镀膜机常见故障及分析解决预防措施

1、镀膜机常见故障及分析解决预防措施文档编制序号：KK8UY-LL9IO69-TTO6M3-MTOL89-FTT688镀膜机常见故障及分析解决预防措施 一.常见故障，问题及解决方法下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析，并给予解决方案及预防措施.故障 占 八“故障现象故障原因解决及预防措施备注1.高压和束流1.1.开枪有高 压，无束流1. 灯丝保险烧断2. 灯丝烧断3. 南光枪枪体右边 引线碰到枪体底坐1. 检查灯丝保险，饶断则更 换2. 保险正常则检查灯丝更换 枪体.3. 调整引线与枪体底坐的间 距.在抽气前检查枪体.即高 立关压1.2.开高压显示 跳动幅度大，

2、并 有束流跳动1. 束流控制调在手 动，电位器未归零2. 枪体短路3. 高压电极保护罩 或屏蔽碰到高压引 线造成短路4. 电柜故障1. 电位器归零.在预熔完后 应将灯丝电位器归零2. 将连接灯丝变压器的高压 引线取下（注意引线不能碰 到机器应悬空）开高压，正 常则枪体或高压电极保护罩 或屏蔽短路造成3. 放气检查电极保护罩或屏 蔽4. 检修电柜立即 关高 压1. 3.开枪无高 压，无束流1. 高压保护不到位（偏转真空.柜门）2. 高压电路出问题1. 检查相应的高压保护2. 检修高压控制电路1.4.镀膜时高压 会下跌1真空继电器烧坏2.高压电路出问题1. 更换真空继电器2. 检修高压电路常见4号

3、 机1. 5.镀膜时灯丝 突然很亮（束流 达到满格）1. BT138可控硅被击 穿2. 枪体短路1. 更换 BT1382. 检查枪体常见 4号 机1.6有高压，有 灯丝电流，无光1. 栅极片短路2. 扫描出问题或扫 描线接反了1. 整理枪体2. 检修扫描，正确连接扫描 线1. 7.束流上不 去，达不到以前 的水平（同样功 率达不到以前的 速率）1. 灯丝位置不正或 变形2. 灯丝被氧化3. 连接枪体的各接 头松动4. 堆坍转速太快5. 材料被污染6. 晶片被挡住1. 重新安装或更换灯丝.为 了更好的对灯丝定形及延长 灯丝使用寿命，在更换新灯 丝后应对灯丝进行预热处理2. 更换灯幺幺.为防止灯丝

4、氧 化在放气前应注意检查关闭 灯丝电源开关3. 拧紧各连接处.4. 调整堆坍转速5. 取出被污染的材料或更换 新材料6. 调整晶片挡板位置.抽气 应检17.电柜出问题查晶片是否被挡7.检修电柜1.8.阻蒸电流调 不上去1. 蒸发舟烧断或松 掉造成接触不良2. 空气开关跳闸3. 调节电流的电位 器坏了4. 铜电极与真空室 底板下的引线接触 不良1. 更换蒸发舟或拧紧螺钉. 为了防止接触不良，各电极 和压块应清洗干净.更换在 蒸发舟时应将铜压块取下砂 干净再安装蒸发舟2. 打开空气开关3. 更换电位器4. 清洁磨平接触不良的地方 并拧紧螺钉1. 9.速率不稳定1. 晶片失效2. 料面不好3. 功率

5、设置不合理4. 控制参数PID设 置不合理5. 灯丝接触不好或 老化6. 高压打火1. 选择好的晶片，1.2枪的 速率要匹配2. 料要加平整，养成停站烟 的好习惯3. 预熔功率及最大功率设置 合理（最大功率为略大于蒸 发时所需功率）4. 设置合理的PID参数5. 紧固或更换灯丝6. 解决打火现象1. 10.高压打火1. 枪体污染，杂物 掉入枪体2. 各接线处未拧紧3. 聚四氟套管太脏4. 枪体阳极，栅极 变形5. 高压电极太脏6. 屏蔽不佳或未屏7. 光斑位置不合 理，扫描状态不好8. 2枪高压干扰9. 材料污染有杂物10. 高压打在10KV11. 预熔不够充分12. 功率设置不合理1整理枪体

