手套箱等设备技术参数

1、手套箱等设备技术参数序号主要技术要求及配置要求1设备名称及采购数量：手套箱3套，气体净化系统 2套一、技术参数：（一）手套箱：I、 箱体要求：304不锈钢材质,尺寸分别 丝000mm*1000mm , 1500mm*780mm, 1500mm*780mm ; 2、箱体泄漏率：0.05vol%/h ; 3、微型过渡舱1个（长400mm，直径150 mm ）,T型过渡舱2个（长600mm, 直径390mm），均须内置滑盘； 4、前窗面板为Lexan材质，厚度 羽0mm，手套孔圈为POM材质；5、防疲劳照明系统，需有防漫射功能，安装于前窗顶部；6、溴丁基橡胶手套，厚度 0.4 mm末端口径 220

2、mm;7、必须配置三层高度可调的搁物架；8、 HEPA过滤器的过滤级别可达 H13，风速0.25米/秒，洁净度千级以上；9、箱体出气口带有有机溶剂吸附装置；10、箱体安装石英玻璃窗；II、箱体底部配有支架和旋转脚轮，可微调水平。（二）气体净化系统：1、 水氧净化系统：进口循环泵；净化柱自动再生程序；SUS304不锈钢管道；2、可得气体纯度：水 1 ppm，氧1 ppm ；3、主控阀：MB EPV-40 VAT 电磁气动阀；4、 PLC控制，箱体工作压力在+/-15 mbar范围内进仃调节，带有可调节压力的脚踏 开关；5、配有真空泵，真空度 2x10 3 mbar以上，抽速 12 h,原厂气镇和

3、油雾过滤器；6、 水探头：检测范围 0-500 ppm ;耐腐蚀，PLC集成控制，灵敏度 10 mv/ppm,精 确度 0.1 ppm设计寿命5年以上；7、 氧探头：检测范围 0-1000 ppm ;专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，PLC集成控制， 灵敏度不低于10 mv/ppm，精确度不低于 0.1 ppm，设计寿命5年以上；8、 有机溶剂吸附装置，5kg以上活性炭可更换，灰尘吸附功能，抽真空功能。（三）加热面板：箱体内须配备2个加热面板，参数如下：1、 加热输出功率： 1000 W ；2、 加热温度范围：50-600 ° ；3、 带传感器控温精确度：±3 K ；4、 介质温

4、度稳定性：±3 K ；5、加热速度：药K/min。（四）系统集成要求：3个箱体通过T型过渡舱连接成一套手套箱系统，3个舱门，中间箱体右侧另配备微型过渡舱。二、配置要求：1箱体集成气体净化系统；2、6个DN40KF法兰接口3、BNC和BANANA 插头位于箱体上4、电路改造：符合设备及空调安装要求，配置多路接线插座设备名称及采购数量：匀胶机1台一、技术参数：匀胶机为非标定制，操作界面须与手套箱底板融为一体，真空、补气管路与手套 箱集成控制系统必须完全融为一体。所集成甩胶机参数如下：1、 匀胶机须通过手套箱的 PLC控制系统进行设置；2、整机泄漏率：<0.05vol%/h ；3、顶

5、部带有透明密封罩；4、 能处理尺寸不小于 8”的wafer或6”x6”的基片；5、转速范围：1007000 rpm ；6、可编辑的程序菜单数量：不少于 10个；7、主材质：须耐绝大多数的有机溶剂；8、速度阶段：0-10个阶段；9、每阶段时间范围：0-999秒；10、内置可更换式的防污染碗；11、配有脚踏开关。设备名称及采购数量：光刻机1台一、技术参数：1、曝光面积： > 150 mnK 150 mm；2、分辨力：< 0.81 ym （胶厚2m的正胶）；3、 对准精度： ±）.6 mm ；4、照明均匀性：土 3%（f100 mm 范围），土 5% （f150 mm 范围），土 6% （150 mm X 150 mm）5、曝光波长：365 nm ；6、 曝光能量密度：> 20 mW/cnf;7、光源平行性：W2度8、最大胶厚：500 ym （SU8胶）9、 掩模相对于样片运动行程：X : ±5 mm , Y : ±5 mm , q : ±5度；10、曝光方式：定时和定剂量。二、配置要求：1、曝光头：包括冷光椭球镜、直流高压汞灯、三维汞灯调节台、光学系统、冷却系统。2、 对准系统：包括对准工件台、对准显微镜和CCD对准系统。3、电控