沉铜工序作业指导书

1、沉铜工序作业指导书1.0目的建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。2.0适用范围本作业规范适用于本公司电镀班沉铜工序。3.0职责3.1工艺部职责:负责沉铜线全面的工艺技术管理和工艺过程的控制，工艺及生产问题的解决，员工的培训，保证生产过程的顺利进行；3.2生产计划部职责: 负责生产组织与管理，员工的培训与培养，工艺过程和设备的日常维护和保养，产品产量和质量的保障；3.3品质部职责:负责对工艺过程、设备的维护和保养以及工序产品质量进行监控；3.4机修班职责:生产设备的管理、维护和维修;3.5电镀班：负责组织员工按本作

2、业指导书进行操作及对工艺与设备进行日常维护和保养.4.0作业内容4.1工艺流程双面板沉铜流程（行车用1#程序）磨板上料除油（清洁整孔）溢流水洗溢流水洗微蚀水洗酸洗水洗预浸活化水洗水洗加速水洗沉铜水洗转板电加厚铜多层板沉铜流程（行车用2#程序）磨板上料膨胀溢流水洗除胶渣回收水洗溢流水洗溢流水洗中和溢流水洗溢流水洗接双面板流程4.2 工艺流程说明磨板：清洁板面氧化、污渍、残胶等使板面粗化，增加结合力。如有刮伤、残胶等缺陷应先用细砂纸打磨后再过磨板机。膨胀：使环氧树脂软化膨松，便于KMnO4咬蚀树脂，以除去钻孔产生的碎屑污物。除胶渣：在高温强碱的环境下，利用KMnO4的强氧化性咬蚀膨松软化的环氧树脂

3、。中和：用来还原多层板带出的高锰酸根，并完全除去孔内残留的MnO2、MnO42-等；除油：清洁孔壁，调整孔壁基材表面的静电荷，提高孔壁对胶体钯的吸附能力。微蚀：去除氧化层，提高铜箔表面与化学铜之间的结合力。酸洗：清洁铜面，减少铜离子对活化缸的污染。预浸：为防止板材将水带到随后的活化槽中，使活化液的浓度和PH值变化影响活化效果。活化：在绝缘基体上吸附一层具有催化能力的金属颗粒，使经过活化的基体表面具有催化还原金属的能力，从而使化学镀铜反应在整个催化处理过的基体表面顺利进行。加速：除去部分包围着钯核的碱式锡酸盐化合物，使钯核完全露出，增强胶体钯的活性。沉铜：通过催化作用在孔壁及小铜面沉积一层细致的

4、铜层，使孔壁的树脂以及玻璃纤维表面具有导电性。4.3 工艺参数和操作条件缸名分析项目控制范围操作条件分析频率换缸频率材料容积浸液时间滴水时间膨胀碱当量温度75±2 ;水质：纯水 ;非空气搅拌;过滤、震动.1次/天6000-8000M2PP316180L7"10´15S强度60%-120%水洗自来水/空气搅拌/PP180L1"47´/水洗自来水/空气搅拌/PP180L2"40´/除胶渣氧化剂总量45-65g/l温度：75±3 ;水质：纯水;空气搅拌 ;震动1次/天1次/3月;8000-10000M2PP316320L

5、10"2215S碱度锰酸钾<25g/l凹蚀速率1次/周回收水洗自来水/非空气搅拌/PP316180L2"14´/水洗自来水/空气搅拌/PP180L3"46´/水洗自来水/空气搅拌/PP180L1"18´/中和MLB21670%-120%温度：48±2 水质:纯水;过滤、震动1次/班6000-8000M2PP180L7"20´/酸度水洗自来水/空气搅拌/PP180L2"12´/水洗自来水/空气搅拌/PP180L2"10´/除油C2332-3%温度45&

6、#177;2 ;水质：纯水 ;过滤、震动1次/班1次/2周Cu2+>1.5g/lPP316180L5"35´20SCu2+<1.5g/L热水洗自来水/温度40±2非空气搅拌/PP180L0"57´/水洗自来水/空气搅拌/PP180L4"17´/水洗自来水/空气搅拌/PP180L1"10´/微蚀Na2S2O840-80g/l温度28±2 ;水质：纯水 ; 过滤1次/天Cu2+40g/LPP180L1"56´10SH2SO42.0-3.0%Cu2+<40g/l微