6、，在吹枪体时应 用吸尘器边吸使吹出的杂物 吸走不被落在枪体里2. 拧紧各连接处，使其接触 良好3. 清洗或更换套管，应定时 清洗4. 调整或更换阳极，栅极片5. 更换高压电极6. 调整屏蔽或加装屏蔽7. 调整好光斑，检查扫描8. 蒸镀1枪时应关闭2枪高 压9. 将被污染的材料去除或更 换新材料10. 将高压调在正确的档位 （中档8KV）.在触摸屏上操作时（如调整圮璃转速时）应 注意是否误碰到高压调节档 位11. 预熔时间及加的束流应 合理（束流最后应加到接近 镀第一套时所需束流坯锅转 一到两圈）12. 设置合理的功率，预熔功 率不应太大,最大功率应与 速率相匹配,注意在第一套 时速率较小时功率

7、的设置2.扫2. 1.光斑不能调1扫描引线或线圈1.检查引线及线圈，引线间描和整短路不能碰在一起，抽气前应检光斑2.整流桥击穿查引线是否互相触碰和松动3.引线或线圈断路2.更换整流桥4.遥控盒上的连线3.检查引线及线圈松脱或电位器坏了4.接好连线或更换电位器2. 2光斑及扫描 状态不好1. 灯丝变形2. 极靴位置不正3. 扫描频率不合适4. 短路条多或少了， 位置不好5. 高压档位不对6. 扫描连接线有误1更换灯丝2. 调整极靴位置.在拆下清 洗时要做好记号避免安装时 位置不正3. 调整合适频率，频差和密 度4. 调整短路条的位置及数量5. 调整正确的高压档位6. 正确连接扫描线,维修时 应做

8、好记号3. 烟和 工转3. 1堆坍转动不 灵或不转1. 删周边间隙太 小2. 堆烟间隙有材料 （卡料）3. 轴承锈死4. 减速器出问题5. 电机出问题6. 防污底板顶到坯 坍（2枪）7. 连接键脱落1. 调整堆坍周边的间隙2. 清理间隙中的材料.注意 料不要加得太高，预熔时数 量不要加得太快，防止材料 飞溅掉入间隙里使堆坍卡住 或转得不顺畅3. 清洗或更换轴承.在打扫 真空室及洗机时应将站坍下 面的料渣清除，防止料渣太 多影响轴承的性能4. 检查减速器5. 维修或更换电机6. 调整好大门底板的位置 （稍高于牌）,关门时感到 异常（如较平时紧）应检查底 板及防污板的位置7. 重新安装好键3. 2

9、工转噪音大， 晃动大1. 电机轴承坏了2. 大轴承干磨性能 下降3. 电机与减速箱连 接不好4. 传动齿轮磨损1. 更换电机轴承2. 清洗或更换大轴承3. 将电机与减速箱连接好4. 更换齿轮3. 3工转转不了1. 电机损坏2. 电机与传动部分 的键脱落或磨损3. 传动的齿轮磨损4. 单向器坏了5. 电路出问题1. 更换电机2. 重装或更换键3. 更换齿轮4. 更换或维修单向器（2楼）5. 检修电路3.4.工转电压调 不上，电压显示 指针跳动大1. 调节电位器损坏2. 控制器出问题3. 工转传动不稳4. 碳刷接触不良5. 电压表有问题1. 更换电位器2. 检修控制器3. 维修传动部分4. 整理碳

10、刷接触面或更换5. 维修或更换电压表4.阀 门4. 1.阀门打不开1. 气压不够2. 控制阀门的气动 阀有问题3. 阀门间互锁1. 调高气压到适当位置2. 维修或更换气动阀3. 检查与其互锁的阀门.应 注意阀门指示灯显示关闭但 实际阀门并未关闭的现象4. 2.阀门打开后 会自动关闭1. 气压不够2. 气动阀阀芯内的 橡皮松脱1调高气压到合适位置2.更换阀芯或气动阀4. 3.放气取膜， 放气阀打不开1. 髙阀没关到位2. 放气阀的气动阀 有问题1. 检查高阀没关到位的原 因，不能强行手动关闭2. 更换或维修气动阀5.真 空度5.1.在镀膜过程 中真空度突然下 跌1. 高阀，预阀等阀门 自动关闭2

