微蚀液操作指引

1、微蚀缸开缸、化验与添加方法控制参数范围日常维护与添加1 .此缸体积300升.2 .开缸比例为25 %3 .先加入适里的水， 接着加入75升微蚀剂 YM-YT602，再加5L硫酸,然后加 水稀释至刻度。微蚀量0.8-2(im (1.5 叩)每班分析H2SO4、HQ2、Cu2+及微蚀深度1. 微蚀深度一般控制0.8-2微米,，其随H2O2浓度， 微蚀缸的温度升咼而加深.2. 控制应将 H2SO4的含量在40-100g/L，浓度太 低时请用工业硫酸进行添加50%H2SO4添加量（KG）=（目标值-实测值）*v （缸体积）*2Cuv 40g/L (v 25 )H2SO440-100g/L (g/L)H

2、 2O2 ( 50%)20 g/L 至 40g/L10003. H2O2 （50% ）应控制在20g/L至40g/L的范围，以30 g/L最宜.偏低时请用微蚀剂YM-YT602直接补加.不可直接添加 H2O2.YM-YT602的添加量（L）=（目标值-实测值）* V （缸体积）1304. Cu2控制在40g/L以下，浓度太高请放掉部分槽液 或重新开缸.5. 每公斤微蚀 剂原液中含有硫酸160g/L，双氧水130g/L6. 每处理1000ft 2双面板补加YM-YT602药水约7公斤7. 硫酸和微蚀添加剂为开缸时侯使用，日常很少补加.温度（C）25-35 (30)时间（秒）20-40 (30)化

3、验方法一、分析控制方法：A.双氧水含量的分析控制1. 抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中2. 加入50毫升去离子水3. 加入5毫升50%勺硫酸溶液4.摇匀后用0.1N的咼锰酸钾标准溶液滴定至粉红色咼锰酸钾数秒不退色为 终点，记录高锰酸钾的消耗量.5.计算：（ml KMnO4滴定量）X（ N KMnO4 X 34.02= g/L H2O2 （50%）B .H2SQ含量的分析控制1. 抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中2. 加入50毫升去离子水3. 加入少量甲基橙指示剂4. 用0.5N的NaOH滴定至黄色终点记录滴定量5. 计算：（ml NaOH滴定量）X（ N NaOH X 49= g/L（

4、fSOWO%C.铜离子含量分析控制1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中2. 加入50毫升去离子水3. 加入少量NH.H20使溶液颜色变成蓝色纯清4. 加入少量PAN指示剂5. 用0.05N EDTA 2Na标准溶液滴定至浅黄绿色终点，记录下消耗量6. 计算：（mlEDTA2Na滴定量）X（ N EDT/X2Na）X 63.54= g/L Cu 27. 调整：如铜离子含量高于30g/L，抽出1/31/2旧工作液，然后补加等 量新原液微蚀量控制：1、 准确的切割一片无孔的裸铜板，约 3”X 3”或4”X 4”，量出准确尺寸2、酸洗铜板以去除氧化膜，用水冲洗，在120° F烘炉内烘干及在干燥瓶 内冷却3、 称取铜板的重量（X）（准确度小数点、后4位）4、把铜板按正常生产程序放入生产线5、在微蚀工序后出6、 把铜板放在120° F的烘炉烘干数分钟，在干燥瓶内冷却，再称重（Y）7、计算：（X -Y）克* 681°.7=微蚀量（微英寸）（表面面积）平方英