测定仪气相沉积清洗设备

1、设备名称数量功能及技术参数测定仪11、主要功能：智能变频走航测流仪，专为河流流量测验而设计。借助于桥梁或缆道用绳子牵引测量规则的、无规则的水体的断面流量2、功能特点：*1、具有窄带、脉冲相干、宽带三种工作模式，可以根据水深和流速自动选择最佳的模式。2、操作简便，测流程序实现一键操作。 3、能直接测量水深，具有可直接测量水深的波束专传感器，而不是通过计算间接获得水深数据。可测深度范围不少于15米。 4、测流仪主机内置微处理器和内存。内存要求不小于8G内置流量计算功能，测流原始数据不依靠外部计算机软件程序计算，确保数据也不会因无线通讯中断而丢失。 5、采样频率高：最高采样频率不低于50Hz,确保船

2、速大于流速时不丢波。6、支持外置GPS盘。GPS罗盘的位置不受限制。可根据需要增配DGP诚RTKGPS 7、具有两种以上方法用于检查河床是否有走底现象，并测量出河床的走底速度，并可附加其它技术措施来纠正由于走底而产生的流量偏小误差。*8、具备使用外推法来延长特定ADCP勺流量测量水深范围。9、具备增配差分GPS设备的条件，可使用WAAS,SBASS,或EGNOSS言号进行差分修正。3、主要技术指标：1）使用环境条件：工作温度：-5C至45C,存储温度：-10C至70c2）技术要求：流速：流速测量范围-流速：±20米/秒，流速测量范围-距离：0.06-5米分辨率：0.001米/秒，准确

3、度：实测流速之土0.25%;±0.002米/秒，单元数量：128个单元尺寸：0.02米至0.5米。3）深度：测量范围：0.2米至15米，分辨率：0.001米，准确度：1%4）换能器： 换能器个数：5个换能器测流换能器：4个倾角25°的3.0MHz对称波束垂直波束换能器：1个1.0MHz垂直波束。 5）罗盘/倾斜传感器：测量范围：360°,航向准确度：土2,横摇/纵摇准确度：土1°6）内存： 主机自带，容量至少8GB俳散失性）7）通讯：通讯方式：RS232通讯，串口GPS俞入 最大数据输出频率：2Hz,内部采1频率：70Hz8）工作电压12至18伏直流，可

4、充电电池，可连续工作8小时。4、基本配置：一台声学多普勒五波束水流断面流量测量仪主机1） 主机含控制器、数据处理器、内存2） 主机包括供电单元3） 主机内置罗盘、倾斜计4） 主机内置温度传感器5） Windows平台（XP,Vista）上RiverSurveyorLive!测量中文软件,Stationary定点测流中文软件。一条主机连接电缆（10m电缆线，RS232接口）质保期1年售后服务及培训要求1、保修期内：保修期为自安装调试结束之日起一年,保修期内免费维修。2、保修期外：保修期后提供终牛维修。如需更换零部件，酌收零件费。3、培训:安装调试过程中，由安装工程师在用户指定地点现场免费培训，直

5、到用户掌握基本操作技能并能够独立操作后，方可结束安装工作，同时提供所有操作，维修及培训资料。交货时间及地点收到信用证后2个月内；温州大学生命与环境科学学院标段二：本招标设备由两组系统组成：一、等离子化学气相沉积系统设备主要由反应室与真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、自动控制系统、加热系统、循环水冷却系统、报警系统等组成。1反应室及衬底尺寸由真空淀积反应室（包括双层真空室、室盖、法兰1套）、室盖升降系统、机架机柜、工件架系统、加热器与电极系统、腔壁及腔盖冷却系统等组成。反应室尺寸为350m诉220mm可放置衬底尺寸为150mm（6口寸）硅片或不锈钢材料一片，或小于6口寸样片若干片。腔室

6、内部光洁，焊接处平滑，无虚焊漏焊点，腔室加工过程中无油及其它杂质对腔室的污染，加工完成后对真空腔室进行抛光清洗，除去油及其它杂质。样品加热及温度。加热方式：石英灯辐照，石墨加热台。加热温度：室温900oC,控温精度w土1%淀积不均匀性：w±5%（4口寸范围内）。2真空系统及真空度真空获得：包括600升/秒分子泵、8升/秒机械真空泵、150mmH径超高真空气动插板阀及泵口阀、压差阀、隔膜阀等。设备通过分子泵及机械真空泵组成抽气系统,分子泵与真空室之间装有气动插板阀。机械真空泵与真空室之间及与分子泵之间均采用不锈钢硬管及波纹管连接,并装有电磁气动隔断阀。系统破坏真空在短时暴露大气情况下，

7、从大气抽至2.0x10-4Pa时间w40min。真空测量：复合真空计一套，包括电阻规与电离规。在室温条件下，反应室真空度优于6.67X10-5Pa（环境湿度w55%；在衬底温度200°C条件下优于9X10-5Pa;系统破坏真空在短时暴露大气情况下从大气抽至2.0x10-4Pa时间w40min。3 压力控制系统包括薄膜规一个（进口）、电动恒压调节阀一套及恒压控制软件。系统在达到高真空状态后，关闭气动插板阀，改为旁路管道由机械泵抽气，经薄膜规测量、电动蝶阀调节，以达到恒压状态，恒压范围1010000Pa。4 气体管路配置气路系统采用3台进口防腐质量流量控制器控制3路气体进气，管路为不锈钢

8、硬管，管路接头连接形式采用双卡套形式连接，不锈钢管道及部件均为进口。5 射频电源配置包括射频电源及自动匹配器一套。设备配备连续可调放电模式工作，13.56MHzl寸频功率源。6 系统自动化控制包括工控机一台、触摸显示屏一套、PLC（西门子）、数据通讯卡、控制软件等。设备采用工控机、触摸屏控制，实现真空系统及工艺过程全自动化。还可选择全自动及非全自动模式。设备采用全自动控制方式，也即：从用户将样片送入真空室后的真空获得、薄膜沉积生长、过程监控与闭环控制完整工艺过程，均由工控机、可编程通讯控制器及上位机控制软件自动控制，无需任何的人工干预。自动化系统支持多工艺步骤编程。系统具有储存用户工艺数据的功

9、能。设备配备互锁、异常断电自动记忆、自动工艺编程校验等安全保护措施，使非恶意的人为操作失误不会导致系统硬、软件的损坏。系统支持诸如缺水故障、分子泵故障、通讯故障等故障情况下的自动报警。系统提供操作日志及故障记录。二、三温区高温管式炉及质量流量供气系统1,管式炉为OTF-1200X-m三温区高温管式炉，主要参数要求：石英炉管尺寸：100X1400mm加热元件：电阻丝；工作温度：最高1200（温区1、温区2、温区3），精度±1；控温方式：智能化30段可编程控制；真空测量：数字真空计；炉门结构：开启式；工作电源：AC220V/50HZ/60HZ，额定功率7KW；外型尺寸：1030X430x580mm2，质量流量供气系统质量流量控制器(包括三套质量流量计)、机械压力表、针阀、管道配件等组成：质量流量控制器：供电电源185245V/50Hz,最大功耗18皿量程范围：通道1:199.9SCCM,通道2:1199SC