腐蚀分析报告

1、报告编号FX03-合 同 号FX044-0791总 页 数15页分 析 报告样品名称：LCD组件（手机显示）型号规格：10154 1082分析类别：委托分析委托单位：世成电子（深圳）有限公司信息产业部电子第五研究所元器件可靠性研究分析中心分 析报告 产品名称LCD组件（手机显示组件）商标生产单位南太电子世成公司型号规格10154（彩色）1082（单色）委托单位南太电子世成公司分 析类别委托分析委托单位地址深圳市保安区西乡镇固戌工业村邮政编码518126联系人篮珂电话0755274958183840传真075527494013Emaillanke样品来源方式委托单位送样收样日期2004.05.1

2、0样品数量编号彩色1只：1；单色1只：2。样 品 描 述无外观异常。分 析时间2004.05.102004.05.27分 析项目ITO腐蚀点分析分析环境条件温度1535，湿度4575%RH，气压86106Kpa(通常大气条件) 分 析依据 GJB54896微电子器件试验方法和程序 方法5003。 FX01-JE2-5电子组件失效分析程序与方法。分析结论1、2样品ITO发生腐蚀，1ITO腐蚀的主要过程是电化学腐蚀，2样品ITO腐蚀的主要过程是化学腐蚀；两种样品ITO腐蚀的根本原因是氯的存在。1、2样品均无钠存在，氯的存在不是工艺过程中人体的汗水污染，氯可能来自LCD制造工艺或LCD清洗工艺的残留

3、。以下空白 信息产业部电子第五研究所 元器件可靠性研究分析中心附件 仪器设备清单签名主检编制审查批准职务：日期 2004年月日 2004年月日 2004年5月31日 2004年月日1、 样品描述样品为手机显示组件，LCD上ITO发生腐蚀，分析腐蚀点腐蚀原因。2、 分析过程2.1、项目观察样品外观见图1。1（彩屏）样品腐蚀项目见图2，2样品（单色屏）见图3。图中可见： 1（彩屏）样品腐蚀有电化学腐蚀的特征1腐蚀点位于ACF与硅橡胶交接处的相邻的两条ITO上，腐蚀从两条ITO相邻边往外发展，具有电化学腐蚀的特征，见图2。 1样品腐蚀部位附近颜色异常 1样品腐蚀部位呈现银白色，腐蚀部位附近呈现乳白色

4、，与离腐蚀部位较远的地方有明显的差别，见图2。 2（单色屏）样品腐蚀点具有化学腐蚀的特征2样品腐蚀发生在多条ITO上，腐蚀点的外围形成包围状图形，具有化学腐蚀的特征。 2（单色屏）样品腐蚀点有水在玻璃表面逐步收缩形成水迹点的特征 2（单色屏）样品腐蚀部位有形成包围的特征，具有水在玻璃表面逐步收缩形成水迹点的特征。2.2、腐蚀点成份分析1、2样品腐蚀点均位于两种材料的界面处，为了对腐蚀部位开展成份分析，必须将腐蚀部位完全暴露在最表面。制样中难以确保腐蚀产物暴露在最表面，因此，将腐蚀点上的ACF或硅橡胶去除干净：先用机械的方法，将ACF、硅橡胶刮除，再用有机溶剂擦除腐蚀点表面的ACF和硅橡胶，采用

5、物理分析方法对腐蚀微区进行特征成份分析。本次分析采用二次离子质谱分析（SIMS）仪开展分析，SIMS分析图谱见图4图15，图16是2样品1个腐蚀点的氯的分布图形。从SIMS分析图谱可见： 1样品（彩屏）、2样品（单色屏）腐蚀点存在氯图4、图6、图10、图12是腐蚀部位SIMS分析的负离子图谱，可见，1样品、2样品腐蚀部位存在氯。 1样品（彩屏）、2样品（单色屏）腐蚀点无钠存在图5、图7、图11、图13是腐蚀部位SIMS分析的正离子图谱，可见，腐蚀部位无钠存在。证明氯不属于人体的汗水污染。 正常部位（无腐蚀部位）未见氯或氯含量远比腐蚀点低图8、图9、图14、图15分别是1、2样品ITO正常部位（