7、蚀速率0.3-0.6um/min 1次/周水洗自来水/空气搅拌/PP180L1"16´/酸洗H2SO42.0-4.0%非空气搅拌/PP180L1"34´/水洗自来水/空气搅拌/PP180L3"15´/预浸S·G1.11-1.12温度:常温控制 水质：纯水;非空气搅拌 1次/天Cu2+>1.5g/lPP180L0"45´10S活化S·G温度45±2 水质：纯水;非空气搅拌过滤、震动.1次/班每年更换一次药水或Cu2+1.5g/LPP180L4"22´20S强度7

8、5-100%SnCl2·H2O3-12g/lPd2+65%-100%1次/周Cu2+<2g/L水洗自来水/空气搅拌/PP180L1"38´/水洗自来水/空气搅拌/PP180L4"25´/加速酸度N0.03-0.07N温度25±2， 过滤、震动1次/班3000-5000M2PP180L3"44´/水洗自来水/空气搅拌/PP180L1"21´/沉铜Cu2+温度32±2 ;水质:纯水 ;空气搅拌 ;过滤、震动.1次/4H每年更换一次药水PP180L16"4215SNaOH10

9、-14g/lHCHO3.0-5.0g/lEDTA30-35g/l沉铜厚度m1次/天水洗自来水/空气搅拌/PP180L3"20´/水洗自来水/空气搅拌/PP180L2"20´/上、下板挂蓝/戴白色胶手套上板戴黄色胶手套下板/养板缸水每班更换一次S304/4.4工艺操作装板.1把需要上板的飞巴挂篮上的螺丝调松，然后取已粗磨好的沉铜板按上板架的格子一块一块的插满，再用可调固定架将板按格子固定及拧紧螺丝即可，上板时切忌两块板上在同一个格子里。4.4.1.2上板时要戴白布手套，并注意操作手势，避免擦花板。不允许裸手拿板。.3板厚小于0.4mm的板需专用薄架生产。卸

10、板.1待行车将板从水洗缸中吊至上/下位停稳时,拧松挂篮上可调固定架螺丝并拉开，轻轻的将板取下来（一次取3块），慢慢的放入沉铜板泡板槽内,下完板后按装板的方式继续上板。.2拆板时要戴黄色的胶手套，并注意操作手势,避免擦花板。不允许裸手拿板。4.5工艺维护各缸药水开缸步骤.1膨胀缸.1.1加入半槽纯水.1.2在过滤泵中装好过滤棉芯.1.3开启过滤泵.1.4加入38L膨松剂 MLB211.1.5等候45min直至完全溶解，再加入23LNaOH(300g/L)于槽液中.1.6补充纯水至标准液位.1.7开启加热器将温度加热至工艺要求温度.2除胶渣缸.2.1加入纯水至槽体积的2/3.2.2加热至7075.

11、2.3开启打气、搅拌.2.4称取15Kg高锰酸钾溶解后缓慢的加入槽中，再缓慢的加入9L MBL214.2.5再加入39L NaOH（300g/L）于槽中.2.6补充纯水至标准液位.2.7再将温度加热至工艺要求温度.4.5.1.3 中和缸.3.1加入纯水至槽体积的3/4.3.2加入38L中和剂 MLB216于槽中.3.3搅拌至完全溶解并补充纯水至标准液位.3.4放入过滤棉芯于过滤泵中，开启过滤泵.3.5开启加热器，再将温度加热至工艺要求温度.4除油缸.4.1加入半槽纯水.4.2在过滤泵中装好过滤棉芯.4.3开启过滤泵.4.4加入3.8L除油剂 C233.4.5补充纯水至标准液位.4.6开启加热器

