激光干涉仪实验报告

1、基于激光干预仪的CA6140机床精度测量实验、实验目的与要求1了解雷尼绍XL-80激光干预仪的工作原理；2. 掌握雷尼绍XL-80激光干预仪的的使用方法；3. 掌握普通机床Z轴定位精度、重复定位精度的测量方法;4. 掌握普通机床定位误差数据的处理方法。、实验仪器与设备仪一台；2.CA6140 机床一台。三、实验原理XL戯世图1线性定位精度测量原理图移动釉疾来自XL-80激光头的光束进入线性干预镜，在此光束被分成两束。一束光 称为参考光束被引向装在分光镜上的反射镜，另一束光测量光束那么穿过 分光镜到达第二个反射镜。然后，两束光都被反射回分光镜，在此它们重新组合 并被导回到激光头，激光头内的探测器

2、监测两束光之间的干预。一般在线性测量过程中，一个光学组件保持静止不动，另一个光学组件沿线 性轴移动。通过监测测量光束和参考光束之间的光路差异的变化，产生定位精度 测量值注意，它是两个光学组件之间的差异测量值，与XL激光头的位置无关 此测量值可以与理想位置比拟，获得机床的精度误差。四、实验步骤M补偿申近空三富度建巒蛊图2定位精度测量示意图1开动机床，在保证激光不被机床碰到的情况下，激光干预仪应离机床 越近越好便于对光。2放好支架，大体判断镜子所需架设的高度，然后调整支架至合格位置。 各个活动部件都要锁死。3将激光干预仪安装至支架，激光干预仪下有锁扣，扣死。使用水平仪， 通过调整支架使激光干预仪到

3、达水平状态。4将激光干预仪各个微调螺母调制中间位置便于以后微调。5连接激光干预仪电源、数据线、数据收集器、传感器、电脑等，翻开 激光干预仪电源使激光干预仪预热， 等激光指示灯出现绿色后，说明激光已稳定 正常需5分钟。6架镜子：遵循干预镜不动，反射镜随机床动a. 将机床擦拭干净并将机床开到适宜位置，被测量轴工作台需要开到极限位 置最靠近激光仪的一侧。b. 先架干预镜，将干预镜用安装杆、磁性表座固定在机床不可运动部件或其它固定部件上。可通过不同的组装方法使光线的反射方向不同 那些不方便直线 架设激光干预仪的， 可以采取 90 度架设。激光干预仪一般吸附在主轴上， 如不 方便可吸附在主轴箱上。C.架

4、设反射镜，将反射镜用安装杆、磁性表座固定在机床运动部件上。调整高度使其和干预镜高度相同。2. 对光过程：近处调镜组的位置，远处调激光头的俯仰和偏摆旋钮。1激光干预仪光头旋转至小光圈，将光线调整至射入干预镜通过调整 架子位置和高度，这时需要看的是激光仪上主光点应在对光圆圈的中点，副光 点应和主光点在同一竖直线上。如果达不到这个要求，继续通过调整架子角度、 激光干预仪高度等，使其符合要求。2将反射镜与干预镜对齐， 注意， 此时反射镜位于离激光头最近的位置， 移动 X 轴和反射镜的高度，观察对光圆圈上第二主光点的位置，当对光圆圈上 的两个主光点完全重合、 且都处于对光圆圈的中心时说明此位置处参考光束

5、和测 量光束可以形成干预。3手摇机床使之开到要测量的最远端，这时假设两光点别离即不在同一 直线上，需通过调整激光头偏摆和俯仰旋钮来调节， 使对光圆圈上的两个主光点 完全重合、且都处于对光圆圈的中心。4重复步骤 2、3，直至在整个从最近端到最远端的行程中两光点一 直处于重合的状态，对光完成。启动测量软件，进行相关设置。沿 Z 轴方向移动机床，移动到要求位置， 点击“采集数据 。五、考前须知1. 搬运仪器附件箱时，应轻拿轻放，防止损坏激光干预仪或其它附件。2. 三角架在使用时，应将各紧固螺钉固紧，防止意外事故的发生。3. 激光干预仪在使用时，应用两松紧带固紧。4. 安装光学镜组时，要小心谨慎，防止

6、摔坏或碰坏镜组，特别禁止“悬空安装光学镜。5. 严禁用手触摸镜组镜面，保持镜面干净。6. 眼睛不能对准输出光束直视，否那么会伤害眼睛。7. 注意各条电源线和传输线，以免拌到电源线或传输线。8. 测量完后，应将电源线、连接电缆、电源插板及电缆线等擦拭干净。9测量完毕后，应仔细清点仪器所有附件，防止丧失六、实验数据处理测量完毕后，点击“分析数据下的“、“ 、“打印或观查误差表和 差补偿图表，得到相应的图表，截图保存。机宕林.麒列号 ；曰 财.二tH/-Uti-CJ 1 IU ： 4b LjLZ H?«W：:"Xfd*起= L&pturad tlotd 屮它F冋ae