11、. 扩散泵断相或跳 闸3. 斑坍卡料强行转 动造成漏气1. 检查气压是否正常，正常 则是相应的阀门问题，一般 为气动阀的阀芯松脱2. 合上闸刀，断相表现为三 相指示灯有一或两个灯不 亮，更换电炉盘3. 维修站坍，当卡料时不能 强行转站5. 2.低真空突然 抽不动1. 机械泵掺气阀没 关2. 真空室门压到东 西3. 并路阀（旁通阀）, 截止阀自动关闭4. 机械泵出问题5. 罗茨泵出问题6. 管道漏气7. 机械泵上的机放 阀漏气8. 真空室漏气1关闭掺气阀2. 检查大门密封.关门抽气 时应检查大门是否压到东西 或密封圈上有杂物3. 检查相应的阀门及控制阀 门的气动阀和气压4. 维修机械泵5. 维修

12、罗茨泵6. 维修管道7. 更换或维修机放阀8. 按5. 4步骤检漏5. 3抽气慢1.真空室太脏，没换1.更换防污板或清洗真空室防污板2.清洗扩散泵（大约一年洗2.扩散泵太久没洗一次）3.扩散泵出气口挡3.调整挡油板油板被吸起4.给机械泵掺气或换油4.机械泵没掺气5.调节真空表基准或更换真5.真空测量表基准空表不准6.检修机械泵，罗茨泵6.机械泵，罗茨泵有问题47. 真空室暴露在大 气时间过长或玻片 未烘干8. 漏气7. 尽量减少敞大气时间，玻 片应完全烘干8. 按5. 4步骤检漏5. 4.真空度低1. 真空表测量不准2. 真空规管测量口 被百叶窗挡住3. 真空室大门没关 好4. 真空泵出问题5

13、. 管道漏气6. 动密封如堆竭,工 转，观察窗,挡板等 密封漏气7. 洗机或维修时动 过的部件或附近有 松动8. 堵头没装好9. 通了水的如牌, 工转,探头等地方有 漏点10. 高阀，低阀气缸 漏气11. 金属焊缝漏1审檢直牢表2关闭高阀,若此时真空室 真空度比较稳定，则放气调 整百叶窗的位置3. 用酒精注射大门密封看真 空度变化，如有变化则放气 整理真空室门密封4. 维修或更换真空泵5. 维修管道6. 更换或重装动密封 快速连续转动看真空度是否 有较大的变化，有则是该转 动部动密封有问题7. 检查动过的部件及附近， 确认后紧固8. 用酒精注射堵头,若真空 度有变化则紧固或重装该堵 头9. 通

14、过用高压气来冲水管看 真空度是否有变化,有则检 查水路10. 通过开关高阀，低阀或用 酒精注射阀门确认后更换阀 体或密封圈11. 用酒精注射各焊缝来确 认是否有漏,有则补焊焊缝6.掉 膜问 题6. 1.掉膜1. 真空室或玻片潮 湿（更换防污板 后）2. 玻片没洗干净3. 更换新玻片，玻片 上有油污4. 真空度低5. 打火严重,造成膜 厚不均匀引起应力 大6. 真空室有油污7. 蒸发速率过高8. 脱膜剂镀得过多9. 扩散泵返油造成 高阀盖及冷井处有 油污1. 烘烤玻片及防污板的时间 要适当2. 用干净的布清洗好玻片， 清洗时应认真仔细3. 先用洗洁精清洗干净玻 片，再用清水将玻片冲洗干 净4.

15、检漏5. 解决打火现象6. 清洗真空室7. 降低速率到合适位置8. 减少脱膜剂的厚度9. 擦洗高阀盖及冷井.给扩 散泵加热时间不能少于90 分钟.6. 2.周一掉膜严 重且膜质不好1. 洗机时产生的一 些粉尘在抽气时飞 到玻片上2. 洗机时的潮气及 防污板的潮气未干1 用酒精仔细擦干净真空室2.延长轰击时间，防污板应 彻底烘干后才装入真空室7.膜 质7.1.膜质发黑不 亮泽1. U5材料镀少了（有 时有银灰色）2. 2枪光斑能量太散 （扫描频率有问题）3. U3材料镀多了（膜 质稀烂）4. 2枪圮坍位置不合 适5. U5材料太旧或氧 化6. 真空度低1. 适当增加U5厚度2. 调节光斑和扫描频