12、将温度加热至工艺要求温度.5微蚀缸.5.1保留1/6的原液，加入自来水至槽体积的3/5.5.2缓缓加入4L浓H2SO4.5.3搅拌，加入15kg Na2S2O8.5.4开启打气直至完全溶解.5.5补充水位至标准液位.5预浸缸.5.1加入纯水至槽体积的3/4.5.2加入48kg C/P404粉末于槽中.5.3搅拌溶液直至所有粉末完全溶解.5.4补充纯水至标准液位.6活化剂 .6.1加入纯水至槽体积的3/4.6.2加入48Kg C/P404粉末于槽中.6.3搅拌溶液及加热至工艺要求温度.，直至所有粉末完全溶解.6.4放入过滤棉芯于过滤泵中，开启过滤泵.6.5补充水位，加入6L活化剂 CAT404，

13、搅拌均匀.7加速剂 .7.1加入半槽纯水.7.2加入5L ACC19于槽中，补足水位.7.3搅拌均匀，开启过滤泵.8化学沉铜 .8.1加入半槽纯水.8.2加入18L C/P253E及0.8L C/P253C，搅拌5min.8.3开启打气，待23min.8.4加入11L C/P253A.8.5再加入11L NaOH（300g/L）于槽中.8.6补充水位，开启加热器加热至工艺要求温度.8.7放入过滤棉芯于过滤泵中，开启过滤泵.8.8加入2.8L甲醛。各缸药水溶液维护.1膨胀缸药水维护.1.1膨胀缸为入板第一槽,带出溶液量较多,应随时注意液位变化并及时补充DI水。.1.2因为膨胀缸所溶树脂过多,需经

14、常性检查及更换滤芯。.2除胶渣缸.2.1在添加高锰酸钾时应先溶解后缓慢的加入缸内。.2.2因除胶缸温度高、药水蒸发的较快,须经常检查缸内液位情况及时补充DI水。.3中和缸药水维护4.5.2.3.1中和缸在生产过程中应按每100M2生产面积进行添加物料，以免药水浓度偏低；.3.2定时检查和更换滤芯,并每周更换一次。.4活化缸药水维护.4.1调节好比重，补充液位只允许使用预浸溶液；.4.2每日清理液面上浮尘,停止生产后待温度降至30以下时,以PVC盖板盖住槽体；.4.3每周更换滤芯一次,并且每月倒缸保养一次；.4.4活化液的保养：先清洗活化后第二级水洗缸,再用预浸溶液淋洗；接着用过滤泵将活化液抽至

15、洗净的备用缸,过滤的同时用洁净之阳极袋包扎出水管口；再用10%盐酸循环清洗60分钟，排掉后用布碎擦洗缸壁结晶物，然后用DI水循环清洗；最后用预浸液淋洗缸壁后，将原液用过滤泵抽回缸内。.5速化缸药水维护.5.1速化缸开新药水时必须将原药水排放干净，并刷洗缸壁黑色结晶物；刚开新缸药水浓度酸当量控制在工艺要求最下限即0.05N,温度控制在中值;连续生产24小时以后将药水浓度酸当量慢慢的往上调整,并达到工艺控制中值，否则会产生速化不够而出现背光不良现象。.6化学沉铜药水维护.6.1保持药水每日24小时连续性空气搅拌及过滤；.6.2每周将药水过滤倒缸一次,并清洗加热器、缸壁、循环泵及过滤泵内的残铜；.6

16、.3药水倒缸后，生产板前必须用5m2以上无铜PP拖缸板进行拖缸,但必须从除油缸开始拖缸即走自动程序。（无铜PP拖缸板料每两个月更换一次，防止纤维丝脱落掉入药水缸影响生产品质）.6.4停止生产24小时以上时，重新开拉生产时须保证至少8 m2面积的无铜PP拖缸板；.6.5停打气4小时以上或长时间不生产时,用10%的H2SO4（A、R）调整PH到9-10予以保存溶液。现我司化学沉铜线是使用罗门哈斯的薄铜药水，其化学沉铜缸药水的负载2/L(罗门哈斯要求标准,双面计算)，根据我司缸体积折算负载量为2,每挂篮上板数量为11PNL，平均1.30FT2/PNL,则每缸的负载量为: 11PNL*(1.3FT2/