6、无腐蚀部位）的SIMS分析图谱，可见，正常部位（无腐蚀部位）不含氯或氯的含量远比腐蚀部位低。3、综合分析腐蚀部位的形貌特征及成份特征可见：1样品腐蚀主要是电化学腐蚀，电化学腐蚀的主要原因是该部位存在氯，在水的情况下电离形成电解液，由于电场的存在，发生电化学腐蚀。腐蚀部位附近呈现乳白色，可能是ITO电化学腐蚀的产物。2样品的腐蚀主要是化学腐蚀，其腐蚀是由于氯和水(潮湿)对ITO作用的结果。1、2样品SIMS分析中，未见钠的存在，证明腐蚀部位氯不是来自组件工艺过程中人体的汗水污染，氯可能来自LCD组件ITO工艺或LCD组件清洗工艺的残留。氯和水(潮湿)的存在是1、2样品化学腐蚀或电化学腐蚀的根本原

7、因，氯在ITO的腐蚀过程中充当中间媒质，过程中氯不消耗，因此，一旦存在水汽，ITO的化学腐蚀或电化学腐蚀将不停断地进行。4、结论1、2样品ITO发生腐蚀，1ITO腐蚀的主要过程是电化学腐蚀，2样品ITO腐蚀的主要过程是化学腐蚀；两种样品ITO腐蚀的根本原因是氯的存在。1、2样品均无钠存在，氯的存在不是工艺过程中人体的汗水污染，氯可能来自LCD制造工艺或LCD清洗工艺的残留。A 彩屏样品（1）外观B 单色屏样品（2）外观图1 样品外观（腐蚀位于箭头处ITO上）A 1 样品（彩屏）腐蚀点形貌B 1 样品（彩屏）腐蚀点放大形貌C 剥离ACF后，腐蚀点形貌图2 1样品（彩屏）腐蚀点处剥离ACF后的形貌

8、A 2（单色）样品腐蚀点1形貌B 2（单色）样品腐蚀点1放大形貌C 2（单色）样品腐蚀点2形貌2（单色）样品腐蚀点2放大形貌图3 2（单色）样品腐蚀点形貌1# defect area point 11# defect area point 1图4 1（彩色）样品腐蚀点SIMS负离子图谱1图5 1（彩色）样品腐蚀点SIMS正离子图谱11# defect area point 21# defect area point 2图7 1（彩色）样品腐蚀点SIMS正离子图谱2图6 1（彩色）样品腐蚀点SIMS负离子图谱21# nomal area 1# ，nomal area 图8 1（彩色）样品无腐蚀处

9、点SIMS负离子图谱图9 1（彩色）样品无腐蚀处点SIMS正离子图谱2#,defect area point 12#,defect area point 1图10 2（单色）样品腐蚀处点SIMS负离子图谱1图11 2（单色）样品腐蚀处点SIMS正离子图谱1图13 2（单色）样品腐蚀处点SIMS正离子图谱22#,defect area point 22#,defect area point 2图12 2（单色）样品腐蚀处点SIMS负离子图谱22#,nomal area 2#,nomal area图15 2（单色）样品无腐蚀处点SIMS负离子图谱图14 2（单色）样品无腐蚀处点SIMS负离子图谱图162（彩色）样品腐蚀点氯分布形貌注意事项报告无分析单位公章无效。复制报告未重新加盖分析单位公章无效。报告无主检、编制、审核、批准人签字无效。报告涂改、自行增删无效。只对委托样品的分析结果负责,样品保存三个月。6 如对报告有异议可按申诉程序要求执行。信息产业部电子第五研究所元器件可靠性研究分析中心地址：广州市