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文档简介

1、v1.0 可编辑可修改平晶使用Webon快速平面度检测首先采用平面检测仪器对研磨后的器件平面采用平面度检测仪定初步精度如研磨后的器件达到 5um以内 可以用平晶进行检测未达到 继续研磨 器件可以不用下盘。FG-5检测 120 以内FG-7检测 170 以内FG-9检测 220 以内FG-30检测 650 以内二 达到 5um 以内用平面平晶体检测首先看是否有条纹。是否合格以 300 的密封器件为例的。检测的整个面 必须首先看到同心圆才合格2um 的面型精度 整个面的同心圆条纹 小于 3 个1 个同心圆条纹精度大于在3 个就是左右也就是说必须是小于 3 个的同心圆条纹才合格。v1.0 可编辑可修

2、改N<3Cdw-30I30mm3015mmCdw-45I45mm 4515mmCdw-60I60mm6020mmCdw-80I80mm8020mmCdw-100I100mm10025mmCdw-150I150mm15030mmCdw-200I200mm20040mmCdw-250I250mm25045mmCdw-300I300mm30045mmCdw-350I350mm35045mmCDX-ML18 CDX-ML30v1.0 可编辑可修改三 。以下是检测中会出现的问题。v1.0 可编辑可修改条纹非常密集。两种情况。 1. 加工出得元件精度远远不够。2. 平晶和元件之间有异物 灰尘 没处理干净条纹非常乱情况是 加工的研磨盘凹凸不平 不在一个平面上。元件研磨后整个面就是乱的、同心圆条纹圈数太多。情况是 元件精度还不达标 继续研磨直到圆圈数少于 3 个。以上的假设的情况 现场情况有变化 请及时联系我们v

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