17、PNL)*2面*1架/缸=28.6FT2,正在我司中间值。如果在生产的过程中板2时(双面计算)，需要重新配比板的尺寸进行生产.7各缸体的保养流程保养事项保养程序频率水洗换水清洁槽内壁1、将污水排放到排水管道；2、用水管冲洗缸壁和缸底直至将污水排尽；3、用白碎布将缸壁和缸底的有机物擦除（效果：显现原缸壁颜色）；4、用水洗净缸壁和缸底；5、添加水至标准液位。1次/周膨胀更换过滤棉芯一、 棉芯的处理及更换：1、用稀硫酸（3%）浸洗过滤棉芯;2、用水清洗过滤棉芯及过滤泵；3、将处理过的棉芯换到过滤桶内（更换新的棉芯时，注意必须将其顶部的锁帽拧紧）。二、药水缸的清洗方法：1、将药水排放至排液管道；2、用

18、水管冲洗缸壁和缸底直至将药水排尽；3、用白碎布将缸壁和缸底的有机物擦除（效果：显现原缸壁颜色）；4、用水洗净缸壁和缸底；1次/周中和更换过滤棉芯1次/周除油更换过滤棉芯1次/周预浸更换过滤棉芯1次/周加速更换过滤棉芯1次/周活化更换过滤棉芯活化缸倒缸方法详见1次/周倒缸1次/月除胶渣清洗缸底残渣及再生器1、用水清洗缸内残渣；2、配成2%双氧水加2%硫酸溶液来浸洗0.51小时至缸内之残渣溶解为止；3、取出再生器用水清洗残渣；4、用水把主缸清洗干净换新药水时进行彻底保养沉铜更换过滤棉芯清洗及倒槽1、见膨胀、中和、除油、预浸缸棉芯的处理及更换。2、过滤槽中溶液注入备用槽3、用清水浸洗，清洗槽内壁4、

19、注入一槽清水，加10L硫酸、2L双氧水，浸泡24小时。5、排除溶液，用清水清洗6、把备用槽中的溶液过滤后放回工作槽1次/周药水缸溶液温度每4小时生产值机员以水银温度计实测药水温度,如有异常通知机修班人员进行调校温控器（包括对探测器的维护）。1次/4H工艺控制.1各缸药水浓度成份调整由化验室负责完成,操作员工应根据每100m2生产面积的药品添加量进行药品添加，并做好相关记录。.2所有槽液如出现异常现象时,如:变色、分层、漏液，分解等均需工程师或化验室人员确认后更换或补充,不允许随便补加药水。.3根据化验室指示进行各槽药液的正常更换,溶液配制过程中按指定顺序进行操作。.4所有固体药品加入缸内时需事

20、先溶解后补充加入。.5所有药品添加均应在缸内无板情况下进行添加药水或补加液位。.6添加药水须按化验室的加药通知单及时,如实补加，并如实作好记录。.7在正常生产过程中,活化缸的二级水洗、加速缸后的DI水洗不允许开打气，防止板氧化而影响背光不良品质问题。.8每4小时测量温度1次，并进行调整作好记录，每周通知维护部以水银温度计所测实际温度来进行调校温控器（包括对探测器的维护）。.9化学沉铜好的板需立及放入养板缸内,养板缸的水应每班清洁更换一次.10化学沉铜好的板务必在6小时之内完成整板电镀,并以先进先出的原则；如超过6小时后须取样进行背光检测，当背光级数低于8.0级时须返工处理。.11沉二次铜操作4

21、.5.3.12所有厚径比大于8或板厚3.0mm的板件或电小孔径为0.20mm且板厚1.6mm的板件必须进行沉二次铜操作。4.5.3.13沉二次铜操作：多层（双面板）沉铜流程到沉铜后水洗直接用“手动”程序将板件吊至浸酸，后按“自动”程序操作至转板电加厚铜。这样此板件就完成了沉二次铜操作4.15 聚四氟乙烯板材等特种材料板材对沉铜有特殊的要求，具体可见PTFE与FR4混合材料加工注意事项。生产过程中添加量:缸名药品名称千尺添加量膨松MLB2111.0L/100m2NaOH(300g/L)0.5L/100 m2除胶渣KMnO41.0kg/100 m2NaOH(300g/L)1.5L/100 m2中和

