LCD制程工艺知识培训课件(共33页).ppt

1、LCD工艺流程简介NC -PECY Tang 工艺流程光刻l主要工序投入清洗涂胶曝光显影刻蚀脱膜玻璃投入工序作用: 位于整条生产线的前端，负责整片ITO玻璃基板的投入。 要求ITO玻璃的規格型號符合產品的要求。 发料是最主要的是要记住ITO面朝上(通过大切角判断) 工序作用:玻璃的清洗与枯燥：用清洗剂以及去离子水DI 水等洗净ITO 玻璃，并用物理或者化学的方法将ITO 外表的杂质和油污洗净，然后把水除去并枯燥，保证下道工艺的加工质量。 清洗 涂胶工序作用:在ITO 玻璃的导电层面上均匀涂上一层光刻胶，涂过光刻胶的玻璃要在一定的温度下将涂有光刻胶的玻璃烘烤一段时间，以使光刻胶中的溶剂挥发，增加

2、与玻璃外表的粘附性Glass基板ITO感光树脂膜 曝光工序作用:用紫外光UV通过预先制作好的电极图形掩模版照射光刻胶外表，使被照光刻胶层发生反响，在涂有光刻胶的玻璃上覆盖光刻掩模版在紫外灯下对光刻胶进行选择性曝光Glass基板UV光 显影工序作用:用显影液处理玻璃外表，将经过UV光照分解的光刻胶层除去，保存未曝光局部的光刻胶层，用化学方法使受UV 光照射局部的光刻胶溶于显影液中，显影后的玻璃要经过一定的温度的坚膜处理使光刻胶更加坚Glass基板現像液 工序作用:用适当的酸刻液将无光刻胶覆盖的ITO 膜蚀掉，这样就得到了所需要的ITO 电极图形注：ITO 玻璃为氧化铟锡的导电玻璃，易与酸发生反响

3、，而用于蚀刻掉多余的ITO，从而得到相应的拉线电极Glass基板 工序作用: 用高浓度的碱液NaOH 溶液作脱膜液，将玻璃上余下的光刻胶剥离掉，从而使ITO 玻璃上形成与光刻掩模版完全一致的ITO 图形Glass基板 图形检测图形检测PATTERN CHECK工序作用: 对玻璃外表形成的ITO图形用电学原理进行短路测试，同时得到激光修复所需要的数据。 激光修复激光修复LASER REPAIR工序作用: 对所查找到的短路缺陷进行修复。成盒段主要工序成盒段主要工序vPIPI、TOPTOP印刷印刷v摩擦摩擦vSEALSEAL、TRTR印刷印刷v喷洒喷洒v对盒对盒v热压热压lTOP工序:一般的TN 与

4、STN 产品不要求此步骤，TOP 膜的涂布工艺是在l 光刻工艺之后再做一次SiO2 的涂布，以此把刻蚀区与非刻蚀区之间的沟槽填平并把电极覆盖住，这既可以起到绝缘层的作用，又能有效地消除非显示状态下的电极底影，还有助于改善视角特性等等，因此大局部的高档次产品要求有TOP 涂布l PI工序：为在蚀刻完成的ITO 玻璃外表涂覆取向层，并用特定的方法对限向层进行处理，以使液晶分子能够在取向层外表沿特定的方向取向排列，此步骤是液晶显示器生产的特有技术TOPPI工序的作用PI、TOP印刷TOP/PI印刷图：摩擦工序的作用用绒布类材料以特定的方向摩擦取向层外表，以使液晶分子将来能够沿着取向层的摩擦方向排列。

5、如TN 型号摩擦取向：45 度工序的作用lTOP/PI COATING后 PI TOP ITO GLASS lRUBBING后 PI层被取向 丝印工序的作用边框作用：贴合上下两张基板,防止液晶外漏或被污染。 银点作用：上下电极导通丝印CP印刷後刮板SP接着剤（CP導通材）印刷模板Glass基板方向SP接着线（CP導通材）工序的作用l支撑上下基板,保持液晶盒厚均匀贴盒工序的作用l按对位标记上与下玻璃对位粘合，将对应的两片玻璃面对面用封接材料粘合起来。Glass基板对盒l 热压工序的作用l利用加热和加压的方法固化Seal, 并保持一定的Cell Gap气嚢调机玻璃成盒玻璃热压纸热压 后部主要工序后

6、部主要工序切割灌液挤压,封口清洗电目测清洗贴片,包装切割當ITO玻璃貼合後，將對ITO玻璃上之LCD各個單位作切割，LCD其中顯示板的大小是依其產品不同而有單位大小不同之分，故其自動化切割為依不同之型號做可程式處理灌液晶灌入液晶的製程，液晶片放入一真空的密封箱中，藉著基座的固定將小切割後的LCD顯示板固定住，再由下方的海綿提供液晶，首先會將密封箱抽成真空，然後藉著彈簧活動機構將海綿往上頂，如下圖16，然後釋放空氣進入箱中，此時LCD板藉著毛細現象將液晶完全吸入LCD板中間，完成灌液晶的動作。抽真空口N2入口封口.固化灌入液晶後在其開口處加上封口以防止液晶外漏封止治具上Glass基板下Glass基板加圧注射器清洗.目檢.電測.清洗LCD封口後在此利用偏光板目檢LCD板是否厚薄不均，或是內部液晶散佈不均，電檢利用液晶板上之PIN腳加以導電，觀察LCD之點亮情形，加以判斷LCD板是否顯示正常序号不良项目现 象原 因1异物/污物黑点或白点层膜中有异物/污物、皮肤或纤维2电极断裂缺划或缺行感光树脂膜针孔、干版针孔、ITO异物3色差Cell厚薄不均间纸摆放不正、治具气囊异常4研磨研磨方向斜影 线研磨布贴附不良、研磨压入量不适5膜针孔周围红晕状白点 R、G、B膜残缺6上下短路“十”状黑点