成而言，系含60-70% (wt)之陶瓷纤维(ceramic fiber ),为一蜂巢状成形基材 (substrate ),而另外30-40% (wt)则是沸石粉末长晶附着于基材上， 其主要成分为硅及铝。由于沸石转轮包含了大部分具有大量中孔的陶瓷纤维基材故沸石转轮 样品对IPA及PGME应饱和吸附率并不符合Langmuir等温吸附方程式。4.5 沸石转轮之制作程序沸石转轮之制作程序如图4.2-1所示，首先，陶

37、瓷纤维纸(Ceramic fiber )经加上粘着剂(Binder )等后透过特殊控温成型滚轮模具加以成形( Corrugation )为蜂巢状(Honeycomb)半成品，此时若欲成型为转轮(Rotor )型式，则将成形之蜂巢状陶瓷纤维滚 成圆盘状(Rotor disc type ),若欲成型为长方块状(Block type ),则将其依次堆叠成 型为长方块状即可；接着加以400-500 C之高温烧结数小时，此时半成品中之有机物几乎完全逸散而仅剩陶瓷纤维无机基材，烧结后陶瓷纤维无机基材加以含浸(Impregnation &washcoating )吸附剂粉末，并加以 70-250 C

38、之烘干即告完成。图 4.2-2所示之粉末状疏水性沸 石吸附剂，其中左侧沸石吸附剂之硅铝比较高且适用于无极性或弱极性有机物之吸附，右侧沸石吸附剂之硅铝比则较低而适用于极性有机物之吸附；图 4.2-3 4.2-5依序显示转轮陶 瓷基材成形后烧结前纵切局部照片、转轮含浸疏水性沸石粉末并烧结后之局部照片以及其局 部放大照片。Pioductffl 4,2-1沸石樽翰裂造程序示意圈3AX 工SI L 2-2跳水性满石吸附剥粉末左:敕高矽铭比 右:较低矽比）i5/rwn =?国L2-3斡给陶瓷基材成形徵烧结前切局部照片尚未含浸泄石吸附酉：）a 1.2-1舞翰含浸疏水性泗石衿未或境,结彳叁院切局部照片4 De

39、-mister5 . Lesfel gaufte6 , Pump堇3.3冷烧翁Wkt-伊"兄Figurx 3.3 Deiiyu jlimn cf Lcndenher表3净凝雪痣井4救Tiihle 3 1 OperbLinf piirLi：,；et?rsWth亡 coTideiiicrKll i； S：K ：EiEipFr：|-ift3；rl 饼Snp £ l即 ISrippf._?Gdryril AirE工宿i里4 it跟夫北岸兔罐t上三部;m黑套冷原君患无石特发匕&既之vq$厚兴师利 嚼契克鬼窑f下玄都于舔我* 口吁鲁能法：鹿瀛代我冷挺下A UG将 交者知Open

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45、氧化室内附著物甘3 T*直嬷式焚化燧(TO)埴魔针一般耐熟800*C，操作温度760忆靠熟回吃之功班霉另静交援若回收展题，魅回收率60-70%三塔番觎式燹化墟(RTO t three towers)谟建针一衽研期l,200：C，操作金度900, 10口口 C燧内堆置重越阳更，熟回收率93%三塔之展咒切镇整作鳌，福血鼠代垫片等零件零易耗W，造成废氟外浅6接整式罐热焚化煤(RRT。)谈就一般研熟1,200七，操作居度9口。10口吐域内堆登着熟陶交 熟回收率93%徒柳蔻役钟,鬃密电理探金眉封金总接麟，再得少量 乾津空鬃福越舞交叉污染之情形二阖2-19 TO RTO、RRTO之比敕t常料来源：超尊公司

46、.20口霜Multiple Heat Recovery ChambersSmgle Rotary DistributorProcessBurner ZoneDivider Walls Not Shown圜2-20旋樽式RRTO燃燃逶示意即资料来源：DURR.2003)5uigM4hf&ughAir P«h*(5) Inkt CMmtwiFlushingCh4fnbef向 Omiet6dmM 年僵粘家 能L高熬回股效率(>97%)工低漏就率3 .维修容易4 .可毒理大鼠量囊氮5 .高去除效率6 .低厘指7 .建傅成太低1陶竟乐£掠大(350、500mm wc)且

47、易silica给末这塞2 .低VOC;艮度特滋料营用高3 .重量幻鬼理6,000CMM凰量，需重料0.75嚼)，不逋建箕栓墟4 .NOx常注意5 .热横 冷和诗1224h)6 .需定期清除氮化堂也附著物曾表311 RRTO控制倚比较之便缺黠ConiUntFkwPdtl) fno 翼 hod circitli)2-21 RRT。燃烧堰氟流示意圜(资料来源：DURR. 2003)表：M2 依Qjfc勉4映康昱堂SiikrnlCnn 1M t 0 门旧 由 m 1 ch *rti ksl、1 ii Icmiir libruwl.Abto-NtlanTemper日怕闺七；Oeairoy Teriper

48、atu re|AT * 400 七酎，他占 SJKUA乙找 JLf BhjtylacM4P :99H 用UIQOCIA Cli. 1!：.425蟹5幽五专晒 型-.： |，万二曰1*1;Z-rrartxJ.'工齐W至¥占：行士T丁乙二兴r>K： !r. ；> cai *nxi ji x ； * nct i»x；Mn» -R. HI*二咫之桂3-10no，匕总械 Manmhnol nineJ*0flJGCURX» 4.4(-1二n prajhlrnr口以辛司、1力市二也Cthrr FGYE PTECWXJGCjlq2M5K与二“三下冬"状:pkE G'y:l Mncnrr:h11-Ft；，” 切、riijCtI：Oli-CIE3OC21£F353下立XIEA也匕裁仃