奈米压痕测试仪 Nanoindenter仪器原理与功能

1、奈米壓痕測試儀 Nanoindenter儀器原理與功能壓痕測試是材料機械性質量測上最常用的方法，奈米壓痕測試利用奈米鑽石壓頭將極微小之荷重作用在待測材料表面，使材料發生變形。利用位移感測器可測得壓頭之壓入深度、進而得知下壓面積；而藉由測試所得之荷重-深度曲線，配合Oliver-Pharr關係式，可進一步計算得到材料之硬度及彈性係數。廠牌規格奈米壓痕測試儀 Nanoindenter廠牌 / 型號TriboLab, Hysitron, USATransducer Specs.最大荷重10 mN儀器解析度荷重解析 1 N深度解析 0.2 nmDate Acquisition測試曲線最大測試點數131

2、,072數值點獲取速率30,000 points/secMotorized XY Sample Stage載台尺寸50 mm x 50 mm載台可測試範圍50 mm x 50 mm載台水平位移誤差50 nmMotorized Z Sample Stage載台垂直可位移範圍50 mm載台垂直位移誤差3 nmOptics放大倍率10X - 20XTrue in-situ SPM Imaging Specs.水平掃描範圍極限60 um x 60 um垂直掃描範圍極限4 um掃描解析256 lines per image掃描頻率0.1Hz 3.0Hz附件功能附件功能奈米刮痕測試磨耗測試備註附件功能暫不

3、開放自行操作自行操作辦法執照等級管理辦法C級執照(學習執照)參加過儀器說明會並提出儀器學習申請者，於接受操作訓練後可取得學習執照。領有學習執照者，可由管理員或具講師執照者於安排時段內練習，不得獨自使用本儀器。學習時數超過15小時後，可參加一般執照之操作考試。半年內如未取得一般執照，則取消其學習執照。B級執照(一般執照)通過操作考試並了解儀器維護要點者，可取得一般執照。領有一般執照者，可自行於預約之上班時間內 (上午8點至下午5點) 使用本儀器。半年內如未使用本儀器，則取消其一般執照。A級執照(講師執照)取得一般執照後，上機次數超過15次，未曾出錯，通過儀器維護鑑定並參加規定講習，且願意協助指導

4、學習執照者，可取得講師執照。領有講師執照者，可全天候使用本儀器。半年內如未使用本儀器，或曾出錯傷及儀器，則取消其講師執照。備 註嚴禁冒名無照操作，一經發現該實驗室禁用本儀器半年。服務項目服務項目材料機械性質測量(附件光學顯微鏡)硬度彈性係數荷重-深度曲線試片表面與壓痕形貌SPM掃描備註1. 使用者必須詳細說明試片之種類與結構。2. 表面須乾淨，表面粗糙度不宜過大，否則可能無法量測。3. 薄膜試片之膜厚愈厚，則所量測之數據愈準確。4. 試片尺寸須大於0.5 cm x 0.5 cm。5. 試片須事先黏貼於試片座上，請提早至現場處理。6. 請使用時段預約。預約時段 週三、週四上午 9：00-12：0

5、0和下午 2：00-5：00收費標準收費標準項目校內校外開機費用1000元2000元測試點 (每一點)100元200元SPM掃描 (每次)100元200元備註如有未盡事宜，將另行公告於貴儀網站。預計數據回報測試數據基本上於測試當天即可取回，請自備隨身碟。備註由於指定與實際測試區域可能因觀察判斷而有所差異，上機時請在旁陪同。聯絡 地點聯絡人諮詢教授張守一TEL：(04) 22840500 #701E-mail：.tw管理學生陳思帆TEL：(04) 22840500 #702E-mail：ck910435yahoo.cm.tw儀器地點國立中興大學材料工程學

6、系工程三館 (化工暨材料大樓) 地下室MB04儀器預約者貴重儀器中心中興大學材料系主項儀器奈米壓痕測試儀 (Hysitron TriboLab Nanoindenter)細項儀器-預約方式時段預約序號預約儀器在 7 天前預約儀器在 3 天前取消付費方式尾程優惠上限實驗基本費用操作方式委託操作自行操作樣品樣數：實驗件數：預估實驗費用總金額：實驗額度：實驗現金：備註說明預約注意事項技術人員電話 (04) 22840500 #703 or #702.1. 使用者必須詳細說明試片之種類與結構。2. 表面須乾淨，表面粗糙度不宜過大，否則可能無法量測。3. 薄膜試片之膜厚愈厚，則所量測之數據愈準確。4. 試片尺寸須大於0.5