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文档简介
4、常见问题及解决方法 类别 现象 原因 绒面没有制满 H2没有及时脱离硅片表 面 硅酸钠含量过大 脂肪酸玷污 反应过于剧烈 反应过多 没有完全吹干 反应速度过快或过慢 解决方法 延长制绒时间、 增加NaOH 增加IPA 重新配槽、改 善喷淋 规范生产操作 手法 增加2#槽HNO3 增加2#槽HF 改善吹风、增 加6#槽HF含量 手动添加2#槽 的药液含量 备注 单晶制绒 白斑 小雨点 水痕 手指印 多晶制绒 黑绒 表面发亮 扩散后发蓝 减重不在范 围之内 confidential confidential 5、未来工艺的发展方向 ¾单晶碱腐蚀的改进技术 现有工艺改进：单晶小绒面，减少漏电流、 减少磨损的几率。 设备改进，一体化设备：制绒后烘干。 制绒新技术：激光制绒，形成规则金字塔 表面。 ¾多晶酸腐蚀的改进技术 酸腐蚀溶液配方的优化 控制反应速度的缓冲剂，H2SO4 在现有工艺的基础上，增加一些辅助技 术，如蒸气制绒。 规则金字塔表面 confidential confidential Thanks ！
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