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文档简介

1、SU8200场发射扫描电镜技术说明文件一、二次电子分辨率：0.8nm（加速电压15kV,工作距离4mm）1.1nm（着陆电压1kV,工作距离1.5mm）（减速模式）以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品）二、放大倍率：低倍模式：20到2k高倍模式：100到1000k三、电子光学：1.电子枪：冷场发射电子枪（带有柔性flash功能）2.加速电压：0.5到30kV着陆电压：0.01到2kV3.透镜系统三级电磁透镜系统4.物镜光阑四孔可调光阑（内置加热自清洁功能）5.扫描线圈二级电磁式偏转线圈（高倍模式）一级电磁式偏转线圈（低倍模式）6.消像散器八级电磁系统（X,

2、Y）7.探测器：低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）三种探测器进行二次电子/背散射电子的接收能谱系统（选配）8.束闸电磁型9.电位移：12m（工作距离8mm）注意：工作距离改变时，电位移范围会改变四、样品室和样品台：1.样品台控制：五轴马达台2.可移动范围和样品尺寸:SU8220SU8230SU8240X050mm0110mm0110mmY050mm0110mm080mmZ1.530mm1.540mm1.540mmT-570R0360样品尺寸最大样品尺寸（直径）150mm3.可安装样品高度SU8220SU8230/SU8240样品最大直径26mm75mm100mm150mm

3、样品最大高度17mm8mm6mm2mm样品最大直径26mm75mm125mm150mm样品最大高度24mm15mm12mm8mm4.换样预抽室5.样品台控制：图形界面控制自动样品更换位置定位功能样品台移动轨迹存储功能优中心旋转功能图片导航功能五、显示系统1 .用户界面电脑显示器上的图形用户界面2 .电脑操作系统：微软Windows7专业版（32位）操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法（标配轨迹球，或选配操纵杆）3 .显示器3.1 1寸液晶显示器或同等配置的显示器（屏幕：1,920X1,200像素）4 .扫描模式：二维图像显示选区模式点分析模式平均浓度分析模式图像显示模式大屏显示模式（1280960）单屏显示模式（800600）双屏同时显示模式（800600）四屏同时显示模式（640480）选区显示模式（图像调整时使用）5 .电子光学对中：电子束对中光阑对中像散对中低倍对中6 .扫描模式积分扫描快扫慢扫缩小

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