22、MLB2164.5L/100 m2除油C2330.5L/100 m2微蚀Na2S2O82.5kg/100 m2H2SO41.0L/100 m2预浸C/P4042.5kg/100 m2活化CAT44分析添加加速ACC190.6L/100 m2沉铜HCHO0.8 L /2H和分析添加NaOH（300g/L）1.0L /2H和分析添加253A1.0 L /2H和分析添加备注：生产补加的同时需按化验补加;添加量平米以双面计算.4.6设备维护与保养在进行维修前应确信电源是关闭状态，行车处于停止状态。 注意观看感应片及传感器，如不细心会造成不可预料的故障。不要在槽上、机架轨道、抽风口及槽盖上行走，这样很危

23、险，应使用维修平台进行工作。 电箱应尽量放置在荫凉、通风、干燥的环境，不得将腐蚀性气体直接吹向电箱，厂房内湿度 过大时要加强排气。环境因素将直接影响电气设备的使用寿命。加热器、泵等所有器材必须可靠接地，发现对地短路的应及时处理，严禁断开地线继续使用。发现空气开关、热继电器、变频器跳闸，切记不可盲目反复合闸，应仔细检查排除故障后合闸，以免造成设备损坏。过滤泵及循环泵都采用磁偶泵，使用中绝对禁止无水开泵，以免损坏泵体。过滤泵在运行过程中如出现不正常的声响或开关跳闸，应及时修理，看是散风扇碰到罩子，还是吸入杂物，或者是轴承损坏。震动器、感应器尾部导线被用扎带扎成小圈，这能缓冲外力的作用，如发现小圈松

24、开应及时重新扎好。车上用扎带扎好的电线如发现扎带松动，应及时重新扎好，以免机械结构摩擦损伤电线。未经允许，不可擅自修改行车的控制速度。行车出现电池报警应及时更换PLC电池且必须在5分钟之内完成，否则机内程序记忆将消失。行车.1纵走轮应保证运行正常，如发现轮周的红色胶有脱胶时应及时更换；.2行车部件上的所有马达、轴承大约在36个月后应加注润滑油以保证正常运行。路轨通:保证路轨表面干净以保证行车运行畅通无阻。摇摆部分.1设备运行6-10个月后应检查摇摆马达牙箱内的油位是否需要更换；.2摇摆运行时严禁在上面放置任何物品。.3缸槽部分.4不要将杂物抛进缸槽以免堵塞过滤泵或循环管路；.5定期检查打气管的

25、防虹吸孔是否堵塞，以免停打气机时引起缸内液体倒流。4.7生产操作生产前开机准备.1开启所有过滤泵和加热器。.2补充所有槽中的水位，通知化验室分析药水浓度。.3检查所有槽的温度。4.7.1.4 检查所有过滤泵性能，并定时更换过滤棉芯。.5检查水槽的流量及各槽的打气是否正常。.6检查沉铜槽的附槽液位是否足够。4.7.1.7 检查控制器是否正常。4.7.1.8 检查飞巴运行是否正常。.9检查摆动是否正常。.10待温度达到工艺要求且药水化验OK后，方可正常生产，生产前务必先上一缸无铜拖缸板进行拖缸。开机操作4.7.2.1开机程序.1.1检查水源（回用水及自来水），电源是否正常；查看过滤系统是否紧密，各

26、液面是否达到要求； 检查行车轨道上是否有异物；检查各箱盖是否盖紧；.1.2打开电镀线总电源（在墙壁上），打开水源开关（回用水及自来水）。.1.3打开控制电源开关，进入操作界面。.1.4在行车、周边正常情况下将行车急停、周边按纽复位。.1.5点击“行车A”控制项，在“行车A”控制项子界面将行车置于“手动”模式，同时在 “行车A”控制项子界面先后点击“步骤”“复位” 控制项将行车步骤复位，先后点击“程序”“设置”设定要使用的用户程序号,开机前检查飞巴和行车位是否在原始位。程序号开缸数A车位置B车位置飞巴位1#双缸1211，4、5，8，12，17，21，23，25，29 2#单缸1在黑化线1，3，4

