EXPBL操作手册

1、ORC EXP-2001BL自勤曝光檄操作手册Jun. 2003莘展光重股份有限公司翻葬EXP 200 IBIIFull Automatic UV Exposure SystemORCL/Ianufacturing Co.Ltd.STD01B-JE-01p iEXP-2001BLB作手册1.2原黑占彳复品帚下有基板状魅：原黑占彳复色帚模式原黑副犬熊管理副面基板取出OFF原黑占彳复品帚勤作IO台原黑占彳复岳帚完彳矍，回到主重面，此畤口色燎亮起B蜀!常轨行敬勤日寺，投入手臂曾移勤到曝光台面虑 此日寺吉青符多绘基板取回以完成原黑占彳复色帚勤作P 3EXP-2001BLB作手册1.3原黑占彳复品帚盛:

2、控各部位置状魅:P #EXP-2001BLB作手册HCJME D I JPLAY1LQACER SECTIONEXPOSURE SECTIONKWCLER SECTION傅勤 OFF宣PIN 原黑占V PIN原黑占 宣皿上昇台面原黑占台面真空吹氯 OFFUM_0ADER SECTIONZ事由原黑占主真空吸著OFF主真空屋力OFF基板吸著ON紧吸著ON台卸屋力OFF台面吹氟OFF台面吸著OFF上椁面ON右固定原黑占左固定原黑占UV燎阳希封位型彳着XLR封位H逵照相械原黑占遮断器1LRNIMG UNIT(OhLY DOWNSTREAM)此重面可K助碓ts原黑占彳复色帚勤作，於那一勤作未彳复卷帚完成

3、2.1分段建醇模式：分段建辅是自勤建斡前的i作H，主要是轨行底片架U及封位把黑占的H取段取方式投入搬送器确11g吸著位置P 17EXP-2001BLB作手册照相定位置照相械位置言己憾曝光量定曝光鼓:定II面 一 ，薄板厚板定基板厚度板厚数值输入重面黑占iitg定值表示器迤行输入定基板尺寸位置泱定定耋面、酎Ur" Ur" "Jk" "Jk"拜 #,小木年/f%币;币;不不t手勤操作X-AXIS Y-AXISLOW前迤彳爰退前迤彳爰退迎DMN彳爰退Oli Xu逵趣限感知器 词YU逵趣限感知器 . Y基板趣限感知器定PCB基板置於投入部分段

4、建醇方式通常分段方式，r|Press START button to start operation.：IIIIII -一_殷勤二JI _K始底片回收曝光定底片清捕确llg位置决定的基板状魅分段方式通常分段方式碓1g已位置，的i定的基板状熊OK,即持建傅-NG,即鹰重新tg定位置敬勤停止|II祠 X事由焉逵趣限感知器 白 Y窜由焉逵趣限感知器 二工 Y基板趣限感知器定重面碓投入搬送器吸著盒位置分段建醇方式通常分段方式碓IS投入搬送器吸著盒位置底片定分段建醇方式通常分段方式底片定言青基板整合 靶黑推找I底片的整合 靶黑占定底片然彳麦按下照相定分段方式通常分段方式照相®定条照相檄位置封型

5、底片靶，然彳麦按下照相檄U定|L.*改勤 II 停止分段方式通常分段方式重面虑理封位靶位H取 O.K.,即按下定 重面确llg排生器吸著盒位置分段方式通常分段方式碓言忍排出器吸著盒位置碓言忍排出器吸著盒是否封鹰基板尺寸然彳爰按下改勤IW制敬勤 I停止按下 做勤信身排出器移勤2.2 在分段建醇模式：在逗撵底片回收则是符底片拆除取下.2.3 在分段建醇模式：逗撵曝光U定刖是测量照度弓金弱便U定能量2.4 在分段建醇模式：逗撵底片清揭刖是符玻璃取出固定清澈底片3.1自勤建醇模式:通谩模式停止循琪停止L.:按下彳麦,檄台曾符目前存於 :檄台内之基板，生完II及 .建用事f止.所有械械勤作，立即停止.-

6、 1停止操作彳即按下Menu回到U面迤行原黑占彳复色帚.虑理片数言十算已逵到所定的曝光片数持余勖！行生 重，音青按下重新叵匣.迤行玻璃框 清瀑常青按下 p¥ UK . 1警幸艮停止重新做勤停止重新定虞理片数定 重面清描OFF3.2自勤建傅中彝生累常虑理:1）安全iwoi常.2）叩打IOI常.3）照相械位置巽常.4）封位巽常.5）贴付昊常6）重位次数累常.7）投入手臂吸著累常.8）排出手臂吸著累常.3.3自勤建醇下可逗撵通遇模式：即是不曝光封位符基板送到下一流段AUTO OPERATION PROCiRAM MOUE/LOADER HAIRETRYsetBJDER HAND.RETRY

7、MAIN VAC. MAIN 眠 MX【$ STAGE Z那WAIT THE PRESS. PRESS. PC8 优T SET IIBItrealHt ealIHtSETSSET1.2SSETSSET1.2JUDGE RETRY STICKING RETRYWCJ1ME LOADER HAND «ER HAND Z怫SET喇HITI SETP 15SET H$ SET |HS SET H$操作手册忍. IH|S 忍UH$ REALA7CTki ccF I i ncfkv I Ai irki inp orrafin4.1手勤操作模式:P 17EXP-2001BLB作手册排出檄僖勤Z率由

8、排出械投入部台面真空屋氯搬送雉修UU位置下限BMUM底片 » 主真空 底坐|vac.|air| M”air| I vac. |定 is基板 ffiMVAC.回回DOWNEXP. UNLOAD.CONVEY.接斶 整合 uv 搬送下限遮段器 曝光玻璃框位置1位置2原黑占1夹具SW反醇檄反傅 停勤 基板排出投入在置投入械X 丫投入|曝光ON T|彳*退I I彳爰退I下流械操作定位中旱照相 »ftg 决定UV言十板 厚5.1管理模式:管理模式P #EXP-2001BLB作手册5.2畤管理模式:P 19EXP-2001BLB作手册累稹勤作日寺累稹曝光次数小日寺曝光日寺秒黑占燎更换畤700小畤通g器更换畤1000小畤照相檄照相更换畤1200小畤| 1234 :小日寺1234小日寺现在1234If小畤现在1234 |小日寺现在1234小日寺The set t i ng can be changed by touch i ng sc reen.6.1基板位置状魅表示重面:可整:控生崖基板目前置於那彳固卜皆段位置