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1、传真：(8621)68043332卡姆丹克公司公司地址：上海南汇工业园区园迪路16号邮编:201314电话:(8621)68043010E-mail:sales单晶硅准方片技术规格编号项目规格单位NO.ITEMSSPECIFICATIONSUNITS1拉制方式CZGrowingMethod2材料Material单晶硅MonocrystallineSilicon3导电类型&掺杂剂Type&DopantP/BorP/Ga4硅片尺寸125*125+0.5156*1560.5mmWaferSize（见附图1）(SeeFigure1)5直径Diameter150+0.5200+0.5mm6垂直度Perp

2、endicularity90+0.37厚度200+20gm8Thickness总厚度变化30gmTTV9电阻率A:0.5p3B:3p10MinorityCarrierLifenS11晶向+2.0Orientation12位错密度3000pcs/cm2DislocationDensity13氧含量OxygenContent1*1018(ASTMF121-83)atoms/cm314碳含量5*1016(ASTMF123-83)atoms/cm3CarbonContent15崩边深度Depth0.3mm,长度Length0.5mmEdgeDefect(最多2处)(Max2pieces)16沾污无ContaminationAreaNone17线痕20SawMarkgm18翘曲度50gmWarpage硅片型号WaferType尺寸(mm)DimensionABCDMaxMinMaxMinMaxMinMaxMin125I125.5124.5150.5149.584823129125II125.5124.5165.5164.51091071311156I156.5155.5200.5199.51261

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