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文档简介

1、工艺部SUB:曝光机验收报告TO :采购CC :From:工艺审核：批准：日期：2021. 1. 23文件类别：编号：一、目的:检验设备的各项指标是否达到规格书要求，并评估设备工艺能力及产品品质是否达到我司要求。二、验收信息：序号项目信息说明备注1型号2供应商3用途阻焊曝光4验收数量15使用部门阻焊6设备负责人7验收人8验收时间2020年9月2021年1月三、验收项目及结果:项目Item验收标准Acceptance Standard结果备注机体结构机体完整性机体完整，表面无划痕，损伤，各部 件可正常运行0K基本规格设备尺寸：符合规格书设计要求0K传送系统1 .各马达符合类型、数量和规格符合 规

2、格书要求2 .马达运行平稳3 .马达皮带（链条）转动正常0K电气系统1.接线正确无误,并标示正确2.接线 柱稳定无松动3.电源规格符合我司要求。0K控制系统1 .运行正常；2 .各控制项目符合要求3 .参数有分级修改权限设定0K机台运行1 .曝光机，冷却机，温调机等各部运 行正常，无异常噪声或者故障2 .开机试运行，抽真空后观察真空度 数值是否达标0K机体温、湿度 控制L温度控制精度：±12.湿度控制精度：±5%OK曝光机内部温 度约24机体灰尘控 制洁净度W1000级待确 认警报指示1 .故障报警正常2 .报警指示灯正确OK能力与品质产能产能满足：12000m:/mont

3、hOK最小开窗最小能力：50±5umOK能量均匀性均匀性290%OK阻焊桥1. lOOum2.无发白、桥弯、掉桥等OK台面印记无台面印记、凹坑、吸盘印等OK曝光条纹无明显曝光过度线条、曝光不良条纹 等（依据能级要求，最高曝光能量均可 满足要求）NG有严重曝光条 纹，多普已换光 源，多次调试， 任然达不到规 格要求，曝光尺 做到9-9.5极易 出现曝光不良， 9. 5级以上就无 法生产。位置精度要求 3。WlOum, cpkl. 33待确 认尚未提供校准 报告重复精度要求 3 o W5um, cpk21. 33待确 认尚未提供校准 报告油墨适应性至少满足绿油、白油、黑油NG白油、黑油板生 产无法控制，易 出现曝光不良。设备与服务易耗品清单 以及寿命提供说明书OK软件要求随机的PC内用的软件必须正版OK设备安装提供设备安装计划书OK部品点收依清单内容，点收各部件，各部件规 格以及物品与清单内容相符；OK常规漏电检 查无漏电；OK文件格式兼 容性至少可以支持Gerber和ODB+格式的 文件0K支持 gerber> ODB+格式文 件。四、验收结论：由设备有限公司提供的曝光机，用于我司阻焊工序，曝光不良（曝光条 纹）问题跟进多次仍无法解决，有严重曝光条纹，已更换光源，多次调试，任 然达不到规格要求,曝光尺做到9-9.

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