7、71;ia«s12W l/机祇号曰 潮.ZOI T-OG-Ol I O : -XjE : EiZ列Hh«: w*工凸N. BB3 I.31；!, HOD&DB. N12ZM!i|. 770*Jn7.£lFB A A A 需 tlr*.1 1Z3. J-33TTD! ! M 比丫斗F- W勇d;I- -" p*<啊Ml mr fciiLd JF湘口TJ卜artQ FHomh rtoGoo Nbno OHOG 呻中冃 O©HO mbmm 00 H6O8 mW寸b t'mmb boHm 血寸to fflgLO ?)<50&

8、gt; 61(0 clhom EHMQ 3苗*审 ss rl-Nn s H B MFIoe sooo M 口Ln口 21rlsN 戏皿Iflm 愠卜-Ct B(ahh hom-M 忙汇Gclr- mhhe f广庁_L cNDh cEQh CCK'L rt卜曲o fis© MGCJO 门®Irlin 00© ?s ffl珂Nh grimm C4C; 40 Hooomufl w丄GIE "flDCl即卜Dlflb IH斛叭灯那ewCMO审HQ口卜H H H HH H H bHH HidWW(NW MM E旳E冲曲E E ME WM何車P 0琲邓申邓审

9、咿邓屮山门口旳门吨OOOOOCOOOOCOCCOCCOC 0 0 00 000 3OOO3OO0OOOOOOOOOOOOOOC OOOCOCCOOCCOOOOOC 00 C 30203 0 0 30O3OC 3OOOOOOOOOOOCOOOC OQOOOOOOOOCOOOOQOOC 0 0 000000000000000000000000000000 "|totQM-r0001-1-octq rmmRb u zjouimobmm nmcj卜ddoobbSci-dc'tt'jMC todoib idriHdonddHi<i<(<qadoiLod6I c

10、jAwomozG卜hqqb卜帕曲卜Tifliibin (jifiairxNr-ojrtOnox'ii'Hfoi'OLDtDH寸怕和。卜曲oI MEE呷EC和忙卜卜卜0昉卜卜8 m jib I rriHrtflU)rt0(D>LD(DU)bt-COJiOOCin I r仪flE I I I I I I I II I I I I I I II IlliQGmmeemeembouG 口匚口口匚匚二二：gzoQQgggQgQpgyI n炖卜彷0旳o时mdo* q讨 | 口einrmd艸ujaoqrw中Giomopwitlp卜®円HrIHHHWHHpiHHC

11、9;jB-l HHi-IfIHOOOOOCOOGOCOCC OCCOC C3 00 000 005000005000000000000000C 8擁規翅邈瀝礙搭8派昭緩懑規8翔嬲羯迩 OOOOOGCOfiOCOOC aoc-ae 0 3 0fl3&0 5&3503d050000dd60o00o000cISFIII-illlBI I P I ! I I I I I I III IHiRRIVPI SFIli>lli 4lill>il «QOOOOOOOgClQg gOg 口 gCiQD口OOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOOM呻中尬口典1TQCO

12、UQ直吨bzQ曲血耳叫 訓d心ROClQ侧QOR®邓QIOCOQ呻CM 创呻如QWHHrl HiHfI H H rl <H C| 0| H H i-l H idH Huooooocoon ooou ooooooooonoo-00 OQOCOOOCOCn 0000 h<LN10s(sCDa7lrTA9S 牛4:16 斗 d5-?:土區 J7J-3 oil so 24-04 J2 3i777_0G7 9-092ap 05s&Q 7S7&93 丄&_nso-t± 了S37 J-1SL mGoil Go 2 斗04 T D 47&鱼777

13、10 ETlr 9 f D 9 sQ.JIQdHdodo.ndDdd J5 7Q 086 J-0-0- G4E 1111211 Lt 丄uoooonoooon ouoo oooooouoonooo UQOOOOOOOOn 口HotJ ooooooooonoooo - - 亠 丁 - ¥ - on-oooooooon 0000 46已 OO3S42OA242 1112211 H 丄Jz zv*. > 了/ j JOS55ess 06eBsssloS7-SS篦-si ffiS髯詁.SSMn謀畀整莽st小巫込丝:匸 d口t = V Dgtd- i"tl_ 疋區冇问分皿辺蕊士

14、当A宜1 曲*谡垄宜u. tjocu 些半O 0000秦未LTOO. OCOO20 00003IT siTri=712J05 §ST4G824 心甘.1 92 - 1353_ -1-1 一一 -Koooounoccoo-500 00 onoooooLuo.osno.ascddd4鬥KC24_0S01 11lx七、思考题1. 根据实验结果，分析机床的定位精度、重复定位精度和反向差值分别为多少？微米重复定位精度 R= 505.212+951.770/2二微米微米2. 什么是定位精度？什么是重复定位精度？定位精度：指零件或刀具等实际位置与标准位置理论位置、理想位置之间 的差距，差距越小，说明精度越高。是零件加工精度得以保证的前提。重复定位精度：在在相同条件下 加工一批零件所得到的连续结果的一致程 度。3. 产生反向差值的原因。在传动系统中各传动部件之间存在间隙， 如键连接间隙、 齿轮副中的齿轮间 隙、丝杠螺母副间隙等。 其综合作用影响下导致了反向差值的出现， 使得机床加 工精度降低。4. 简述对光过程。1激光干预仪光头旋转至小光圈，将光线调整至射入干预镜，通过调