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文档简介

1、VGS为跨导因子,为沟道长度调制系数rsubTqNaV022DsatDSTGSDSDSDSTGSDVVVVVVVVVI,)1()(22LWaNqsubn)(DsatDSTGSDSTGSDVVVVVVVI,)1)(22 LVfDSnTDsatDSTGSDSDSTGSXnDVVVVVVVVLWCI,21)(20)1 ()(212DSTGSoxnDsatVVVLWCI源 栅 漏 源 漏N沟道衬底JFETN沟道衬底MESFETJFET与MESFET构造P+Metal场效应晶体管FET结型场效应晶体管 JFET金属半导体场效应晶体管 MESFET MOS 场效应 晶体管MOSFETMOS器件的表征:沟道

2、长度沟道长度沟道宽度沟道宽度wLNMOS任务原理VDS VGS - VT阈值电压:强反型层构成沟道时的栅源电压VT; (外表反型产生的载流子数目等于衬底多子的数目)线性区(Linear region) :VDS = VGS - VT过渡区 :截止区Cut off: VGS VT击穿区:PN结击穿; 图1 P型半导体图2 外表电荷减少图 3 形成耗尽层耗尽层(高阻区)图 4 形成反型层反型层1线性区:VGS-VTVDS令:K= Cox n 工艺因子 Cox :单位面积电容; n:电子迁移率 N=K(W/L) 导电因子那么:IDS=N(VGS-VTN)-VDS/2.VDS 线性区的电压-电流方程当

3、工艺一定时,K一定,N与W/L有关。22TGSVVnDSI L S D VDSVDS -(VGS-VT)VGS-VT沟道夹断沟道长度调制效应MOS的电流电压特性3截止区: VGS-VT 0 IDS=0 IDS 输出特性曲线VDS 0线性区饱和区|VG5|VG4|VG3|VG2|VG1|VGS-VT0VDS =VGS-VT 截止区TGSDSVVIIexp0- V g sGN - S i衬底SDI s d = - I d sV d d P P - V d s)(0BSttVVV D GSN+N+P-SiSGDVDSVGS=VTIDSVGSVTIDS D GSN+N+P-SiSGDVDSVGS=VT

4、IDSVGSVTIDSVGS=0 D GSP+P+N-SiSGDVds(-)Vg=VtIds(-)Vgs(-)VtIds(-) D GSP+P+N-SiSGDVds(-)Vg=VtIds(-)Vgs(-)VtIds(-)Vg=0TGSDVVI , 0DsatDSTGSDSDSTGSXnDVVVVVVVVLWCI,21)(20DsatDSTGSTGSXnDsatDVVVVVVLWCII,)(2120210)(2TGSDSsubreffVVVqNLL)1 ()(212DSTGSoxnDsatVVVLWCItconsVGSDmGSVIgtanDSxnmVLWCg0)1)(0DSTGSxnmVVVLWCgtconsVDSDmGSVIgtan为渡越时间:2/1Tf21)2(2FFFBTVVOXSSSFBCQVVOXioxTC0为衬底掺杂浓度为费米电势 subN )(FisubFnNInqkToxsubrCqN210)

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