16、率3. 适当减少U3厚度4. 将2枪堆竭位置移到适当位置5. 更换新料6. 检查真空度7. 2.膜发银1. U5材料镀多了2. 跳程序或假速率 造成U5材料没镀上 或镀少3. U3材料蒸发过快 造成U5没镀上或镀 少1. 适当减少U5厚度2. 发现时应适当加镀一些 U5,在镀2. 6层时应特别注 意有无此现象3. 镀U3材料时速率不要过 高,镀完U3材料时应稍微停 顿5秒再镀U57. 3.膜质发硬， 打卷1. 玻片太脏2. 玻片表面光洁度 差3. U3材料镀的过少1. 仔细清洗玻片，玻片放入 真空室经抽气未使用应更换 或清洗后才能使用应打扫 完真空室卫生后再装玻片， 减少污染2. 更换好的玻片

17、3. 适当增加U3厚度慎控仪 S.厚制8. 1.晶片失效1晶片使用寿命已 到2. 晶片压赞损坏3. 连接探头的各接 触点接触不良4. 探头冷却水过小 或水温过高5. 探头挡板碰到工1更换好的晶片在用超声 波清洗晶片时应注意打晶片 的时间及方法，延长晶片的 使用寿命2. 更换晶片压赞.在取压赞 时应轻拿轻放3. 整理各连接处4. 调大探头冷却水流量或开 启冷冻机降水温，水温小于 28度5. 调在探头挡板与工转的距 离8. 2.开始镀膜控 制仪无工作1. 程序清零2. 没选择到镀膜程1. 重新设置程序在操作膜 厚控制仪时动作不应过快， 控制仪要有良好的接地2. 选择好镀膜程序.在调程 序时应注意光

18、标是否在对应 的镀膜程序上8. 3.手动遥控盒 不受控1. 连接控制仪的接 头没接好2. 遥控盒上的按键 的接线脱焊1. 接好接头2. 焊好接线.在用遥控时应 注意连线不要用力过大拉扯 连线9其 他9.1.开枪镀膜时 发现膜厚仪上没 速率显示1. 晶片被挡住2. 枪挡板未打开3. 高压没开1. 放气整理.关门抽气时应 检查晶片是否被挡2. 修理挡板3. 打开高压64.束流控制调在手 动4.将束流控制调的自动9. 2.枪挡板打不 开1. 气压不够2. 控制挡板的气动 阀坏了3. 气缸与挡板轴的 连接键或螺钉脱落1. 调高气压到合适位置2. 维修或更换气动阀3. 重新装上键或螺钉二.一些基础知识及

19、注意事项和应急措施1膜厚控制仪1.1. 控制参数Soakpower 1预熔功率1约为蒸发功率的一半Soakpower2预熔功率2也称预蒸镀功率略小于最大功率Maxpower最大功率DepRate蒸发速率FinalThk膜厚（波长）Soaktime预熔时间Risetime功率上升时间Density材料密度1. 2.检测膜厚原理通过改变探头上晶片的频率（由于膜的蒸发改变了其重量，所以其震动频率发生变 化）来计算膜厚，而探头所处的位置和工具因数的设置都影响到测试精度，探头的位 置和测试膜厚的关系如小：（1）探头高了，测试得到的厚度实际得到的膜厚（玻片上厚度）（2）.探头低了，测试得到的厚度实际得到的

20、膜厚（玻片上厚度）（3）.1具因数调高,相当于探头位置降低，所以膜厚要增加2. 膜和材料间的关系2.1. U5吸收杂光，影响膜质和亮度.镀的过多，膜会发银;镀的过少,膜发黑，不亮泽,有银色;没镀上，则为银白2. 2. U3脱膜剂，影响膜质.镀的过多，膜质稀烂，易脱落;镀的过少，膜会打卷，发硬2. 3. Si02决定颜色2. 4. U6基层，影响膜的鲜艳度和亮度3. 均匀性3.1. 径向均匀性：同一玻片上部与下部的不均匀，与光斑的调节、材料的料面、堆坍转 速和转向、玻片的曲率有关3. 2.重复均匀性：同一锅膜的每一套间的不均匀，与真空度的高低、操作者看颜色有关3. 3.整体均匀性：同一套膜四块玻片上的均匀性，与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发 速率的匹配、真空度的高低、径向均匀性有关4. 灯丝问题4.1. 放气时要记住关灯丝电源，以免氧化灯丝4. 2.初次使用或更换新灯丝，应进行灯丝预热定型处理，以防灯幺幺加热过快变形.预热时，高压关闭,直接加热灯丝，缓慢加灯丝电流，由儿安培加至15A时，维持3-5分钟4. 3.灯丝安装a. 灯丝不宜太高或太低:太高会造成光斑不可调，容易打烂栅极和阳极片；太