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文档简介

1、无源光MEMS器件应用李振 15723745Passive optical device application典型元件反射镜衍射光闸光传输线主要应用u匹配WDM系统的微光纤器件u微型的医疗器具（光纤内窥镜）u图像投射显示光MEMS通信器件u可变光衰减器(VOA)静电力可调型倾斜镜SOI智能材料加工（DIRE深反应离子刻蚀）光MEMS通信器件u可变光衰减器(VOA)直径：6mm 厚度：30um单晶硅抗扭梁：1.5um宽 150um长工作电压：5V将信号调节为40dB或更高抗静电和温度干扰机械稳定性光MEMS通信器件u可变光衰减器(VOA)实现光网络的关键性器件广泛应用在光纤网络系统中光MEMS

2、医疗器件u光纤内窥镜单模光纤传输信号（静电处理）光伏电池全光路内窥镜光MEMS医疗器件u光纤内窥镜避免降低了漏电现象的危险避免了电磁干扰光MEMS医疗器件uOCT系统（光学相干层析成像）u直线扫描组织图像u组织横断图像重组手指皮肤2D横断面图(1mm)光MEMS医疗器件手指皮肤2D横断面图(1mm)光学相干层析成像是一种新的三维层析成像技术。OCT基于低相干干涉原理获得深度方向的层析能力，通过扫描可以重构出生物组织或材料内部结构的二维或三维图像，其信号对比度源于生物组织或材料内部光学反射（散射）特性的空间变化。u光学相干层析成像(OCT)非接触非侵入成像速度快（实时动态成像）探测灵敏度高光MEMS显示器件u图像投射显示内部常平支架（高谐振频率）外构架和曲折悬挂架（准静态）水平方向高频响应/垂直方向低频响应高分辨率图像强度调制激光源光MEMS显示器件u图像投射显示双压电晶片压电薄膜（硅悬臂梁）光MEMS显示器件u图像投射显示全彩显示VGA移动

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