27、/5，12，18，25，29.1.6在“行车A”控制项子界面将行车置于“自动”模式开始运行，需要连续循环运行的，按下“循环”控制项。.1.7在 “行车A”控制项子界面点击“菜单”控制项，在“菜单”控制项子界面开启相关的周边设备（过滤、震动、鼓气），注意无水严禁开过滤机，同时检查控制箱内相关周边设备的控制开关是否打开（开关上贴有相应控制设备标签）。4.7.2.2沉铜缸选择.2.1在“行车A”控制项子界面选择正在使用的沉铜缸号（4号或5号）。.2.2沉铜缸在“菜单”控制项子界面的缸号控制项为“4、5号缸”。.2.3在控制箱上打开相应正在使用的沉铜缸的过滤泵（旋纽右旋，指示灯变黄色即可）”。.3沉二

28、次铜操作.3.1需沉二次铜的板件在正常沉铜操作至沉铜后水洗时，在“手动”操作模式下将板件吊至酸洗缸（13号缸），后按程序操作正常沉铜。.3.2如是“自动”操作模式更改为“手动”操作模式，必须在行车处于等待时间时更改。.4关机程序及操作.4.1关机程序为开机程序反方向。.4.2按下急停按纽（行车或周边）可立即停止相关（行车或周边）运行。.4.3当最后一架生产板从每个药水缸、水洗缸出来后,关闭该药水缸或水洗缸的打气、循环过滤泵及加热器开关，并关掉前面的溢流水洗阀。.4.4最后一架生产板出化学沉铜缸后，应关闭化学沉铜缸加热器和自动加药器开关及电源,但务必保证循环过滤及空气搅拌。.4.5将控制触摸屏上

29、的周期由黑色点摸成白色,行车将运行一个周期后自动停止。.4.6关闭总电源及总水阀门开关(化学沉铜线打气泵不受总电源控制)。 应急处理措施:.1停电、停水后.1.1在生产过程中突遇停电时,所有在线生产板在药水槽中滞留时间不能超过正常程序规定时间,必要时用人工将板抬至水洗缸中存放，预浸之前的板可存放在水洗缸中存放到来电后继续走正常程序生产；预浸之后的板需人工取出清洗后烘干、存放并作好记录，待返工处理。.1.2 在生产过程中突遇停水时，所有在线生产板在药水槽中滞留时间不能超过正常程序规定时间，必要时用人工将预浸前的板抬至水洗缸中存放，预浸之后的板按规定程序时手动操作完成活化、加速、化学沉铜的生产流程

30、；待来水后将停放在水洗缸中的板走正常程序生产。.2 在线生产板如出现掉架或散架现象,应及时进行调整,视所处位置情况进行手动人工重新上板，或根据实际情况按背光不良返工板进行处理。.3 出现异常情况时应立即通知部门主管或工序负责工程师处理。4.8 背光不良板（双面、多层板）返工处理程序：未整板电镀的板返工流程：背光不合格板微蚀去除孔内沉铜层磨板化学沉铜（双面板程序）QA检测背光合格后整板电铜。 已整板电镀的板返工流程: 背光不合格板磨板化学沉铜（双面板程序）整板电铜(工艺出示返工电流指示)。 返工操作注意事项:.1 背光检测低于标准8.0级以下的板进行返工处理，并知会流程工程师对背光不良问题 进行原因分析及调整处理后，再进行生产返工板。.2 先微蚀孔壁沉积的沉铜层,微蚀时间控制在30秒(插好架的板放在化学沉铜线上的微蚀缸进行微蚀)。.3 把孔壁铜微蚀完后，然后重新进行磨板处理铜表面，磨板时仅开启幼磨刷（即3#，4#磨刷），磨痕控制在15-20mm左右，防止磨板过度拉长孔。.4 磨完板后插架，选择生产程序（返工板用6#双面板程序